宽频响高灵敏度传声器

声学测量用电容传声器的频率响应范围和灵敏度，与所用振动膜材料的物理性质密切相关，理论表明金刚石具有优异的声学性能。本文利用多排直丝化学气相沉积技术，以Ｈ２＋ＣＨ４的混合气体为工作物质，在单晶硅片上沉积出了高质量的金刚石膜，并首次将该金刚石膜作为传声器振动膜，结果极大地拓宽了传声器的频率响应范围，提高了传声器的灵敏度。

新型高频复合振膜的研制

本文利用化学气相沉积方法，通过含碳气体的直流辉光放电分解过程，在球冠形金属高频振膜的两个表面上同时沉积出一定厚度的类金刚石碳膜，形成金属——类金刚石复合高频振膜。该振膜整体刚性高，没有应力变形。

CVD金刚石的成核机理研究

运用热丝CVD技术在单晶硅片上沉积金刚石膜,金刚石微晶将优先在基片表面缺陷处生长。经研磨粗糙的硅基材表面上金刚石的晶粒密度,要比未经任何处理的光滑硅表面上的大得多。利用扫描电镜、电镜能谱、超高压透射电镜、电子衍射等分析技术检测样品,在金刚石膜/硅界面处检测到了微晶碳化硅。本文认为,CVD金刚石在硅基材上的成核,取决于金刚石与硅基片材料间形成化学键的难度,能成键才能成核。