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高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪
1
作者
夏敦柱
姚默晗
杜森
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期1-8,共8页
设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带...
设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带宽。其中刚度调谐和正交误差校正所需要的高压直流电由小型化的Boost升压电路提供。样机测试结果表明闭环Boost升压电路精度高,对陀螺仪的零偏不稳定性影响小。陀螺仪具有高品质因数(Q=36503)、低非线性度(314×10^(-6))、低角度随机游走(0.1664°/√4)以及低零偏不稳定性(2.0229°/h)。
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关键词
多环盘式陀螺仪
三波腹
双闭环电路
Boost升压电路
正交误差校正
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职称材料
题名
高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪
1
作者
夏敦柱
姚默晗
杜森
机构
东南大学仪器科学与工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期1-8,共8页
基金
国家自然科学基金项目(61871125)。
文摘
设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带宽。其中刚度调谐和正交误差校正所需要的高压直流电由小型化的Boost升压电路提供。样机测试结果表明闭环Boost升压电路精度高,对陀螺仪的零偏不稳定性影响小。陀螺仪具有高品质因数(Q=36503)、低非线性度(314×10^(-6))、低角度随机游走(0.1664°/√4)以及低零偏不稳定性(2.0229°/h)。
关键词
多环盘式陀螺仪
三波腹
双闭环电路
Boost升压电路
正交误差校正
Keywords
multi-ring disc gyroscope
three-antinode
double closed-loop circuit
boost chopper
quadrature error correction
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
V241 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪
夏敦柱
姚默晗
杜森
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
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