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ZZ-3200J型高真空镀膜机的研制
1
作者
李云奇
徐成海
+7 位作者
关奎之
王继常
张世伟
崔承霖
王文昌
邵云飞
曹淑艳
孙能运
《真空》
CAS
北大核心
1993年第4期46-48,45,共4页
本文叙述ZZ-3200J型高真空镀膜机的结构性能并就设备中蒸发源的最佳配置。真空系统软连接等问题进行探讨。
关键词
真空
镀膜机
真空镀膜
下载PDF
职称材料
题名
ZZ-3200J型高真空镀膜机的研制
1
作者
李云奇
徐成海
关奎之
王继常
张世伟
崔承霖
王文昌
邵云飞
曹淑艳
孙能运
机构
东北大学
兰菱真空设备厂
出处
《真空》
CAS
北大核心
1993年第4期46-48,45,共4页
文摘
本文叙述ZZ-3200J型高真空镀膜机的结构性能并就设备中蒸发源的最佳配置。真空系统软连接等问题进行探讨。
关键词
真空
镀膜机
真空镀膜
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
ZZ-3200J型高真空镀膜机的研制
李云奇
徐成海
关奎之
王继常
张世伟
崔承霖
王文昌
邵云飞
曹淑艳
孙能运
《真空》
CAS
北大核心
1993
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