利用Batch Implant机台离子注入dose梯度分布调控注入均匀性的技术分析

阐述发现batch implant机台所作业的wafer状况,在wafer面内存在规律性梯度差异的dose分布。基于wafer processing过程中的形变现象,通过fine tune beam line及优化diskangle条件,可以定量设计dose梯度分布情况。通过优化离子注入在wafer面内分布的dose对称性,可以有效改善离子注入均匀性。

TiNi合金制备技术及连续铸造的可行性探讨

TiNi合金具有优良的机械性能、耐腐蚀性能、超弹性以及形状记忆性能,被广泛应用于电子、机械、宇航、运输、建筑、化学、医疗、能源以及日常生活用品等各个领域,但其高昂的价格成为制约TiNi合金进一步发展的瓶颈。本文简单介绍了TiNi合金的性能和应用,综述了其传统制备技术及新的制备工艺,在讨论连续铸造特点的基础上对该技术用于制备TiNi合金的可行性进行了探讨。

低能耗节约型钛及钛合金熔炼技术的发展趋势

钛合金具有密度低、比强度高和耐腐蚀性能好等优点,是一种优异的航空航天材料,其应用领域也正在向民用领域扩展。但是,熔融态的钛和钛合金具有极高的化学活性,几乎能与目前已知的所有耐火材料发生反应,因此,钛及钛合金熔炼技术及相关的耐火材料研究一直是钛合金研究极具挑战性的领域。综述了钛及钛合金的熔炼技术及相应的耐火材料的研究发展现状,并对高效节能钛合金感应熔炼技术所需的耐火材料的研究做了展望。

离子注入机台水汽状况监控的研究

针对闪存产品(Flash)生产过程中出现的良率低下问题,研究离子注入机台水汽类颗粒物的监控方法。做了一系列实验,推导出离子注入过程中水汽对离子注入影响的机理。形成一套简单、有效监控离子注入机台水汽类颗粒物的方法。基于此方法的有效实施,可以避免闪存产品等在生产过程中,由于水汽类颗粒物导致的良率低下等问题。

TiNi合金熔炼的耐火材料研究

对石墨、氮化硼(BN)、CaO和CaZrO3等耐火材料与TiNi合金的界面反应开展了系列研究.通过扫描电子显微镜,能谱仪和电子探针对反应界面的形貌和成分进行了分析.结果表明,作为熔炼TiNi合金用耐火材料,按照稳定性排序,依次为CaZrO3>CaO>BN.用石墨作为熔铸TiNi合金的耐火材料,每炉次的增碳量约为0.02%(ω).