6英寸SiC基GaN HEMT背孔刻蚀技术研究

6英寸(1英寸=2.54 cm)SiC基GaN晶圆减薄后翘曲和总厚度变化(TTV)较大,给背孔刻蚀工艺带来了极大的挑战。以SF6和O2为刻蚀气体,通过研究气体流量及流量配比、腔体压力、感应耦合等离子体(ICP)功率、偏置功率等参数对SiC刻蚀速率和SiC对GaN选择比的影响,提出了针对SiC的两段式刻蚀方法。其中,主刻蚀阶段以超过0.8μm/min的刻蚀速率完成大部分SiC刻蚀,软着陆阶段提供超过60∶1的SiC对GaN刻蚀选择比,确保SiC刻蚀有效停止在GaN界面。此外,以Cl2和N2为刻蚀气体开发了GaN/AlGaN刻蚀工艺,刻蚀速率约为0.25μm/min。采用上述背孔刻蚀技术制作的0.5μm GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)在3.5 GHz下输出功率密度达到约8.4 W/mm,功率附加效率超过57%。聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)结果表明背孔制作工艺良好。将孔链图形在200℃下烘烤48 h后再进行1000次-55~125℃温度循环,孔链电阻值变化幅度低于8%,证明背孔可靠性良好。该方法为6英寸SiC基GaN HEMT生产提供了可行的背孔刻蚀解决方案。

集成侧墙技术的80nm栅GaN HEMT

目前业界主要采用电子束曝光技术制作高频氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)的深亚微米T型栅,存在效率低下、良率不足和成本较高的问题。本文采用集成侧墙技术,在6英寸工业化产线上首次成功制造了纯光学曝光的80 nm T型栅GaN HEMT,并对器件性能参数进行了全面表征和分析。器件单位栅宽(每毫米)下,最大输出电流Id,max为993 mA,峰值跨导Gm,peak为385 mS;阈值电压Uth为-3.25 V,关态击穿电压超过80 V;电流增益截止频率(fT)和功率增益截止频率(fmax)分别为64 GHz和175 GHz。在28 V工作时,器件在16 GHz下的饱和输出功率、功率增益和功率附加效率分别为26.95 dBm(每毫米4.9 W)、11.08 dB和49.78%;在30 GHz下器件的饱和输出功率、功率增益和功率附加效率分别为26.15 dBm(每毫米4.1 W)、8.8 dB和44%。结果表明,集成侧墙技术在深亚微米GaN HEMT制造中具备较好的应用前景。

前置胎盘并发胎盘植入5例临床分析

目的:探讨前置胎盘合并胎盘植入的临床特点、孕期诊断和产时适宜的处理方法,改善临床结局。方法:连续收集我院2006年1-12月间住院分娩孕产妇1496例次的临床资料,对这些病历中发生前置胎盘或前置胎盘并发胎盘植入患者的临床资料进行调查和分析。结果:发生前置胎盘23例,占同期住院分娩孕产妇总数的1.54%(23/1496);前置胎盘并胎盘植入5例,占同期住院分娩孕产妇总数的0.33%(5/1496),占前置胎盘总数的21.74%(5/23)。前置胎盘并胎盘植入患者产时、产后平均出血量为2000mL,明显多于单纯性前置胎盘患者的出血量(550mL)。5例前置胎盘并胎盘植入患者在适当的处理下,无一例需行子宫切除。结论:(1)前置胎盘并发胎盘植入发病率较高,病情凶险,终止妊娠时选择合适的处理方法非常重要。(2)孕期或产前对发现前置胎盘者,有剖宫产史、刮宫史、多产及孕妇年龄≥35岁高危因素者,经腹彩超检查评估有无胎盘植入,应视为重要的常规检查。

激活星形胶质细胞α7乙酰胆碱能受体抑制β-淀粉样蛋白的聚集

目的研究在星形胶质细胞内加入尼古丁后能否激活细胞内α7尼古丁乙酰胆碱能受体（n AChR）以及激活的α7n AChR对β-淀粉样蛋白（Aβ）的降解作用。方法分离新生乳鼠大脑皮质培养原代星形胶质细胞并纯化、传代,使用细胞免疫荧光法鉴定细胞的纯度。凝胶银染方法鉴定寡聚体聚集情况。试验分为正常对照组、激动剂组、拮抗剂组以及Aβ组激动剂＋Aβ组、拮抗剂＋Aβ组,用蛋白印迹法检测α7n AChR蛋白表达情况以及激活细胞内受体后对Aβ的降解作用。结果经过传代培养细胞得以纯化。体外制备好的Aβ1~42除了含少量的未聚集的单体（4 k D）外,主要以二聚体、三聚体、九聚体等不同聚集形式的寡聚体存在。尼古丁组与对照组相比α7n AChR表达明显升高（P〈0.01）,尼古丁组与拮抗剂组相比α7n AChR表达升高（P〈0.05）;收集的蛋白与上清液,尼古丁组与Aβ组相比Aβ的表达均明显降低（P〈0.01）,激动剂＋Aβ组与拮抗剂＋Aβ组相比Aβ的表达均明显降低（P〈0.01）。结论尼古丁可以激活星形胶质细胞内的α7n AChR,激活的α7n AChR对Aβ具有明显的降解作用,能够为预防和治疗阿尔茨海默氏病（AD）提供一个可能的方向。

日本企业文化特点与利弊分析

发端于中华儒学思想的日本企业文化是日本“经济奇迹”的内在动力,以“家”为理念、团队精神和人本主义为特点的日本企业文化,作为东方企业文化的成功代表,具有科学合理的一面,也有其局限性。

论以赛训结合创新实践技能课程教学模式

文章在分析高职学生学习和竞赛现状基础上，介绍剖析了浙江育英职业技术学院计算机应用技术专业以大学生技能竞赛为背景，以竞赛内容为项目驱动，将技能竞赛项目与实践技能训练课程教学结合起来，创新实践技能课程的教学模式。

NAT技术在无线局域网中的应用

NAT技术是将专用IP地址映射为公用IP地址的标准方法,但在无线局域网中应用的研究文献并不多见。应用Packet Tracer仿真软件,设计了模拟拓扑图,对无线路由器Linksys-WRT300N的性能进行了描述,给出了接口设置、IP地址分配以及配置命令,通过无线局域网中主机之间的相互通信和对外网Web页面的访问以及查看路由表信息,对应用NAT技术的结果进行了测试,并在实际的无线网络设备上进行了实验验证。

基于Packet Tracer的跨路由器实现VLAN间通信及分析

采用RIP动态路由方法,基于Packet Tracer仿真软件组建跨路由器的虚拟VLAN网络,设计模拟拓扑图,分析路由器的端口设置、IP地址分配以及二层交换机、路由器的配置命令和路由表信息,对虚拟网络进行仿真测试,实现跨路由器的VLAN间通信,并在实际的网络设备上进行实验验证,结果表明跨路由器实现VLAN间通信的技术是可行的。

创业板市场的功能定位与信息披露特点

［摘 要］相对于主权市场而言，创业权市场的上市标准低、风险大、收益高，可促进具有成长性的中小高新技术企业的发展，为创业投资提供进入退出便利，因而其信息披露必须体现上市公司的成长性，反映市场的风险性，注重信息的时效性，保障投资者的利益性。

可持续发展战略指标体系的构建

一、可持续发展观 可持续发展观,是一种以人的全面发展为目标,以满足人的基本需求为特征,以经济、社会、资源、环境协调发展为核心,以兼顾人类当前利益与未来利益为途径的新发展观.可持续发展既满足当代人的需要,又不对后代人满足其需要产生危害,使人类生存发展持续到永远,并生活的越来越好.可持续发展观首先强调了发展的可持续性,同时要求经济与社会的发展必须限定在资源与环境的承载能力之内.可持续发展问题不仅具有全球性,其区域性特点也十分明显.

计算机专业人才合格加特色职业技能的培养

文章论述了紧密结合浙江省经济发展趋势，在计算机专业教学中融合个性教育、创新教育，积极建设特色人才培养基地，注重学生个性化发展，拓展学生的能力范围，培养“合格加特色”的职业人，提高高职学生的就业竞争力。

奥美拉唑和阿莫西林及呋喃唑酮三联短程治疗幽门螺杆菌阳性消化性溃疡的疗效观察

目的:观察奥美拉唑、阿莫西林、呋喃唑酮短程三联治疗消化性溃疡的疗效及幽门螺杆菌根除率。方法:48例消化性溃疡患者,予以奥美拉唑20mg、阿莫西林1000mg、呋喃唑酮100mg,每日2次,疗程7日,活动期溃疡者继续每日顿服奥美拉唑20mg,连续3周。三联治疗结束1个月后,复查胃镜及钳取胃窦黏膜行快速尿素酶试验检测幽门螺杆菌。结果:症状缓解率为88%(42/48)、总有效率为100%、治愈率为98%(47/48)、幽门螺杆菌根除率为94%(45/48)。结论:奥美拉唑、阿莫西林、呋喃唑酮短程三联治疗消化性溃疡,幽门螺杆菌根除率高,疗程短,顺从性和耐受性好。

日本企业文化特点与我国企业文化建设

发端于中华儒学思想的日本企业文化是日本“经济奇迹”的内在动力,以“家”理念、团队精神和人本主义为特点的日本企业文化,作为东亚企业文化的成功代表具有科学合理的一面,但也有其局限性。在我国企业文化建设中,要借鉴日本企业文化的成功经验,吸收中华传统文化精髓,实现企业文化内涵与形式的统一,构建具有中国特色的企业文化。

家族企业:走出人力资源管理的误区

家族企业在人力资源管理方面,制度安排缺乏规范化、重学历轻能力、单纯运用物资刺激手段、轻视人才培养等弊端较为突出,抑制了家族企业的进一步发展壮大。因此,必须采取相应措施,走出上述误区,才能使家族企业健康成长。

现行农业税制理性反思与完善

农业税这个古老而独特的税种 ,建国以来 ,对于稳定农民负担 ,增加农业投入起了很大作用。但目前陈旧的税制已远远跟不上时代的步伐 ,进而影响了农民负担的规范 ,因此有必要从不同侧面对其思考 ,以便更好地发挥其积极作用。