集成电路业废水处理技术研究进展

集成电路业产生大量废水的处理值得人们关注。本文分析该行业废水产生途径及水质特征,按酸性废水、含氟废水、氨氮废水、有机废水、CMP废水和含铜废水六类进行分类,概述了各类型废水的处理技术,聚焦生产运用实例,探索未来研究方向,以期对集成电路业废水的处理与发展提供思路。