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相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度
被引量:
6
1
作者
马小军
高党忠
+3 位作者
叶成刚
贾鹏
唐科慧
初巧妹
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期224-228,共5页
通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布,讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理,研究了微球上部壳层对内表面粗糙度测量的影响,得到了聚苯乙烯,聚α甲基苯乙烯微球的内表面形貌特征图像,测量数据与原子力显微镜测量数...
通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布,讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理,研究了微球上部壳层对内表面粗糙度测量的影响,得到了聚苯乙烯,聚α甲基苯乙烯微球的内表面形貌特征图像,测量数据与原子力显微镜测量数据在同一量级。以微球壳层对超光滑碳化硅及单晶硅片表面形貌的调制作用为研究对象,讨论了微球的外表面粗糙度以及微球壁厚对内表面粗糙度测量结果的影响,确定了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的不确定度,实验结果表明:对于表面粗糙度小于30 nm、厚度小于9μm的微球,测量不确定度小于0.4 nm。
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关键词
相移干涉
ICF微球
内表面粗糙度
测量不确定度
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职称材料
靶参数测量技术
2
作者
高党忠
刘元琼
+5 位作者
罗青
郑永铭
袁玉萍
贾鹏
叶成钢
唐科慧
《中国工程物理研究院科技年报》
2004年第1期67-68,共2页
研制了适用于泡沫材料测量的透射式低能(能量低于3keV)X射线机,由于X射线能量很低,设计采用开放系统,并在较高真空下工作,既避免了铍窗及空气吸收造成X射线强度损失与降低照相背景反差,又可以保证电子束发射系统可正常工作,灯...
研制了适用于泡沫材料测量的透射式低能(能量低于3keV)X射线机,由于X射线能量很低,设计采用开放系统,并在较高真空下工作,既避免了铍窗及空气吸收造成X射线强度损失与降低照相背景反差,又可以保证电子束发射系统可正常工作,灯丝不致被氧化减少使用寿命。由于靶膜可以方便更换,因此,也可以使用较高原子序数金属材料靶膜,提高X射线能量,拓展设备使用范围。经过实验研究,使用6mm厚铝膜作靶材,获得了清晰的输运靶泡沫柱X光图像,表明设备可用于神光实验制靶任务常规测量。
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关键词
测量技术
射线能量
X射线机
设备使用
材料测量
开放系统
强度损失
发射系统
下载PDF
职称材料
靶参数测量技术
3
作者
高党忠
刘元琼
+3 位作者
罗青
袁玉萍
叶成钢
唐科慧
《中国工程物理研究院科技年报》
2003年第1期83-83,共1页
利用微焦点X射线荧光谱仪进行了充氩靶丸X射线荧光激发测量实验。由于设备具有X射线聚焦功能,对样品局部辐照强度大,激发效率高,因此测量灵敏度及检测极限也大大提高,尽管由于塑料微球保气性能差,球内只有微量的氩气,仍然获得了...
利用微焦点X射线荧光谱仪进行了充氩靶丸X射线荧光激发测量实验。由于设备具有X射线聚焦功能,对样品局部辐照强度大,激发效率高,因此测量灵敏度及检测极限也大大提高,尽管由于塑料微球保气性能差,球内只有微量的氩气,仍然获得了氩气明显存在的证据,在测量得到的谱图中扣除本底后氩Ka射线峰非常明显。
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关键词
靶
参数测量
X射线荧光谱仪
辐照强度
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职称材料
题名
相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度
被引量:
6
1
作者
马小军
高党忠
叶成刚
贾鹏
唐科慧
初巧妹
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期224-228,共5页
基金
国家高技术发展计划项目
文摘
通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布,讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理,研究了微球上部壳层对内表面粗糙度测量的影响,得到了聚苯乙烯,聚α甲基苯乙烯微球的内表面形貌特征图像,测量数据与原子力显微镜测量数据在同一量级。以微球壳层对超光滑碳化硅及单晶硅片表面形貌的调制作用为研究对象,讨论了微球的外表面粗糙度以及微球壁厚对内表面粗糙度测量结果的影响,确定了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的不确定度,实验结果表明:对于表面粗糙度小于30 nm、厚度小于9μm的微球,测量不确定度小于0.4 nm。
关键词
相移干涉
ICF微球
内表面粗糙度
测量不确定度
Keywords
Phase shift interference
ICF micro-shell
Interior surface roughness
Measuring uncertainty
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
靶参数测量技术
2
作者
高党忠
刘元琼
罗青
郑永铭
袁玉萍
贾鹏
叶成钢
唐科慧
出处
《中国工程物理研究院科技年报》
2004年第1期67-68,共2页
文摘
研制了适用于泡沫材料测量的透射式低能(能量低于3keV)X射线机,由于X射线能量很低,设计采用开放系统,并在较高真空下工作,既避免了铍窗及空气吸收造成X射线强度损失与降低照相背景反差,又可以保证电子束发射系统可正常工作,灯丝不致被氧化减少使用寿命。由于靶膜可以方便更换,因此,也可以使用较高原子序数金属材料靶膜,提高X射线能量,拓展设备使用范围。经过实验研究,使用6mm厚铝膜作靶材,获得了清晰的输运靶泡沫柱X光图像,表明设备可用于神光实验制靶任务常规测量。
关键词
测量技术
射线能量
X射线机
设备使用
材料测量
开放系统
强度损失
发射系统
分类号
TN959.4 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
靶参数测量技术
3
作者
高党忠
刘元琼
罗青
袁玉萍
叶成钢
唐科慧
出处
《中国工程物理研究院科技年报》
2003年第1期83-83,共1页
文摘
利用微焦点X射线荧光谱仪进行了充氩靶丸X射线荧光激发测量实验。由于设备具有X射线聚焦功能,对样品局部辐照强度大,激发效率高,因此测量灵敏度及检测极限也大大提高,尽管由于塑料微球保气性能差,球内只有微量的氩气,仍然获得了氩气明显存在的证据,在测量得到的谱图中扣除本底后氩Ka射线峰非常明显。
关键词
靶
参数测量
X射线荧光谱仪
辐照强度
分类号
TL503.4 [核科学技术—核技术及应用]
TL375.1 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度
马小军
高党忠
叶成刚
贾鹏
唐科慧
初巧妹
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
下载PDF
职称材料
2
靶参数测量技术
高党忠
刘元琼
罗青
郑永铭
袁玉萍
贾鹏
叶成钢
唐科慧
《中国工程物理研究院科技年报》
2004
0
下载PDF
职称材料
3
靶参数测量技术
高党忠
刘元琼
罗青
袁玉萍
叶成钢
唐科慧
《中国工程物理研究院科技年报》
2003
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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