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题名增粘剂HMDS在IGBT芯片光刻工艺中的优化
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作者
宁田丽
谭灿健
王志轮
程银华
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机构
株洲中车时代半导体公司
新型功率半导体器件国家重点实验室
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出处
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》
2023年第6期181-184,共4页
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文摘
芯片图形缺失导致IGBT(绝缘栅双极晶体管)器件失效的概率是100%,而增粘工艺是预防芯片图形缺失的必备工艺。芯片制程中,光刻工艺的衬底不尽相同,其衬底的增粘效果也存在差异。通过增粘工艺,原本完全亲水的硅片表现出一定的接触角,通过测量接触角的大小可以表征衬底的增粘效果。衬底的增粘效果与增粘工艺的时间、温度以及衬底种类相关。根据不同衬底的特性,选择合适稳定的工艺条件,是保证芯片图形完整的关键,在优化工艺的同时达到降本增效的目的。
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关键词
增粘剂
HMDS
光刻
接触角
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分类号
TN34
[电子电信—物理电子学]
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题名基于Java WEB校园社团SNS信息平台的研究
被引量:1
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作者
宁田丽
王蒙
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机构
哈尔滨理工大学
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出处
《黑龙江科技信息》
2014年第6期129-129,共1页
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文摘
随着网络技术的发展,从最初的个人技术展示到信息的即时发布,再到现在各种方便人们的网络应用和增进交流的社交网站,网络已逐渐改变了人们的生活习惯。社交网站(SNS网站)的出现,给人们提供了一个更加广阔的交流平台。本文研究的基于Java WEB校园社团SNS信息平台旨在服务师生,在平台上整合高校社团,增加学生快速获取信息的途径,以及方便学校管理社团。SNS平台的建立主要涉及到网站建设和数据库的建立与维护。
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关键词
校园社团SNS信息平台
数据库
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分类号
TP393
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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