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掺杂GaN的湿法刻蚀研究 被引量:1
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作者 姚光锐 范广涵 +2 位作者 李军 杨昊 胡胜蓝 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第10期621-626,635,共7页
对掺杂GaN的湿法刻蚀研究进行了总结,回顾了不同的湿法刻蚀技术,包括传统的酸碱化学刻蚀和电化学刻蚀。从掺杂GaN的生长过程、表面化学组分和光电性质出发,深入地分析了湿法刻蚀的特性,对比了不同刻蚀方法的原理和效果。考虑到p-GaN的... 对掺杂GaN的湿法刻蚀研究进行了总结,回顾了不同的湿法刻蚀技术,包括传统的酸碱化学刻蚀和电化学刻蚀。从掺杂GaN的生长过程、表面化学组分和光电性质出发,深入地分析了湿法刻蚀的特性,对比了不同刻蚀方法的原理和效果。考虑到p-GaN的表面氧化层比较厚,接触电阻较大,能带向下弯曲不能进行光增强湿法刻蚀,重点阐述了p-GaN的传统湿法刻蚀和n-GaN的紫外光增强湿法刻蚀技术。与传统化学刻蚀相比,光增强湿法刻蚀具有更为广阔的前景。结合GaN基半导体器件的制作,对湿法刻蚀的主要应用进行了较为详细的归纳。目前,湿法刻蚀和干法刻蚀可以有效结合。将来湿法刻蚀有希望代替干法刻蚀。 展开更多
关键词 P型氮化镓 n型氮化镓 湿法刻蚀 紫外光增强 机理 应用
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界面介质层对GaN基LED漏电流的影响 被引量:1
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作者 李军 范广涵 +1 位作者 杨昊 姚光锐 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期615-618,共4页
在LED电极欧姆接触中,载流子在金属电极和半导体间有不同的传输机制。通过载流子在金属半导体界面传输机制的模拟,讨论了界面介质层及其势垒对器件串联电阻和漏电流的影响,发现介质层电阻比LED的串联电阻小得多,可以忽略不计;但是随着... 在LED电极欧姆接触中,载流子在金属电极和半导体间有不同的传输机制。通过载流子在金属半导体界面传输机制的模拟,讨论了界面介质层及其势垒对器件串联电阻和漏电流的影响,发现介质层电阻比LED的串联电阻小得多,可以忽略不计;但是随着器件的老化,介质层及其所含的缺陷会产生相当大的漏电流,使器件的可靠性和稳定性下降,也为LED的失效机理提供了理论依据。 展开更多
关键词 光电子学 发光二极管 介质层 欧姆接触 漏电流
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GaN基LED溢出电流的模拟
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作者 李军 范广涵 +3 位作者 刘颂豪 姚光锐 杨昊 胡胜蓝 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1340-1343,共4页
通过分析影响电子溢出的因素,建立多量子阱的物理模型,得到溢出电流表达式.研究了外加电压与极化效应对溢出电流的影响,认为极化效应使能带弯曲,电子溢出量子阱,溢出电流大幅度增加.考虑了LED散热和载流子屏蔽效应对溢出电流的影响,并... 通过分析影响电子溢出的因素,建立多量子阱的物理模型,得到溢出电流表达式.研究了外加电压与极化效应对溢出电流的影响,认为极化效应使能带弯曲,电子溢出量子阱,溢出电流大幅度增加.考虑了LED散热和载流子屏蔽效应对溢出电流的影响,并为减小溢出电流提供了思路. 展开更多
关键词 多量子阱 溢出电流 极化效应
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Performance improvement of blue light-emitting diodes with an AlInN/GaN superlattice electron-blocking layer
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作者 赵芳 姚光锐 +6 位作者 宋晶晶 丁彬彬 熊建勇 苏晨 郑树文 张涛 范广涵 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第5期609-613,共5页
The characteristics of a blue light-emitting diode (LED) with an AIlnN/GaN superlattice (SL) electron-blocking layer (EBL) are analyzed numerically. The carder concentrations in the quantum wells, energy band di... The characteristics of a blue light-emitting diode (LED) with an AIlnN/GaN superlattice (SL) electron-blocking layer (EBL) are analyzed numerically. The carder concentrations in the quantum wells, energy band diagrams, electrostatic fields, and internal quantum efficiency are investigated. The results suggest that the LED with an AIInN/GaN SL EBL has better hole injection efficiency, lower electron leakage, and smaller electrostatic fields in the active region than the LED with a conventional rectangular AIGaN EBL or a A1GaN/GaN SL EBL. The results also indicate that the efficiency droop is markedly improved when an AlInN/GaN SL EBL is used. 展开更多
关键词 AIlnN/GaN superlattices efficiency droop numerical simulation
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Performance improvement of InGaN blue light-emitting diodes with several kinds of electron-blocking layers
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作者 陈峻 范广涵 +3 位作者 张运炎 庞玮 郑树文 姚光锐 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第5期686-691,共6页
The performance of InGaN blue light-emitting diodes(LEDs) with different kinds of electron-blocking layers is investigated numerically.We compare the simulated emission spectra,electron and hole concentrations,energ... The performance of InGaN blue light-emitting diodes(LEDs) with different kinds of electron-blocking layers is investigated numerically.We compare the simulated emission spectra,electron and hole concentrations,energy band diagrams,electrostatic fields,and internal quantum efficiencies of the LEDs.The LED using AlGaN with gradually increasing Al content from 0% to 20% as the electron-blocking layer(EBL) has a strong spectrum intensity,mitigates efficiency droop,and possesses higher output power compared with the LEDs with the other three types of EBLs.These advantages could be because of the lower electron leakage current and more effective hole injection.The optical performance of the specifically designed LED is also improved in the case of large injection current. 展开更多
关键词 electron-blocking layer light-emitting diode internal quantum efficiency
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The influence of AlGaN/GaN superlattices as electron blocking layers on the performance of blue InGaN light-emitting diodes
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作者 龚长春 范广涵 +5 位作者 张运炎 许毅钦 刘小平 郑树文 姚光锐 周德涛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第6期579-582,共4页
P-A1GaN/P-GaN superlattices are investigated in blue InGaN light-emitting diodes as electron blocking layers. The simulation results show that efficiency droop is markedly improved due to two reasons: (i) enhanced ... P-A1GaN/P-GaN superlattices are investigated in blue InGaN light-emitting diodes as electron blocking layers. The simulation results show that efficiency droop is markedly improved due to two reasons: (i) enhanced hole concentration and hole carrier transport efficiency in A1GaN/GaN superlattices, and (ii) enhanced blocking of electron overflow between multiple quantum-wells and A1CaN/GaN superlattices. 展开更多
关键词 P-A1GaN/P-GaN superlattices numerical simulation emciency droop
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第一性原理研究Te-N共掺p型ZnO 被引量:1
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作者 姚光锐 范广涵 +6 位作者 郑树文 马佳洪 陈峻 章勇 李述体 宿世臣 张涛 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第17期389-395,共7页
采用基于密度泛函理论的第一性原理赝势法对Te-N共掺杂ZnO体系的晶格结构、杂质态密度和电子结构进行了理论分析.研究表明,N掺杂引起晶格收缩,而Te的掺入引起晶格膨胀,从而减小晶格应力促进N的掺杂,并且Te由于电负性小于O而带正电,Te在... 采用基于密度泛函理论的第一性原理赝势法对Te-N共掺杂ZnO体系的晶格结构、杂质态密度和电子结构进行了理论分析.研究表明,N掺杂引起晶格收缩,而Te的掺入引起晶格膨胀,从而减小晶格应力促进N的掺杂,并且Te由于电负性小于O而带正电,Te在ZnO中作为等电子施主而存在.研究发现,N掺杂体系中在费米能级附件形成窄的深受主能级,而Te-N共掺体系中,N杂质带变宽,空穴更加离域,同时,空穴有效质量变小,受主能级变浅,更有利于实现p型特性.因此,Te-N共掺有望成为一种更为有效的p型掺杂手段. 展开更多
关键词 氧化锌 P型掺杂 第一性原理 电子结构
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纤锌矿Beo掺Cd的电子结构与能带特性研究
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作者 郑树文 范广涵 +3 位作者 何苗 姚光锐 陈峻 贺龙飞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第17期429-438,共10页
采用基于密度泛函理论平面波赝势方法,对纤锌矿BeO掺Cd的Be_(1-x)Cd_xO合金进行电子结构与能带特性研究.结果表明:Be_(1-x)Cd_xO的价带顶始终由O 2p电子态决定,而导带底由Be 2s和Cd 5s的电子态决定.随着Be_(1-x)Cd_xO合金的Cd掺杂量增加... 采用基于密度泛函理论平面波赝势方法,对纤锌矿BeO掺Cd的Be_(1-x)Cd_xO合金进行电子结构与能带特性研究.结果表明:Be_(1-x)Cd_xO的价带顶始终由O 2p电子态决定,而导带底由Be 2s和Cd 5s的电子态决定.随着Be_(1-x)Cd_xO合金的Cd掺杂量增加,Cd 4d与O 2p的排斥效应逐渐加强,同时Be_(1-x)Cd_xO的带隙逐渐变小,出现"直接—间接—直接"的带隙转变.为了使理论值与实验值相一致,对Be_(1-x)Cd_xO带隙进行修正,并分析了纤锌矿BeO-ZnO-CdO三元合金的带隙和弯曲系数与晶格常数的关系. 展开更多
关键词 密度泛函理论 Be1-xCdxO 电子结构 能带特性
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膨胀石墨基复合材料的制备及其导热性能的研究 被引量:6
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作者 李布楠 杜鸿达 +4 位作者 郑心纬 李佳 张振兴 姚光锐 康飞宇 《炭素技术》 CAS 北大核心 2014年第5期9-13,共5页
以中间相沥青和聚酰胺酸为黏结剂和增密剂,用两种不同方法与预压膨胀石墨进行复合。再经过模压炭化,得到高密度、高取向和高导热的炭/石墨复合材料。同时研究了不同沥青含量和不同聚酰胺酸溶液浓度下复合材料的致密性和导热性能。结果表... 以中间相沥青和聚酰胺酸为黏结剂和增密剂,用两种不同方法与预压膨胀石墨进行复合。再经过模压炭化,得到高密度、高取向和高导热的炭/石墨复合材料。同时研究了不同沥青含量和不同聚酰胺酸溶液浓度下复合材料的致密性和导热性能。结果表明,随着沥青用量增加,复合材料的密度增加,并在沥青含量占30%时密度达到最大值。热导率在沥青用量为15%时达到最大,为530.64 W/m·K,比铜的热导率高33%。液相浸渍法下,浸渍溶液浓度为12%时,浸渍效果最好,复合材料的热导率和密度达到最大值。相比而言,中间相沥青比聚酰胺酸对膨胀石墨的密度和热导率提升效果更好,这主要是由于在热压条件下,沥青的软化和流动性造成的,流动的沥青能够更好地填充膨胀石墨的孔隙。 展开更多
关键词 中间相沥青 模压 液相浸渍 膨胀石墨 取向性
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Improved optical performance of GaN grown on pattered sapphire substrate 被引量:1
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作者 姚光锐 范广涵 +2 位作者 李述体 章勇 周天民 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期7-10,共4页
An improved GaN film with low dislocation density was grown on a C-face patterned sapphire substrate (PSS) by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD). The vapor phase epitaxy starts from the regions with no... An improved GaN film with low dislocation density was grown on a C-face patterned sapphire substrate (PSS) by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD). The vapor phase epitaxy starts from the regions with no etched pits and then spreads laterally to form a continuous GaN film. The properties of the GaN film have been investigated by double crystal X-ray diffraction (DCXRD), atomic force microscopy (AFM) and photoluminescence (PL), respectively. The full-width at half-maximum (FWHM) of the X-ray diffraction curves (XRCs) for the GaN film grown on PSS in the (0002) plane and the (1012) plane are as low as 312.80 arcsec and 298.08 acrsec, respectively. The root mean square (RMS) of the GaN film grown on PSS is 0.233 nm and the intensity of the PL peak is comparatively strong. 展开更多
关键词 double crystal X-ray diffraction atomic force microscopy PHOTOLUMINESCENCE GAN wet-etching
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