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电子目镜显微镜景深的确定与测量 被引量:8
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作者 孙丽存 孟伟东 +1 位作者 李强 普小云 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1151-1159,共9页
从景深的基本概念出发,研究了电子目镜显微镜的景深与其物理景深和几何景深之间的关系。提出物理景深与几何景深在数学上满足"相或"而非"求和"关系的观点,并以此推导出了电子目镜显微镜的景深满足的计算公式。设计... 从景深的基本概念出发,研究了电子目镜显微镜的景深与其物理景深和几何景深之间的关系。提出物理景深与几何景深在数学上满足"相或"而非"求和"关系的观点,并以此推导出了电子目镜显微镜的景深满足的计算公式。设计了毛细管测量系统,用其测量了有效数值孔径不同时电子目镜显微镜(横向放大率为20×10)的景深,以及有效数值孔径等于显微物镜数值孔径时,不同规格电子目镜显微镜的景深。实验测量结果与理论推导结果基本吻合,表明电子目镜读数显微镜的景深值等于物理景深与几何景深中的较大值,而不是两者之和。 展开更多
关键词 电子显微镜 成像系统 景深 电子目镜 有效数值孔径 毛细管
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透明毛细管管壁折射率的无损测量 被引量:11
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作者 李强 苏光辉 +2 位作者 张瑞凯 孙丽存 普小云 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1264-1270,共7页
介绍了一种无损测量透明毛细管管壁折射率的方法。该方法利用平行光经过装有不同已知折射率标准液体的毛细管后会聚焦点位置不同的原理,通过CCD对会聚焦点位置成像后的图像进行判断,计算出毛细管外轮廓位置和焦距,进而计算出毛细管管壁... 介绍了一种无损测量透明毛细管管壁折射率的方法。该方法利用平行光经过装有不同已知折射率标准液体的毛细管后会聚焦点位置不同的原理,通过CCD对会聚焦点位置成像后的图像进行判断,计算出毛细管外轮廓位置和焦距,进而计算出毛细管管壁的折射率,其测量精度可达0.005。分析了毛细管内外径对管壁折射率测量的影响,结果表明,管壁越厚,测量精度越高;同时对毛细管管壁折射率灵敏度和成像系统的景深值进行了计算和比较,结果显示,标准液体折射率越低,标定精度越高。该方法使用设备简单,操作方便,便于对图像观察和识别,实现了对毛细管管壁折射率的无损精确测量。 展开更多
关键词 折射率测量 无损测量 毛细管 焦距 测量精度
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基于液芯柱透镜实现透明液体质量分数的测量
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作者 孙丽存 刘倩兰 +3 位作者 王萌 张继仙 欧全宏 郑永刚 《物理实验》 2023年第5期18-24,共7页
通过测量基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)基片的液芯柱透镜的后焦距,可实现液体折射率的快速测量;根据液体质量分数与折射率之间的良好线性关系,准确计算出待测透明液体的质量分数.搭建光学测量系统,以NaCl溶液和蔗糖溶液为例,构建了液体质量... 通过测量基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)基片的液芯柱透镜的后焦距,可实现液体折射率的快速测量;根据液体质量分数与折射率之间的良好线性关系,准确计算出待测透明液体的质量分数.搭建光学测量系统,以NaCl溶液和蔗糖溶液为例,构建了液体质量分数与液体折射率的关系模型,实现了溶液质量分数的测量,并对其测量不确定度进行了分析.基于PDMS基片的液芯柱透镜对注入其中的液体折射率的最小分辨能力优于0.0002 RIU,质量分数测量不确定度可控制在0.12%以内.该测量方法适用于微量液体折射率及质量分数的测量. 展开更多
关键词 液体质量分数 液体折射率 液芯柱透镜 几何光学
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毛细管成像法精确测量微量液体的折射率 被引量:7
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作者 李强 孙丽存 +2 位作者 韩广辉 李宇 普小云 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1440-1446,共7页
介绍了一种用玻璃毛细管成像法精确测量微量液体折射率的方法及测量装置。该方法以充入透明液体的毛细管构成柱透镜,基于共轴球面光学系统的成像原理,对光学成像系统的放大率进行单一参数的测量,进而计算出待测液体的折射率。测量了纯... 介绍了一种用玻璃毛细管成像法精确测量微量液体折射率的方法及测量装置。该方法以充入透明液体的毛细管构成柱透镜,基于共轴球面光学系统的成像原理,对光学成像系统的放大率进行单一参数的测量,进而计算出待测液体的折射率。测量了纯水、乙醇、乙二醇、丙三醇的折射率,各种待测样品的需要量均小于0.002mL,结果显示本试验装置的测量准确度与目前商用阿贝折射仪(±0.000 2)相当。另外,测量了不同浓度的乙二醇水溶液的折射率,并对测量的数据点进行了曲线拟合,测试结果与阿贝折射仪测量结果和理论公式计算结果所拟合曲线吻合完好。该方法具有待测液体用量极少、操作方便和折射率测量精度高的特点,适用于微量液体折射率的精确、快速测量。 展开更多
关键词 微量液体 折射率测量 毛细管成像法 横向放大率
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基于PDMS基片的可变焦柱透镜 被引量:2
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作者 孟伟东 孙丽存 +1 位作者 李强 普小云 《中国光学》 EI CAS 2013年第3期365-370,共6页
设计并制作了一种基于聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)基片的可变焦微型柱透镜。这种柱透镜主要由一根埋入PDMS基片中的玻璃毛细管构成,通过选择毛细管内液体的折射率实现变焦功能。液体折射率为1.451 8~1.550 2时,柱透镜... 设计并制作了一种基于聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)基片的可变焦微型柱透镜。这种柱透镜主要由一根埋入PDMS基片中的玻璃毛细管构成,通过选择毛细管内液体的折射率实现变焦功能。液体折射率为1.451 8~1.550 2时,柱透镜焦距可由21.369 mm减小到3.362 mm,变焦倍数达到6.4倍。用散射光成像方法观察并拍摄了平行光通过这种可变焦柱透镜后的光线轨迹图;用ZEMAX光学设计软件摸拟了成像过程,模拟结果和实验图像相符;用高斯光学的逐次成像方法推导出了这种柱透镜的焦距公式,焦距的计算结果和实验以及模拟结果吻合。PDMS基片中可变焦微型柱透镜的成功制作,为"芯片上的实验室"提供了一种重要的光学成像元件。 展开更多
关键词 PDMS基片 变焦柱透镜 玻璃毛细管 液体折射率
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基于液芯柱透镜测量随浓度变化的液相扩散系数:方法综述
6
作者 王瑞仙 孟伟东 +3 位作者 魏利 孙丽存 李强 普小云 《云南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期356-368,共13页
液相扩散系数是溶液浓度的函数D(c),通常采用浓度配对法、Boltzmann-Matano(BM)图解法、Hall解析法和多项式数值逼近等方法测量D(c)关联式.文章在综述以上几种测量方法的基础上,重点介绍了测量D(c)关联式的一种新方法,即BM半解析法.BM... 液相扩散系数是溶液浓度的函数D(c),通常采用浓度配对法、Boltzmann-Matano(BM)图解法、Hall解析法和多项式数值逼近等方法测量D(c)关联式.文章在综述以上几种测量方法的基础上,重点介绍了测量D(c)关联式的一种新方法,即BM半解析法.BM半解析法基于液芯柱透镜测量扩散过程中溶液浓度的空时分布函数c_(expt)(x,t)s,结合Hall解析法以及BM图解法,能够快速、准确、稳定地测量D(c)关联式.用BM半解析法测量了葡萄糖水溶液在室温下的D(c)关联式,采用时域有限差分法(FDTD)求解Fick扩散方程,计算了不同D(c)关联式下扩散浓度的空时分布函数,计算结果与实验浓度分布函数c_(expt)(x,t)s进行了分析比较.结果表明,采用FDTD计算并比较实验扩散浓度空时分布的方法,为实测D(c)关联式的正确性提供了一种有效的判断手段. 展开更多
关键词 液相扩散系数 液芯柱透镜 时域有限差分法 Boltzmann-Matano法 D(c)关联式验证
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利用实时光学图像特征提取法测量液相扩散系数 被引量:1
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作者 杨瑞芬 翟影 +2 位作者 孙丽存 孟伟东 普小云 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3026-3032,共7页
介绍了一种利用非对称液芯柱透镜结合实时光学图像特征提取方法测量液相扩散系数(D)的方法。该方法基于图像采集系统的软件开发工具包对采集系统进行二次开发,并用自编应用软件对图像中特定区域进行亮度及宽度的特征提取。然后,依据图... 介绍了一种利用非对称液芯柱透镜结合实时光学图像特征提取方法测量液相扩散系数(D)的方法。该方法基于图像采集系统的软件开发工具包对采集系统进行二次开发,并用自编应用软件对图像中特定区域进行亮度及宽度的特征提取。然后,依据图像特征自动寻找出实验所选液体折射率薄层清晰成像点的位置并记录该位置随时间的变化关系。最后,根据Fick第二定律计算出液相扩散系数。采用这种方法,实验研究了室温(25℃)条件下乙二醇在纯水中的扩散过程,测得其扩散系数D=1.164×10-5 cm2/s,与文献报导值的相对误差为0.34%。与直接观察测量法相比较,此方法实现了测量的自动化,避免了人为主观判断误差,具有测量快速、准确,计算耗时短,实验测量结果稳定的特点。 展开更多
关键词 图像特征提取 亮度及宽度 液相扩散系数 自动测量
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晶圆级封装中硅基盖帽的湿法腐蚀工艺 被引量:1
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作者 吴鹏 郭杰 +3 位作者 袁俊 李志华 黎秉哲 孙丽存 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第6期498-502,共5页
对于晶圆级封装中硅基盖帽的制备工艺,采用NaOH腐蚀体系对Si〈100〉衬底进行湿法深腐蚀,研究了腐蚀液质量分数、添加剂添加量及腐蚀温度对腐蚀速率和形貌的影响。针对深腐蚀中掩膜易脱落的缺点,提出了一种先用等离子体增强化学气相沉积(... 对于晶圆级封装中硅基盖帽的制备工艺,采用NaOH腐蚀体系对Si〈100〉衬底进行湿法深腐蚀,研究了腐蚀液质量分数、添加剂添加量及腐蚀温度对腐蚀速率和形貌的影响。针对深腐蚀中掩膜易脱落的缺点,提出了一种先用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积SiO2介质层,再用磁控溅射生长CrAu金属层的方法,SiO2介质层和CrAu金属层作为双层掩膜。研究结果表明:硅的腐蚀速率随温度的增加呈指数增加,在饱和NaOH溶液中腐蚀速率最快,腐蚀速率可达15μm/min。最终腐蚀出表面平整、界面清晰的硅基盖帽,盖帽空间面积为2 cm×2 cm,深度超过100μm,复合掩膜层没有开裂、脱落现象,具有优异的抗腐蚀性。该腐蚀工艺对红外焦平面阵列(IRFPA)探测器晶圆级封装具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 红外焦平面阵列(IRFPA) 晶圆级封装 湿法腐蚀 腐蚀速率 掩膜
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Measurement and verification of concentration-dependent diffusion coefficient:Ray tracing imagery of diffusion process
9
作者 Li Wei Wei-Dong Meng +2 位作者 Li-Cun Sun Xin-Fei Cao Xiao-Yun Pu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第8期292-301,共10页
Ray tracing method is used to study the propagation of collimated beams in a liquid-core cylindrical lens(LCL),which has dual functions of diffusion cell and image formation.The diffusion images on the focal plane of ... Ray tracing method is used to study the propagation of collimated beams in a liquid-core cylindrical lens(LCL),which has dual functions of diffusion cell and image formation.The diffusion images on the focal plane of the used LCL are simulated by establishing and solving both linear and nonlinear ray equations,the calculated results indicate that the complex imaging results of LCL in inhomogeneous media can be treated by the law of ray propagation in homogeneous media under the condition of small refractive index gradient of diffusion solution.Guided by the calculation conditions,the diffusion process of triethylene glycol aqueous solution is experimentally studied at room temperature by using the LCL in this paper.The spatial and temporal concentration profile Ce(z,t)of diffusion solution is obtained by analyzing diffusion image appearing on the focal plane of the LCL;Then,the concentration-dependent diffusion coefficient is assumed to be a polynomial D(C)=D0×(1+α1C+α2C2+α3C3+…).The finite difference method is used to solve the Fick diffusion equation for calculating numerically the concentration profiles Cn(z,t).The D(C)of triethylene glycol aqueous solution is obtained by comparing the Cn(z,t)with Ce(z,t).Finally,the obtained polynomial D(C)is used to calculate the refractive index profiles nn(z,t)s of diffusion solution in the used LCL.Based on the ray propagation law in inhomogeneous media and the calculated n(z,t),the ray tracing method is used again to simulate the dynamic images of the whole experimental diffusion process to varify the correctness of the calculated D(C).The method presented in this work opens up a new way for both measuring and verifying the concentration-dependent liquid diffusion coefficients. 展开更多
关键词 concentration-dependent liquid diffusion coefficients liquid-core cylindrical lens nonlinear ray equation ray tracing method
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电子目镜显微镜的景深研究
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作者 孙丽存 李宇 +2 位作者 孟伟东 李强 普小云 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第F12期111-118,共8页
基于近轴条件下的高斯公式,导出了电子目镜显微镜的几何和物理景深公式并分析了其适用的条件。通常情况下,电子目镜显微镜的景深值由其物理景深决定,景深值与显微物镜的有效数值孑L径的平方成反比,与电子目镜的放大倍数无直接关系。... 基于近轴条件下的高斯公式,导出了电子目镜显微镜的几何和物理景深公式并分析了其适用的条件。通常情况下,电子目镜显微镜的景深值由其物理景深决定,景深值与显微物镜的有效数值孑L径的平方成反比,与电子目镜的放大倍数无直接关系。用Zemax软件模拟了10×20电子目镜显微镜的景深,软件模拟值与计算值完全相符。为了验证景深公式,设计了毛细管测量系统,用其测量了有效数值孔径不同时电子目镜显微镜的景深以及有效数值孔径等于显微物镜数值孔径时不同规格电子目镜显微镜的景深。实验测量值与计算值十分吻合。 展开更多
关键词 成像系统 景深 电子目镜 有效数值孔径
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测量微量液体折射率的新方法 被引量:13
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作者 李宇 李强 +2 位作者 孙丽存 黄柏林 普小云 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第2期68-74,共7页
液体折射率的毛细管焦点测量法具有样品需要量极少和封闭测量的特点,在微量液体的折射率测量方面有重要的应用前景。为了提高毛细管焦点测量法的测量精度和改善测量的方便性,用内置CCD的电子目镜取代传统目镜,在计算机上直接观察和判断... 液体折射率的毛细管焦点测量法具有样品需要量极少和封闭测量的特点,在微量液体的折射率测量方面有重要的应用前景。为了提高毛细管焦点测量法的测量精度和改善测量的方便性,用内置CCD的电子目镜取代传统目镜,在计算机上直接观察和判断毛细管焦点的成像状态;用电动精密位移台取代传统的手动精密位移台;用新的测量系统对不同浓度的乙二醇水溶液做了折射率测量。结果表明,折射率的测量精度达到±0.0002;一次性测量样品需要量小于0.002mL。在毛细管焦点测量法中引入电子目镜和电动精密位移台,提高了微量液体折射率的测量精度。 展开更多
关键词 测量 折射率测量 焦点法 玻璃毛细管 精度
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用液芯变焦柱透镜精确测量液体折射率 被引量:8
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作者 李强 孙丽存 +1 位作者 孟伟东 普小云 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期162-168,共7页
加工制作了一种液芯变焦柱透镜,并利用这种柱透镜精确测量液体的折射率。在空心的柱透镜内注入待测液体,通过测量液芯透镜的焦距,根据焦距和折射率之间的关系,计算出液芯介质的折射率。此方法有效地提高了折射率测量的灵敏度,减小了测... 加工制作了一种液芯变焦柱透镜,并利用这种柱透镜精确测量液体的折射率。在空心的柱透镜内注入待测液体,通过测量液芯透镜的焦距,根据焦距和折射率之间的关系,计算出液芯介质的折射率。此方法有效地提高了折射率测量的灵敏度,减小了测量系统的景深。选取20×显微物镜可实现液体折射率在1.3~1.642范围内的精确测量,单次测量误差小于0.0002。对透镜折射率灵敏度曲线以及测量系统景深曲线的分析表明,增加折射率灵敏度和测量系统的有效数值孔径,可以进一步提高测量的准确度。 展开更多
关键词 测量 液体折射率 测量灵敏度 柱透镜 景深
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用液芯柱透镜快速测量液相扩散系数-折射率空间分布瞬态测量法 被引量:7
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作者 孟伟东 孙丽存 +2 位作者 翟影 杨瑞芬 普小云 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期147-153,共7页
本文提出了一种快速测量液相扩散系数的方法,该方法以液芯柱透镜作为液相扩散池和成像元件,利用柱透镜成像过程中特有的折射率空间分辨测量能力,只需记录一幅瞬态扩散图像,根据图像的像宽与折射率的对应关系,基于扩散定律快速计算出液... 本文提出了一种快速测量液相扩散系数的方法,该方法以液芯柱透镜作为液相扩散池和成像元件,利用柱透镜成像过程中特有的折射率空间分辨测量能力,只需记录一幅瞬态扩散图像,根据图像的像宽与折射率的对应关系,基于扩散定律快速计算出液相扩散系数.实验研究了室温(25C)下乙二醇和纯水间的扩散过程,用折射率空间分布法测量了扩散系数,和其他测量方法得到的结果进行了分析对比,结果表明:用折射率空间分布法测量液相扩散系数具有数据采集耗时短(~20 ms)、测量速度快(<1 s)、精度高(相对误差<3%)和操作简单的特点,为快速测定液相扩散系数提供了一种有效的新方法. 展开更多
关键词 扩散系数 快速测量 折射率空间分布 液芯柱透镜
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连续变焦微型液体柱透镜系统的设计与制备
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作者 盛树武 呼德港 +2 位作者 周琰武 王丹阳 孙丽存 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期229-237,共9页
设计并制备了一种具有较大变倍比及较高成像质量的充液式连续变焦微型柱透镜系统。该系统由埋入聚二甲基硅氧烷基片的两片对称弯月柱透镜及一片双凸柱透镜构成:两弯月柱透镜边缘位置胶合形成空腔,改变注入其中的液体折射率,可实现柱透... 设计并制备了一种具有较大变倍比及较高成像质量的充液式连续变焦微型柱透镜系统。该系统由埋入聚二甲基硅氧烷基片的两片对称弯月柱透镜及一片双凸柱透镜构成:两弯月柱透镜边缘位置胶合形成空腔,改变注入其中的液体折射率,可实现柱透镜系统的连续变焦;双凸柱透镜的优化设计可控制柱透镜系统整个变焦范围内的像差。当柱透镜系统中注入的液体折射率由1.3330变化到1.5530时,可实现系统后焦距由52.292~4.972 mm的连续平滑变化。整个变焦范围内,柱透镜系统径向弥散斑均方根半径始终小于5μm,接近衍射极限。对柱透镜系统的可能公差进行了详细分析,证实了该设计的可行性,并完成了透镜系统的加工制备及后焦距、调制传递函数曲线的测量。该变焦系统具有变倍比高、体积小、结构简单稳定、成像质量高等优势,可用于集成化的微型设备中。 展开更多
关键词 光学设计与制备 变焦系统 液体柱透镜 成像质量
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凸透镜焦距测量不确定度分析及系统偏差校正 被引量:6
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作者 盛树武 李林海 +1 位作者 辛志慧 孙丽存 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第14期79-86,共8页
综合考虑了透镜的焦深、厚度、球差等因素,对高斯公式法(实物成实像法)测量凸透镜焦距的不确定度进行了较全面的分析,并提出了校正由透镜厚度及球差引起的系统测量偏差的方法。对于选定的标称焦距为25.0 mm的凸透镜,其测量不确定度随着... 综合考虑了透镜的焦深、厚度、球差等因素,对高斯公式法(实物成实像法)测量凸透镜焦距的不确定度进行了较全面的分析,并提出了校正由透镜厚度及球差引起的系统测量偏差的方法。对于选定的标称焦距为25.0 mm的凸透镜,其测量不确定度随着物距的增大先减小后增大,校正前最小值为1.26 mm,其中透镜球差的存在对于测量不确定度的影响最为突出。系统测量偏差校正后,其不确定度变化趋势不变,最小值降低为0.10 mm,这大大提高了测量结果的准确度。不确定度分析结果表明将物点置于透镜的二倍焦距附近得到的测量结果更为可靠,所得结果为实验操作提供指导依据。 展开更多
关键词 测量 焦距 测量不确定度 系统偏差校正
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