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湿法和溶脱法的亚微米ZnO:Al光栅制备 被引量:5
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作者 刘仁臣 吴永刚 +3 位作者 夏子奂 王振华 唐平林 梁钊铭 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2613-2617,共5页
以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模,采用湿法刻蚀和溶脱-剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)光栅。表面形貌特征和反射光谱测试结果表明,湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙,两者均方根粗糙... 以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模,采用湿法刻蚀和溶脱-剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)光栅。表面形貌特征和反射光谱测试结果表明,湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙,两者均方根粗糙度分别为25.4,7.6nm。在400~900nm波段,两种方法制备的周期和高度相同的光栅,平均总反射率分别由AZO薄膜的12.5%下降到8.3%和10.2%。两者的平均镜面反射率分别为6.2%和6.6%,平均漫反射率分别为2.1%和3.6%。湿法刻蚀得到的表面较为粗糙AZO光栅的漫反射明显减弱,从而导致总的减反特性优于溶脱-剥离法得到的表面起伏相对较小的AZO光栅。 展开更多
关键词 亚微米光栅 掺铝氧化锌 激光干涉法 湿法刻蚀 溶脱-剥离法
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自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善 被引量:4
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作者 伍和云 吴永刚 +4 位作者 吕刚 凌磊婕 夏子奂 刘仁臣 唐平林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期981-984,共4页
采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成... 采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成膜时采用提拉法成膜。经国家同步辐射实验室计量线站测定,实际测量结果与理论分析一致,PI膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降,但在类镍-银软X射线13.9 nm波段PI(200 nm)/Zr(300 nm)和PI(200 nm)/Zr(400 nm)自支撑薄膜的透过率仍然分别达到14.9%和7.5%。 展开更多
关键词 自支撑薄膜 聚酰亚胺 聚酰胺酸 二步法 亚胺化 质量吸收系数
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氧化钨二氧化钛复合共生薄膜的拉曼光谱结构研究 被引量:3
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作者 吕刚 吴永刚 +2 位作者 伍和云 夏子奂 刘仁臣 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期3028-3030,共3页
采用电子束及真空热蒸发的方式镀制了氧化钨薄膜及掺杂的氧化钨的复合共生薄膜。运用拉曼光谱以及电化学工作站等测试手段分析了氧化钨复合共生薄膜的结构及电致变色性能。通过对拉曼光谱曲线的解叠分峰处理发现,源于晶相的810cm-1拉曼... 采用电子束及真空热蒸发的方式镀制了氧化钨薄膜及掺杂的氧化钨的复合共生薄膜。运用拉曼光谱以及电化学工作站等测试手段分析了氧化钨复合共生薄膜的结构及电致变色性能。通过对拉曼光谱曲线的解叠分峰处理发现,源于晶相的810cm-1拉曼峰的相对强度变化与样品的致色效率存在负相关,即拉曼峰相对强度越小,样品的致色效率越高。 展开更多
关键词 氧化钨 二氧化钛 电致变色 拉曼光谱
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自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究 被引量:2
4
作者 伍和云 吴永刚 +4 位作者 王振华 吕刚 凌磊婕 夏子奂 陈乃波 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期1-4,共4页
软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该... 软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该波段Zr滤光膜透过率较高.采用脱模剂法制备自支撑Zr膜,在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂,直流磁控溅射沉积Zr膜,脱膜后的到自支撑Zr膜.为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部,在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10 nm厚的C或Si膜作为保护膜,得到C/Zr/C、Si/Zr/Si复合膜,测试结果显示C或Si膜的引入对于自支撑Zr膜光学性能基本无影响. 展开更多
关键词 自支撑薄膜 软X射线 脱模剂 磁控溅射 同步辐射
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氧化锌脱膜和激光刻蚀制备亚微米自支撑聚酰亚胺薄膜及其性能 被引量:2
5
作者 刘仁臣 吴永刚 夏子奂 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1349-1353,共5页
探讨小于1μm自支撑聚酰亚胺薄膜的制备及其性能。以稀盐酸为腐蚀剂,对涂于氧化锌衬底上的聚酰胺酸薄膜进行剥离,经热亚胺转化为聚酰亚胺薄膜,再用准分子激光对其刻蚀减薄。采用原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪和分光光度计对薄... 探讨小于1μm自支撑聚酰亚胺薄膜的制备及其性能。以稀盐酸为腐蚀剂,对涂于氧化锌衬底上的聚酰胺酸薄膜进行剥离,经热亚胺转化为聚酰亚胺薄膜,再用准分子激光对其刻蚀减薄。采用原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪和分光光度计对薄膜的微观结构和光谱性能进行了表征。结果表明,以室温下溅射的氧化锌薄膜为脱膜剂,制备了厚度约950nm的白支撑薄膜,而激光刻蚀使聚酰亚胺薄膜厚度减薄至150nm2厚度分别为950和150nm薄膜的红外谱中均出现了聚酰亚胺特征吸收峰(1775、1720、1380和725cm2),且两者在400~2500nm范围的平均透过率分别为80.3%和83.5%。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 KRF准分子激光 热亚胺化 氧化锌 薄膜
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弱磁场对骨骼肌肌质网钙调控作用的研究
6
作者 刘仁臣 吴永刚 +3 位作者 程和平 谢国秋 陆静 夏子奂 《激光生物学报》 CAS CSCD 2011年第6期734-740,共7页
目的:探讨弱磁场对提取的骨骼肌肌质网系(SR)Ca^(2+)转运、钙泵(Ca^(2+)-Mg^(2+)-ATPase)及钙释放通道(RyR)活性的影响,从分子水平和细胞信号系统的角度来解释生物电磁效应。方法:利用动态光谱法检测0.4 mT弱磁场辐照过的SR Ca^(2+)转运... 目的:探讨弱磁场对提取的骨骼肌肌质网系(SR)Ca^(2+)转运、钙泵(Ca^(2+)-Mg^(2+)-ATPase)及钙释放通道(RyR)活性的影响,从分子水平和细胞信号系统的角度来解释生物电磁效应。方法:利用动态光谱法检测0.4 mT弱磁场辐照过的SR Ca^(2+)转运、Ca^(2+)-ATPase活性,还原型辅酶(NADH)的氧化初速率和超氧(O_2^-)产率,以及用同位素标记方法检测[~3H]-Ryanodine与RyR的平衡结合度。结果:弱磁场辐照引起SR的Ca^(2+)摄取功能和Ca^(2+)-ATPase的活性明显下降,Ca^(2+)释放和[~3H]-Ryanodine平衡结合度上升,同时上调了NADH的氧化初速率和O_2^-的产率。结论:提示0.4 mT弱磁场辐照30 min对SR Ca^(2+)-ATPase活性有明显抑制,对RyR有一定的激活效果。 展开更多
关键词 弱磁场 肌质网 钙调控 钙泵 钙释放通道
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Light scattering effect of submicro-textured Ag/Al composite films prepared at lower substrate temperatures
7
作者 唐平林 吴永刚 +4 位作者 童广德 夏子奂 刘仁臣 梁钊铭 周建 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第7期590-595,共6页
We present a new and practical approach for preparing submicro-textured silver and aluminum (Ag/Al) double-structured layers at low substrate temperatures. The surface texturing of silver and aluminum double-structu... We present a new and practical approach for preparing submicro-textured silver and aluminum (Ag/Al) double-structured layers at low substrate temperatures. The surface texturing of silver and aluminum double-structured layers was performed by increasing the deposition temperature of the Al layers to 270℃. The highly submicro-textured silver and aluminum double-structured layers were prepared by thermal evaporation on quartz glasses and their surface microstructure, light scattering properties, and thermal stability were investigated. Results showed that the highly submicro-textured Ag/Al composite films prepared at low substrate temperatures used as back reflectors not only can enhance the light scattering and have good thermal stability, but also have good adhesion properties. In addition, their fabrication is low cost and readily carried out. 展开更多
关键词 random submicro-textured Ag/Al composite films light scattering
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掺有TiO_2及纳米Ag的WO_3薄膜的电致变色研究 被引量:4
8
作者 吕刚 吴永刚 +2 位作者 伍和云 夏子奂 刘仁臣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期294-298,共5页
采用真空蒸镀的方式制备了电致变色氧化钨薄膜,采用直流磁控溅射方法镀制了银层,采用电子束蒸发以插入层及共生的方式对氧化钨薄膜进行二氧化钛掺杂。使用UV757CRT紫外可见分光光度计测量了各样品随时间变化的透射率光谱。在CHI604C电... 采用真空蒸镀的方式制备了电致变色氧化钨薄膜,采用直流磁控溅射方法镀制了银层,采用电子束蒸发以插入层及共生的方式对氧化钨薄膜进行二氧化钛掺杂。使用UV757CRT紫外可见分光光度计测量了各样品随时间变化的透射率光谱。在CHI604C电化学工作站上进行了电化学测试,致色过程中进行了原位的光谱测量。使用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)观察了复合氧化钨薄膜的形貌。实验结果表明共生复合薄膜具有良好的环境稳定性,掺有银纳米层的复合薄膜与基底附着紧密,结构稳定,致色效率相对单层氧化钨薄膜平均提高了52.85%,漂白态和着色态的透射率差值达到了87.64%(λ=600nm,致色时间20s)。 展开更多
关键词 薄膜 氧化钨薄膜 二氧化钛 电致变色 致色效率
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正交双光栅结构的导模共振光谱特性 被引量:3
9
作者 王振华 吴永刚 +3 位作者 凌磊婕 夏子奂 陈乃波 刘仁臣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期30-35,共6页
将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁(TE/TM)偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可... 将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁(TE/TM)偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可调范围(共振峰间距由0~62.7 nm连续可调);当分别以TE/TM偏振光正入射时,两种偏振光对应的共振波长位置保持不变、光谱曲线相同,相当于平行双光栅结构对应光谱的叠加。TE/TM偏振光倾斜入射时反射峰发生分裂,同时在入射面为P1面时582.3 nm和590.8 nm共振波长位置处,及入射面为P2面时590.8 nm和612.4 nm共振波长位置处呈现出峰位随入射角的增加保持不变的特性。 展开更多
关键词 光栅 导模共振 正交光栅 偏振光 严格耦合波理论
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前后光栅周期对于双光栅结构薄膜太阳能电池光俘获效应的影响 被引量:4
10
作者 梁钊铭 吴永刚 +2 位作者 夏子奂 周建 秦雪飞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第19期433-439,共7页
本文用时域有限差分法对硅层等效厚度为100 nm的具有不同前后光栅周期的介质/金属双光栅结构薄膜太阳能电池进行了模拟分析,比较了三角形最佳相同与不同周期光栅结构的吸收光谱特性,分析了光栅高度、填充比、硅吸收层厚度对最佳相同和... 本文用时域有限差分法对硅层等效厚度为100 nm的具有不同前后光栅周期的介质/金属双光栅结构薄膜太阳能电池进行了模拟分析,比较了三角形最佳相同与不同周期光栅结构的吸收光谱特性,分析了光栅高度、填充比、硅吸收层厚度对最佳相同和不同周期光栅结构光吸收特性的影响,以及相应结构中导致光吸收增强的共振模式.结果表明前后光栅周期为1:1的共形双光栅结构中存在光泄漏现象,偏离1:1后的光栅结构可有效地抑制低级次衍射光的泄漏,前光栅周期小于后光栅周期的结构光吸收性能的提高来自于平面波导模式在吸收层中的有效激发和传播,而前光栅周期大于后光栅周期的结构光吸收性能的提高则来自于后光栅界面上所激发的等离子体极化模式.在较厚的硅吸收层厚度,前后光栅周期比为1:2和1:3的电池结构也会出现光泄漏现象,从而使具有最大光吸收效率的结构偏离这些周期比结构的位置. 展开更多
关键词 薄膜太阳能电池 光俘获 有限时域差分法 双光栅结构
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亚微米AZO光栅及其漫透射分布特性 被引量:1
11
作者 刘仁臣 吴永刚 +2 位作者 夏子奂 唐平林 梁钊铭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期281-286,共6页
探讨亚微米掺铝氧化锌(AZO)光栅的漫透射光谱特性。在AZO薄膜上涂布光刻胶,用325nm激光双光束干涉曝光得到掩模图案。将其置于质量分数为0.5%的稀盐酸溶液中湿法刻蚀,制备出周期(780~1280nm)和高度(60~300nm)能独立调控的AZO一维光栅... 探讨亚微米掺铝氧化锌(AZO)光栅的漫透射光谱特性。在AZO薄膜上涂布光刻胶,用325nm激光双光束干涉曝光得到掩模图案。将其置于质量分数为0.5%的稀盐酸溶液中湿法刻蚀,制备出周期(780~1280nm)和高度(60~300nm)能独立调控的AZO一维光栅。正入射双向透射分布函数(BTDF)测试结果表明,400~900nm波段内平均镜面透射率随光栅周期增大而降低,与紫外-可见分光光度计测得的结果吻合;同时,周期越大被衍射到30°~80°范围内的漫透射比重和漫透射峰值均越大,而峰位角越小。根据光栅方程对实验结果给出了合理的解释。 展开更多
关键词 光栅 掺铝氧化锌 双向透射分布函数 激光干涉法 湿法刻蚀
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Light trapping enhancement with combined front metal nanoparticles and back diffraction gratings
12
作者 夏子奂 吴永刚 +2 位作者 刘仁臣 唐平林 梁钊铭 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第13期130-133,共4页
In this letter, a design with both metal nanoparticles and back diffraction gratings is put forward for enhancing the efficiency of thin film silicon solar cells. The coupling mechanism between the metal nanoparticles... In this letter, a design with both metal nanoparticles and back diffraction gratings is put forward for enhancing the efficiency of thin film silicon solar cells. The coupling mechanism between the metal nanoparticles and silicon absorber layer, and that between the incident light and the modes of the silicon absorption layer through the grating layer are both analyzed. The interaction between the front metal nanoparticles and back gratings is analyzed, which substantially increases the light trapping by 58% com- pared to fiat solar cell. 展开更多
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Tunable reducibility of Brillouin zone and bandgap width in elliptical nanowire arrays
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作者 张棕奕 吴永刚 +2 位作者 夏子奂 周建 秦雪飞 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第6期75-80,共6页
Rotating elliptical nanowire arrays as two-dimensional photonic crystals has been proposed and studied in this Letter.The analysis of the four lowest energy bands and the first bandgap width of some examples illustrat... Rotating elliptical nanowire arrays as two-dimensional photonic crystals has been proposed and studied in this Letter.The analysis of the four lowest energy bands and the first bandgap width of some examples illustrates that the rotation and configuration of the primitive cell can have effects on the reducibility of the Brillouin zone.As the central element’s orientation changes,the irreducible Brillouin zone could be expanded to the whole first Brillouin zone.Special attention has been paid to the nanowire arrays with adjacent elements perpendicular to each other,and the irreducible Brillouin zone unexpectedly retracted back to the 1/8 of the first Brillouin zone though the symmetry of elements is lower than that of the square lattice.Meanwhile,the first bandgap width of the perpendicular array can be adjusted by the rotation of each primitive element. 展开更多
关键词 Brillouin zone bandgap SYMMETRY perpendicular elliptical nanowires rotation
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Multimode resonance bandpass filter with twin wideband channels
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作者 王振华 吴永刚 +4 位作者 夏子奂 刘仁臣 吕刚 伍和云 唐平林 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第8期5-7,共3页
A bandpass filter with twin wideband channels in a single-layer guided-mode resonance grating is presented. Strong refractive-index modulation is used to support the excitation of multimode resonances TEl,0, TEl,l, TE... A bandpass filter with twin wideband channels in a single-layer guided-mode resonance grating is presented. Strong refractive-index modulation is used to support the excitation of multimode resonances TEl,0, TEl,l, TE2,0, TEl,2, and TE2,1, which are excited by the first and second diffraction orders, relate asymmetrical line shapes and broad low-transmission bands, where TE is the transverse electric. Taking advantage of narrow linewidth and sharp edge line shape in the spectra of TE2,, (v is the mode), a bandpass filter with form factors of 0.61 and 0.7 for long- and short-wave channels is presented to demonstrate this concept. 展开更多
关键词 Approximation theory Electric excitation RESONANCE
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Scattering properties of ZnO gratings on A1 back reflectors for thin film silicon solar cells
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作者 刘仁臣 吴永刚 +1 位作者 童广德 夏子奂 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第13期134-136,共3页
Light scattering properties of back grating structures that composed of one-dimensional ZnO gratings and a flat 300-nm A1 reflectors are investigated. Results show that grating structures cause an 8% reduction of the ... Light scattering properties of back grating structures that composed of one-dimensional ZnO gratings and a flat 300-nm A1 reflectors are investigated. Results show that grating structures cause an 8% reduction of the total reflectivity, as grating periods increasing from 620 to 1435 nm, both the diffuse reflectivity and the haze parameter enhance drastically between 400 and 1 000 nm, whereas the diffraction angle at normal incidence reduce greatly, which agree with the values calculated from grating equation. It is concluded that rear gratings have the potential of scattering a substantial amount of incident light to specific angles and enlarging the optical path. 展开更多
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