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题名表面等离激元增强硅基近红外光电导探测器
被引量:3
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作者
唐恝
李家祥
陈沁
文龙
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机构
暨南大学纳米光子学研究院
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第11期309-316,共8页
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基金
国家重点研发计划(2019YFB2203402)
国家自然科学基金(11774383,11774099,11874029)
+2 种基金
广东省国际科技合作项目(2018A050506039)
广东省自然科学基金杰出青年基金(2020B151502074)
广东省珠江人才计划(2019QN01X120)
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文摘
近年来,表面等离激元(SP)增强的金属纳米结构中热载流子产生、传输和收集得到了广泛而深入的研究。其中,利用电子隧穿和热发射效应实现的全新光电转换机制,结合平面化制作和CMOS兼容集成等,有望成为硅基红外光电探测的备选方案。目前这类探测器主要为金属-半导体肖特基结的光伏型器件,其光电响应较弱。为此,报道了一种基于金属-硅复合无序纳米结构的光电导器件,得益于无序表面等离激元局域热点效应和多叉指金属-半导体-金属(MSM)结构的显著光电导增益,实验获得了硅亚带隙的宽带强光电响应。该热载流子介导的多叉指MSM器件在1310 nm波长处的光电流响应度高达2.50 A/W。
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关键词
探测器
近红外探测器
光电导探测器
等离激元
光电导增益
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Keywords
detectors
near-infrared detector
photoconductive detector
plasmon
photoconductive gain
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分类号
TN215
[电子电信—物理电子学]
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