激光反射镜薄膜散射的测量

为了测量激光反射镜薄膜的散射率，评定激光反射镜薄膜的光学性能，研制一种以球面反射镜为聚光元件和利用光电接收转换系统通过相对测量方法测量薄膜散射的装置。文章阐述这种激光反射镜薄膜散射测量装置的测量原理、结构和测量误差分析。实际测量结果表明，该装置的测量灵敏度优于４×１０－６，相对测量误差优于±１０％。