低粒子高真空插板阀的检测方法研究

低粒子高真空插板阀因选用材料的特殊性和密封技术的先进性,在运行过程中产生的机械冲击力就会较小,从而大大地减少了颗粒污染。它是常用于集成电路的晶圆生产行业的一类真空阀门,而目前国内厂家还无法生产这类阀门,也没有进行相关的设计研发。为此研究了基于光散射法的低粒子高真空插板阀的粒度检测方法及相应的检测指标,搭建了相关的粒度检测平台,并进行了模拟测试。

高真空分子泵驱动实验分析

研究低粒子阀粒度检测平台使用的小型复合分子泵驱动技术,设计分子泵驱动器的关键硬件电路并在实验平台对控制方法进行验证以实现分子泵的稳定驱动。采用无位置传感器的永磁无刷直流电机作为高真空分子泵的动力源,在现有的电机驱动和停机控制策略上应用转子位置预定位方法及转子位置检测的线反电势过零法。研究设计得到了一种适用于高转速真空泵驱动领域的高真空分子泵驱动方法,实现了分子泵的稳定驱动。