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WO3薄膜制备及其电致变色性能研究
被引量:
4
1
作者
夏翥杰
张治国
+5 位作者
王红莉
苏一凡
唐鹏
林松盛
代明江
石倩
《真空》
CAS
2020年第2期47-52,共6页
采用直流反应磁控溅射方法在室温下制备WO3薄膜。研究溅射功率对WO3薄膜结构及电致变色性能的影响规律,考察退火后WO3薄膜的结构演变及电致变色性能变化。结果表明溅射功率为270W时薄膜表现出较好的电致变色性能,其调制幅度达78.5%,着...
采用直流反应磁控溅射方法在室温下制备WO3薄膜。研究溅射功率对WO3薄膜结构及电致变色性能的影响规律,考察退火后WO3薄膜的结构演变及电致变色性能变化。结果表明溅射功率为270W时薄膜表现出较好的电致变色性能,其调制幅度达78.5%,着色时间为9s,褪色时间为3.2s。将该功率下制备的WO3薄膜进行退火处理,其结构由非晶态转变为晶态,但调制幅度、响应时间特性都发生一定程度的退化。非晶态WO3薄膜相比晶态结构具有更快的响应时间和更宽的调制幅度,但晶态薄膜具有更好的循环稳定性。
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关键词
WO3薄膜
非晶态
电致变色性能
循环稳定性
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职称材料
题名
WO3薄膜制备及其电致变色性能研究
被引量:
4
1
作者
夏翥杰
张治国
王红莉
苏一凡
唐鹏
林松盛
代明江
石倩
机构
暨南大学
广东省新材料研究所
出处
《真空》
CAS
2020年第2期47-52,共6页
基金
广东省科学院科技创新发展专项(2017GDASCX-0202,2019GDASYL-0402004)
广东省科技计划项目(2017A070701027)
+2 种基金
广州市科技计划项目(201607010091)
省属科研机构(广东省工业技术研究院)创新能力建设项目(2014B070705007)
广东省科学院科技创新发展专项(2018GDASCX-011)。
文摘
采用直流反应磁控溅射方法在室温下制备WO3薄膜。研究溅射功率对WO3薄膜结构及电致变色性能的影响规律,考察退火后WO3薄膜的结构演变及电致变色性能变化。结果表明溅射功率为270W时薄膜表现出较好的电致变色性能,其调制幅度达78.5%,着色时间为9s,褪色时间为3.2s。将该功率下制备的WO3薄膜进行退火处理,其结构由非晶态转变为晶态,但调制幅度、响应时间特性都发生一定程度的退化。非晶态WO3薄膜相比晶态结构具有更快的响应时间和更宽的调制幅度,但晶态薄膜具有更好的循环稳定性。
关键词
WO3薄膜
非晶态
电致变色性能
循环稳定性
Keywords
WO3 thin film
amorphous state
electrochromic properties
cyclic stability
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
WO3薄膜制备及其电致变色性能研究
夏翥杰
张治国
王红莉
苏一凡
唐鹏
林松盛
代明江
石倩
《真空》
CAS
2020
4
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