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ZZ-3200J型高真空镀膜机的研制
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作者 李云奇 徐成海 +7 位作者 关奎之 王继常 张世伟 崔承霖 王文昌 邵云飞 曹淑艳 孙能运 《真空》 CAS 北大核心 1993年第4期46-48,45,共4页
本文叙述ZZ-3200J型高真空镀膜机的结构性能并就设备中蒸发源的最佳配置。真空系统软连接等问题进行探讨。
关键词 真空 镀膜机 真空镀膜
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