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介质薄膜的透射光谱测量及其光学参数的分析 被引量:14
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作者 唐沪军 沈杰 +3 位作者 陈华仙 杨锡良 顾元壮 章壮健 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第6期417-427,共11页
介绍介质薄膜透射光谱的测量以及基于分析薄膜透射光谱的计算薄膜光学参数的方法。对制备在玻璃基板上的二氧化钛、二氧化硅和氧化锌薄膜进行了可见光谱区的透射比测量,并用包络线方法和最优化方法对这些透明薄膜的光学参数进行了计算... 介绍介质薄膜透射光谱的测量以及基于分析薄膜透射光谱的计算薄膜光学参数的方法。对制备在玻璃基板上的二氧化钛、二氧化硅和氧化锌薄膜进行了可见光谱区的透射比测量,并用包络线方法和最优化方法对这些透明薄膜的光学参数进行了计算和分析。着重讨论了最优化方法在分析薄膜光学参数中的应用及其误差分析。此外,还对包络线方法和最优化方法进行了比较。 展开更多
关键词 介质薄膜 透射光谱 光学参数 薄膜
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高效率平面磁控溅射器的研制 被引量:4
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作者 应春 沈杰 +2 位作者 唐沪军 杨锡良 章壮健 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第6期402-408,共7页
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/c... 介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm^2时溅射速率约为800nm/min,如果继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cos^nθ分布的前提下,发现当n=3.3时,实验数据和理论数据符合得较好。 展开更多
关键词 磁控溅射器 沉积速率 靶利用率 溅射 薄膜
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债权人代位权制度与目的之冲突与协调 担保物权为代位权客体及行使代位权后财产分配的实证分析 被引量:1
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作者 唐沪军 《法律适用》 2004年第1期35-39,共5页
《合同法》新规定了债权人代位权制度和撤销权制度,建构了完整的债的保障制度体系,并使债的保全制度从法学理论走进了社会生活,填补了法律空白,同时,《合同法》第73条规定了代位权必须通过诉讼方式行使,为民事诉讼增添了一种新的... 《合同法》新规定了债权人代位权制度和撤销权制度,建构了完整的债的保障制度体系,并使债的保全制度从法学理论走进了社会生活,填补了法律空白,同时,《合同法》第73条规定了代位权必须通过诉讼方式行使,为民事诉讼增添了一种新的诉讼类型。 展开更多
关键词 中国 合同法 担保物权 代位权客体 代位权 财产分配 实证分析 债权人 合同法 优先受偿权
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