基于光栅制造的光刻投影物镜设计

光栅尺作为位移传感器被广泛应用在精密测量体系中,随着测量趋于纳米级精度和大量程,对光栅尺的制造精度提出了更高的要求。刻线误差是影响光栅尺制造精度的重要因素,减小刻线误差能够有效提高光栅制造精度。设计了一种大孔径、低畸变的投影光刻物镜,并在Zemax光学设计软件中对物镜进行了设计及优化。结果显示,其全视场波像差小于λ/10,MTF>0.6,最大畸变<0.0037%,最大分辨率R=2μm,数值孔径NA=0.15,缩小倍率5×,最大焦深±9.73μm。对其进行公差分析,结果表明,该物镜完全满足提高光栅尺制造精度的需求。

基于光刻阈值模型的光栅精度预测及补偿

光栅尺制造过程的预测及补偿是提升其精度的主要方法之一。文章提出了一种基于光刻阈值模型的光栅尺精度预测及补偿方法,采用矩形栅距傅里叶基波法,研究光栅尺计算光刻阈值模型及关键参数对光刻精度的影响;通过利用Matlab软件建立计算光刻能量三维模型,对比分析光刻焦平面能量阈值界面,实现光栅尺精度的预测;通过仿真及试验分析焦平面能量幅值、相位参数,关联并调整直线运动系统定位误差、光刻曝光能量相关参数的补偿方法,当阈值平面角度θ=0时,理想状态情况下可以通过直接补偿方式完全补偿,多线均匀化间接补偿可以将光栅条纹误差提高97.3%,为高精度光栅尺的光刻和补偿方法的计算提供了理论依据。

光栅信号补偿及软件细分算法研究

光栅线性位移传感器作为精密测量的研究对象,其对栅距细分提高分辨率的研究具有重要地位。根据光栅信号的数学模型,提出了基于离散傅里叶变换预处理和最小二乘法椭圆拟合并根据输出信号各误差依次补偿的组合方法。对补偿后的信号提出了一种线性化处理的软件细分方法,该细分方法可以实现16倍的栅距细分。利用MATLAB软件对光栅信号的补偿算法和细分算法进行了仿真,验证了所提出算法的可行性。

青海海东浅山沙棘造林技术

青海省海东地区位于青海省东部,地处祁连山脉达板山南麓和昆仑山系余脉日月山东部,属青藏高原向黄土高原过渡和相嵌地带。由于水土流失严重,沟壑纵横,山势高耸,形成黄土梁状丘陵和侵蚀剥蚀残余山地地貌:平均海拔高度2873m,最低1650m,最高4898m,黄河干流及黄河一级支流湟水河横穿该区。该地区温度较低,日照时数多,垂直差异较大。降水集中在6～9月,占全年降水的70％～80％。浅山区年降水260～460mm,灾害多、干旱出现频繁,危害面广。据史料记载,5年左右出现1次旱灾,10年出现1次大旱,

青海省湟源县实现梯田化达标的经验及效益

青海省湟源县实现梯田化达标的经验及效益孔明旭（青海省海东地区水土保持工作站，平安县８１０６００）湟源县位于我国黄土高原最西端的日月山下、湟水上游，是青海省东部农业区最西端的一个县。县境属祁连山系，山峦重叠，河流沟岔纵横，山高坡陡，地形破碎。汉水自西向...

二七零八工程效益跟踪调查

本文通过对二七零八工程实施后水土资源得以充分利用，给项目区发展农业、林业、畜牧业及群众脱贫致富带来的巨大效益分析，提出了海东地区要实现由农业大区向农业强区的转变，必须在浅山改造上，特别是浅山耕地灌溉问题上作文章。