高速高饱和InGaAs/InP单行载流子光电二极管

InGaAs/InP单行载流子光电二极管(UTC PD)是近年来研发的一种新型光电器件。UTC PD是一种由p型中性光吸收层和n型宽带隙集结层构成,并且只用电子作为有源载流子的光电二极管。详细地介绍了UTC PD的工作原理、结构设计、制作工艺及典型应用。