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slot波导包覆层对功率密度的影响
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作者 宋世娇 安俊明 胡雄伟 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期705-708,共4页
理论模拟研究了硅基绝缘(SOI)的slot波导中槽内限制功率与slot波导的结构参数以及包覆层折射率的关系。结果表明,如果包覆层的折射率偏离衬底SiO2的折射率,相同参数下的slot波导的传输损耗大于包覆层为SiO2的结构的传输损耗。分析表明,... 理论模拟研究了硅基绝缘(SOI)的slot波导中槽内限制功率与slot波导的结构参数以及包覆层折射率的关系。结果表明,如果包覆层的折射率偏离衬底SiO2的折射率,相同参数下的slot波导的传输损耗大于包覆层为SiO2的结构的传输损耗。分析表明,如果包层与衬底折射率不同,限制的光功率会从slot缝隙中渗透到折射率较高的衬底或者包层中,从而引起能量的损耗。理论模拟得到了在缝隙宽度为0.12μm的情况下,slot波导槽内最大的光功率限制为28.54%,这个值包含了纳米线波导与slot波导直接耦合产生的耦合损耗以及slot波导自身的传输损耗。 展开更多
关键词 集成光学 slot波导 SOI 模式
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一种分子筛芯片的设计、制备与应用
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作者 宋世娇 郭进 +2 位作者 冯俊波 滕婕 宋曼 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期365-367,398,共4页
细菌的快速检测可以对疾病、疫情和环境污染给出早期预警,以便及早控制,防止病菌的蔓延。介绍了一种可用于快速细菌检测的分子筛芯片,给出了分子筛芯片的制备方法。通过研究KOH溶液对硅的不同晶面的湿法腐蚀速率以及这种速率差异对不同... 细菌的快速检测可以对疾病、疫情和环境污染给出早期预警,以便及早控制,防止病菌的蔓延。介绍了一种可用于快速细菌检测的分子筛芯片,给出了分子筛芯片的制备方法。通过研究KOH溶液对硅的不同晶面的湿法腐蚀速率以及这种速率差异对不同晶向硅片腐蚀形态的影响,研究结果表明,能用于分子筛芯片的只能是(110)型硅,进一步研究版图的排布与最后刻蚀结果之间的关系,得出支撑结构的长边必须是与(111)晶面方向垂直才能满足芯片的结构要求。最后介绍了其在细菌检测领域以及氢气提纯等方面的应用。 展开更多
关键词 快速细菌检测 分子筛 硅刻蚀 半导体工艺 氢气提纯
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硅纳米槽微环谐振器温度特性研究 被引量:4
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作者 宋世娇 安俊明 +2 位作者 赵雷 吴远大 胡雄伟 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第12期75-79,共5页
理论上模拟分析了硅基绝缘(SOI)槽波导微环谐振腔加盖SiO2包覆层情况下的温度稳定特性。对比了槽微环和纳米线微环,以及不同结构的槽微环谐振腔的温度稳定性。得到在室温下,5μm半径槽微环在1.55μm附近的谐振波长随温度变化为0.049nm/... 理论上模拟分析了硅基绝缘(SOI)槽波导微环谐振腔加盖SiO2包覆层情况下的温度稳定特性。对比了槽微环和纳米线微环,以及不同结构的槽微环谐振腔的温度稳定性。得到在室温下,5μm半径槽微环在1.55μm附近的谐振波长随温度变化为0.049nm/℃,而相同温度、半径以及折射率情况下纳米线微环谐振波长随温度变化为0.092nm/℃,是槽微环的1.88倍。而且改变槽微环的槽宽和两侧Si条的宽度也会对微环的温度特性有影响,增加槽宽或者减小Si条宽度都会使谐振波长随温度的变化进一步减小。通过采用负温度系数聚合物材料WIR30-490和优化槽波导的结构参数,使得温度对微环谐振波长的影响降低到0.0023nm/℃。 展开更多
关键词 集成光学 槽波导 微环 温度稳定性
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Si纳米线阵列波导光栅制备 被引量:4
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作者 张家顺 安俊明 +3 位作者 赵雷 宋世娇 吴远大 胡雄伟 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1431-1434,共4页
采用绝缘层上Si(SOI)材料设计制备了3×5纳米线阵列波导光栅(AWG),器件大小为110μm×100μm。利用简单传输法模拟了器件的传输谱,并采用二维时域有限差分(FDTD)模拟中心通道输出光场的稳态分布,模拟结果表明,器件的通道间隔为1... 采用绝缘层上Si(SOI)材料设计制备了3×5纳米线阵列波导光栅(AWG),器件大小为110μm×100μm。利用简单传输法模拟了器件的传输谱,并采用二维时域有限差分(FDTD)模拟中心通道输出光场的稳态分布,模拟结果表明,器件的通道间隔为11 nm,通道间的串扰为18 dB。通过电子束曝光(EBL)和感应耦合等离子(ICP)刻蚀制备了所设计的器件,光输出谱测试分析表明,器件中心通道的片上损耗为9 dB,通道间隔为8.36~10.40 nm,中心输出通道的串扰为6 dB。在误差允许范围内,设计和测试的结果一致。 展开更多
关键词 阵列波导光栅(AWG) 绝缘层上硅(SOI)纳米线波导 时域有限差分(FDTD) 电子束曝光(EBL)
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8通道-1.6nm Si纳米线阵列波导光栅的设计与制作 被引量:2
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作者 赵雷 安俊明 +3 位作者 张家顺 宋世娇 吴远大 胡雄伟 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1589-1592,共4页
设计了基于绝缘层上硅(SOI)材料的8通道Si纳米线阵列波导光栅(AWG),器件的通道间隔为1.6nm,面积为420μm×130μm。利用传输函数法模拟了器件传输谱,结果表明,器件的通道间隔为1.6nm,通道间串扰为17dB。给出了结合电子束光刻(EBL)... 设计了基于绝缘层上硅(SOI)材料的8通道Si纳米线阵列波导光栅(AWG),器件的通道间隔为1.6nm,面积为420μm×130μm。利用传输函数法模拟了器件传输谱,结果表明,器件的通道间隔为1.6nm,通道间串扰为17dB。给出了结合电子束光刻(EBL)和感应耦合等离子(ICP)刻蚀技术制备器件的详细流程。光谱测试结果分析表明,器件通道间隔为1.3~1.6nm,通道串扰为3dB,中心通道损耗为11.6dB。 展开更多
关键词 阵列波导光栅(AWG) Si纳米线波导 电子束光刻(EBL) 感应耦合等离子(ICP)刻蚀
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基于Si纳米线AWG的超紧凑单纤三向滤波器设计
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作者 安俊明 李俊一 +3 位作者 宋世娇 赵雷 吴远大 胡雄伟 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1115-1118,共4页
采用绝缘层上Si(SOI)纳米线阵列波导光栅(AWG)结构设计了超紧凑光纤到户(FTTH)单纤三向滤波器。二维时域有限差分(2D-FDTD)模拟输出光场表明,3个波长光信号输出光场清晰,实现了1490 nm和1550nm下行波长的解复用和1310 nm波长的上传复用... 采用绝缘层上Si(SOI)纳米线阵列波导光栅(AWG)结构设计了超紧凑光纤到户(FTTH)单纤三向滤波器。二维时域有限差分(2D-FDTD)模拟输出光场表明,3个波长光信号输出光场清晰,实现了1490 nm和1550nm下行波长的解复用和1310 nm波长的上传复用功能;进一步的输出功率模拟表明,当各波长信号输入功率为1 mW时,1490 nm端口输出功率为0.49 mW,1550 nm端口输出功率为0.49 mW,1310 nm上传信号功率为0.55 mW,相应的插入损耗分别约为-3.1、-3.1和-2.6 dB。各端口的串扰光功率可被抑制到-25.2 dBm以下,相应的串扰小于-22.6 dB。采用电子束(EB)光刻结合诱导耦合等离子干法(ICP-RIE)刻蚀,制备出了Si纳米线单纤三向滤波器,经红外CCD成像观察到器件具有3个波长的分波功能。 展开更多
关键词 光纤到户(FTTH) 三向滤波器 阵列波导光栅(AWG) 绝缘层上硅(SOI)纳米线波导
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基于硅基槽波导的单纤三向滤波器的研究
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作者 周志明 胡海云 +1 位作者 宋世娇 安俊明 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期710-714,共5页
设计了基于硅基槽波导的微环谐振型单纤三向滤波器。基于电磁场理论得到了二维情形下的硅基槽波导的模场及有效折射率随波长的变化关系,在此基础上,利用硅基槽微环谐振腔谐振波长与微环半径的关系,优化得到了可将1490nm和1550nm两个下... 设计了基于硅基槽波导的微环谐振型单纤三向滤波器。基于电磁场理论得到了二维情形下的硅基槽波导的模场及有效折射率随波长的变化关系,在此基础上,利用硅基槽微环谐振腔谐振波长与微环半径的关系,优化得到了可将1490nm和1550nm两个下载波长分开的谐振环半径,并同时将1310nm波长上传,三个波长信号从不同端口输出,成功地实现了三向器滤波功能。利用传递函数法模拟了所设计的硅基槽微环谐振型三向滤波器的输出光谱,结果显示其串扰可低至-16.9dB。 展开更多
关键词 导波光学 光纤到户 硅基槽波导 单纤三向滤波器 微环谐振器
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Ultra compact triplexing filters based on SOI nanowire AWGs 被引量:2
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作者 张家顺 安俊明 +6 位作者 赵雷 宋世娇 王亮亮 李建光 王红杰 吴远大 胡雄伟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期89-92,共4页
An ultra compact triplexing filter was designed based on a silicon on insulator(SOI) nanowire arrayed waveguide grating(AWG) for fiber-to-the-home FTTH.The simulation results revealed that the design performed wel... An ultra compact triplexing filter was designed based on a silicon on insulator(SOI) nanowire arrayed waveguide grating(AWG) for fiber-to-the-home FTTH.The simulation results revealed that the design performed well in the sense of having a good triplexing function.The designed SOI nanowire AWGs were fabricated using ultraviolet lithography and induced coupler plasma etching.The experimental results showed that the crosstalk was less than -15 dB,and the 3 dB-bandwidth was 11.04 nm.The peak wavelength output from ports a,c,and b were 1455,1510 and 1300 nm,respectively,which deviated from our original expectations.The deviation of the wavelength is mainly caused by 45 nm width deviation of the arrayed waveguides during the course of the fabrication process and partly caused by material dispersion. 展开更多
关键词 TRIPLEXER FTTH NANOWIRE AWG wavelength division multiplexing(WDM)
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16 channel 200 GHz arrayed waveguide grating based on Si nanowire waveguides 被引量:1
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作者 赵雷 安俊明 +3 位作者 张家顺 宋世娇 吴远大 胡雄伟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期65-68,共4页
A 16 channel arrayed waveguide grating demultiplexer with 200 GHz channel spacing based on Si nanowire waveguides is designed. The transmission spectra response simulated by transmission function method shows that the... A 16 channel arrayed waveguide grating demultiplexer with 200 GHz channel spacing based on Si nanowire waveguides is designed. The transmission spectra response simulated by transmission function method shows that the device has channel spacing of 1.6 nm and crosstalk of 31 dB. The device is fabricated by 193 nm deep UV lithography in silicon-on-substrate. The demultiplexing characteristics are observed with crosstalk of 5-8 dB, central channel's insertion loss of 2.2 dB, flee spectral range of 24.7 nm and average channel spacing of 1.475 nm. The cause of the spectral distortion is analyzed specifically. 展开更多
关键词 integrated optics arrayed waveguide grating Si nanowire waveguides
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