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单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法
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作者 宗毅 孙晟遥 +4 位作者 史玺源 于彩芸 刘一轩 段明亮 李建欣 《光学学报》 EI CAS 2024年第20期83-93,共11页
非球面光学元件已广泛应用于现代光学系统中,但高精度、灵活的非球面面形检测仍是一个难题。提出了一种单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法,以实现非球面的高精度拼接干涉测量。该方法利用单光楔垂轴倾斜对波前进行调制,实... 非球面光学元件已广泛应用于现代光学系统中,但高精度、灵活的非球面面形检测仍是一个难题。提出了一种单光楔可变补偿的非球面子孔径拼接干涉测量方法,以实现非球面的高精度拼接干涉测量。该方法利用单光楔垂轴倾斜对波前进行调制,实现对离轴子孔径基础像散和彗差(简称像差)的补偿。同时,光楔的轴向运动也能够改变子孔径的径向离轴位置,进而简化子孔径扫描机械系统。对光楔的波前像差调制机理进行了分析,并提出了光楔补偿器的完整在位位姿对准方法,以有效提高系统像差补偿和面形测量精度。最后,将本文方法的测量结果和三维轮廓仪的点扫描结果进行横向对比,结果表明,非球面单光楔补偿拼接干涉测量方法能够实现峰谷值约为λ/8的测量精度,具有补偿结构简单、灵活性好的系统优势。 展开更多
关键词 测量 非球面检测 非零位干涉 子孔径拼接 单光楔补偿
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