提高氢化炉进料温度的措施

四氯化硅热氢化是改良西门子法生产多晶硅的关键环节,氢化炉的稳定运行是维持系统物料平衡的决定因素。分析了四氯化硅、氢气的进料状况对氢化炉运行的影响,并提出了既提高进料的温度,又节能降耗的措施。

多晶硅还原炉倒棒原因分析

多晶硅还原炉在生产过程中经常会倒棒,严重影响着多晶硅的正常生产。多晶硅倒棒后对还原炉内壁、电极、基盘都会造成严重的损坏,会砸坏石墨夹头、隔热石英环等备件从而增加生产成本,同时高倒棒率会导致还原炉频繁开停炉,降低开炉成功率,增加劳动负荷,更为严重的是倒棒后的硅料会与无定型硅粉、石墨夹头掺杂在一起,降低产品的质量。

多晶硅无定型硅粉形成原因及控制

改良西门子法多晶硅生产过程中,若还原过程控制不当,会产生影响产品品质及系统运行的无定型硅粉。通过对还原过程温度控制、物料配比、二氯二氢硅含量、炉筒水温、尾气管结硅及换热情况等多方面因素研究,分析了无定型硅粉形成原因,提出了相关控制措施。

多晶硅生产中硅芯氧化问题探究

改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的一大问题。分析了硅芯氧化机理,针对相关因素开展了试验,提出了降低硅芯氧化率的措施。

多晶硅还原炉产能影响因素分析及提升措施

三氯氢硅还原是改良西门子法生产多晶硅的关键步骤,还原炉的产能能否达到设计甚至超出设计水平,对企业达产达标,降低成本,产品质量的稳定有很大影响。文章通过分析影响还原炉产能因素并提出了提升措施。