利用反应性离子镀定向形成氮化铝薄膜

1、绪言在元素周期表Ⅲ—Ⅴ族化合物之一氮化铝膜是压电性电介体,而且,因为轻元素能有牢固的结合,音速大,作音响材料,在弹性表面波和光集成电路领域也被受重视。因为这种AlN膜有密集六方晶格。