微小扭矩动态测量

首先提出一种对微小扭矩进行非接触、动态测量的新方法，在各种原理实验的基础上。设计了一套测试装置，应用本实验装置对一种微小电机进行了实际测量。

用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能

采用软Ｘ射线近贴式光刻术，对ＤＣＰＡ光刻胶的曝光性能进行了系统研究，得到了一些新的实验结果。

激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究

描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究。采用负性辐射线光刻胶聚氯甲基苯乙烯（ＰＣＭＳ），得到了一些新的实验结果。