中国气体的现状与发展

对当下中国气体的市场、技术进行了详细的介绍,指出中国气体未来发展的方向。

中国特种气体的现状及发展走向

特种气体在石油化工、环境保护、医药卫生等领域发挥了巨大的作用。主要阐述了我国高纯石油化工气体、标准气体的发展现状,对存在的问题进行了分析,并预测了我国特种气体行业未来的发展趋势。

中国电子气体的现状及发展走向

详细地介绍了中国电子气体的技术现状。从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍。同时 。

敢问中国电子气体路在何方

对中国电子气体的历史进行了回顾,通过对某些具有代表性的电子气体的描述,可以清晰地看到我国电子气体同发达国家的差距。对中国电子气体未来的发展走向进行了剖析。

高纯磷烷的规模化生产

对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别。吸附—低温精馏—超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术“瓶颈”。

超纯氩(氦)净化技术

介绍了超高纯氩气的提纯方法。通过采用联合的单元操作,可以生产99.9999%纯度的超纯氩气,同时大大减少了贵重吸气剂的消耗。

新型标准气体配气装置研制

介绍了一种先进、实用的标准混合气配制装置,并对该装置的特点进行了详细描述。此外还对配气装置所必须配套的技术软件,以及培训的必要性进行了简要说明。

超纯电子混合气体及标准气体的配制技术

介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题。并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析。

半导体制造用高纯电子气体新品种的现状

对我国半导体生产过程中几种主要特种气体的现状进行了回顾,指出了我国超纯电子气体国产化过程中存在的问题。

简谈中国气体

回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心。

高纯羰基硫的生产

详细介绍了高纯羰基硫的合成与纯化

瓶装标准混合气配制中若干技术问题简述

简单介绍了瓶装标准混合气配制过程中技术软件的重要性。叙述了配制顺序、设计计算及有机气、环保气、爆炸气等有关技术问题。还叙述了配制组分的浓度相对不确定度的计算及其意义。

5.5N以上超纯氨的研制及产业化

“六五”以来 ,国内 5 N电子级高纯氨制备中长期存在水纯化曲线“马鞍形”现象和瓶装高纯氨中 O2 、N2 、CH4 等杂质反弹等技术难点及包装容器的落后与生产规模过小 ,使国内生产的瓶装高纯氨的质量长期徘徊在 5 N的水平 ,且很不稳定。针对上述技术难点进行克服和突破 ,说明了我院 5 .5 N以上超纯氨研制及产业化在技术上的进展。介绍了包装容器及氨中杂质尤其是氨中痕量水分析的有关工作。本工作对我国电子工业的发展将会产生一定的促进作用。

电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料

分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法。

超高纯氯气的大规模产业化生产

超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料。近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展,作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用。为确保产品质量稳定、降低成本,对该产品进行产业化生产十分必要。

吸附—低温精馏法生产高纯四氟化碳的探讨

对吸附—低温精馏法生产高纯四氟化碳的可行性进行了控讨。用乙烯为致冷剂的制冷循环来满足低温精馏操作的要求。

超纯氨(99.99999%)净化技术的最新研究进展

随着LED的飞速发展,作为重要原材料的高纯氨的纯度已达到7 N(99.99999%),传统的净化方法已成为初级预处理手段。介绍了当今世界最先进的氨净化方法,旨在提高我国超纯氨国产化水平,以满足中国LED生产的需要。

二氯二氢硅的纯化

采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质．纯化后的气体经气相色谱分析，表明化学改住的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用．

高纯氨的大规模生产

详细介绍了大规模生产高纯氨的工业方法，采用吸附－精馏提纯工艺是生产高质量高纯氨切实可行的方法。

瓶装三氟化硼的大规模生产

介绍了我国BF3科研、生产的历史与现状,综合介绍了BF3的各种生产工艺及其相关的物性。