三氧化钼薄膜的制备和结构研究

采用溶胶 凝胶法成功制备了三氧化钼 (MoO3)薄膜 .首先 ,以CH3COCH2 COCH3,MoO3,C6 H5CH3和HOCH2 CH2 OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶 .凝胶的热重和差热分析 (TG DTA)显示三氧化钼的晶化出现在5 0 8℃附近的 14 0℃范围内 .其次 ,利用旋转涂布法在硅 (111)基片上通过 4 5 0℃退火处理制备了三氧化钼薄膜 .XRD和FTIR谱表明薄膜为α MoO3相 .SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密 ,在基片表面无择优取向 ;晶粒尺度范围在 0 .5～ 1μm之间 .