微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究

利用磁悬浮技术将铁磁性平台悬浮在磁场中 ,通过线性电机无接触驱动 ,结合控制技术实现平台的快速精密定位。合理的设计将悬浮力和导向力两个磁悬浮系统合二为一 ,即结构简单 ,控制容易又能获得精确的导向精度。选用线性同步电机 ,避免了感应电机磁场感应所产生的法向力对平台的振动作用 ,有利于悬浮系统的控制。悬浮系统无接触 ,无摩擦 ,克服了磨损、金属粉尘及油脂污染等问题 ;无接触线性驱动减少了机械联结件 ,消除了联结间隙 ,减轻了重量 ,能有效提高动态响应频率和定位精度 ;这些使定位平台能够满足现代信息产业对超洁净制作环境和高精度。

磁悬浮微进给机构的PID控制

利用磁悬浮技术实现了微进给机构的运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题。采用主动可控电磁阻尼系统,控制线圈的电流即可控制系统的阻尼,可根据实际应用场合,确定采用恒定阻尼还是时变阻尼。对磁悬浮微进给机构实施PID控制,并进行了仿真试验。结果表明:当阻尼恒定不变时,应使C_2=0.5～1.0,机构的位移控制超调量≤0.933％,绝对稳态误差值≤1.77～2.30μm;当采用时变阻尼系统时,位移控制超调量≤3.617％,绝对稳态误差值≤0.033μm,运动控制达到纳米级准确度。

磁悬浮微进给机构研究

导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度 ,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求。磁悬浮技术应用于微进给机构 ,可消除摩擦。结合直线电机能实现零传动的特点 ,分别设计了磁悬浮轴承形式和磁悬浮导轨形式的两种微进给机构 ,分析了它们的特点 ,阐明了进一步改善的方向。理论分析计算该微进给机构在垂直及水平方向的误差可控制在± 1 μm内 。

磁悬浮进给机构的磁力耦合

研究了磁悬浮进给机构在进给运动时的磁力耦合现象。进给机构的磁悬浮系统采用了具有自动归中作用的V型导轨结构,保证了机构进给运动的导向精度,可应用于光刻机等精密光机系统,且满足超净无尘及精密定位要求。通过分析机构磁悬浮系统中电磁铁的磁力分布,给出了耦合磁力的计算公式。分析结果表明:磁悬浮系统在其控制过程中存在着磁力耦合,具体表现为:如果进给运动时平台在水平方向发生偏移,那么左右两侧电磁铁的磁力在水平及水平垂直方向将产生相互耦合作用;而垂直方向的偏移不会引起磁力的耦合。在控制系统中引入补偿器后,可使系统解耦,因产生的耦合磁力很微小,可以忽略不记。

^(131)I与甲巯咪唑片分别治疗甲状腺功能亢进症的近远期疗效比较

目的:比较^(131)I与甲巯咪唑片分别治疗甲状腺功能亢进症的疗效。方法:选取2015年3月—2016年3月汉川市人民医院收治的甲状腺功能亢进症患者100例作为研究对象,以抽签法分为观察组和对照组,每组50例。对照组患者给予甲巯咪唑片治疗,观察组患者给予^(131)I治疗。观察两组患者的临床疗效及治疗前后的甲状腺功能指标、相关血清指标,比较不良反应发生情况;于1年后观察复发率及远期疗效。结果:观察组患者的总有效率为98.00%(49/50),明显高于对照组的74.00%(37/50),差异有统计学意义(P<0.05);治疗后,观察组患者血清促甲状腺激素、游离甲状腺素及游离三碘甲状腺原氨酸水平明显优于对照组,差异均有统计学意义(P<0.05);治疗后,观察组患者的碱性磷酸酶、血浆骨钙素、谷胱甘肽过氧化物酶及超氧化物歧化酶水平明显优于对照组,差异均有统计学意义(P<0.05);观察组患者远期总有效率明显高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05);随访1年后,观察组患者的复发率为2.00%(1/50),明显低于对照组的20.00%(10/50),差异有统计学意义(P<0.05);观察组患者的并发症发生率为2.00%(1/50),明显低于对照组的32.00%(16/50),差异有统计学意义(P<0.05)。结论:^(131)I治疗甲状腺功能亢进症的疗效显著,可改善患者甲状腺功能,且复发率较低,远期疗效较好。

电磁波层析成像技术(CT)在地基勘探中的应用

简要地介绍了一种新的地球物理勘探方法──电磁波层析成像技术(CT)的基本原理及特点,阐明了它在地基勘探,尤其是在一些重大工程的地基勘探中,为其他勘探方法所不具备的特点.电磁波层析成像技术主要依据介质的不同吸收系数进行电磁波透射得到最大量数据,由计算机处理得到勘探剖面上吸收系数β值并以灰度或彩色成像,形象、直观地研究复杂地质现象的成因及局部结构,对于基岩中的断层、软弱夹层、地下溶洞及其发育特征、地下不明隐藏物等勘探具有明显的优势.

六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究

设计了"H"型六维x y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定位以及逐场调平调焦。计算了工件台由于重力弯曲、热膨胀等原因引起结构变形而带来的精度误差,理论上分析证明工件台在x、y方向能满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求。将应用于特征尺寸0.18μm线宽激光光刻机上。

进给机构磁悬浮系统的解耦控制分析

进给机构的磁悬浮系统由于结构的特点在进给运动中存在着水平y方向及垂直z方向的磁力和位移耦合现象.为此,分析推导了该磁悬浮系统的动力学方程,建立了相应的磁悬浮控制系统的状态方程.理论分析计算及仿真结果表明:通过采用状态反馈结合输入变换,可以使原来包含着变量间耦合的复杂控制系统实现解耦控制,简化了磁悬浮系统的控制过程,有利于提高进给机构运动的平稳性和定位精度.

疏肝潜阳汤配合普萘洛尔治疗甲状腺功能亢进合并房颤疗效观察

目的探究疏肝潜阳汤配合普萘洛尔治疗甲状腺功能亢进(甲亢)合并房颤患者的临床疗效。方法将76例甲亢合并房颤患者随机分为研究组和对照组,每组38例。对照组给予普萘洛尔治疗,研究组给予疏肝潜阳汤配合普萘洛尔治疗,持续治疗12周为1个疗程。检测2组治疗前后血清游离三碘甲腺原氨酸(FT3)、血清游离甲状腺素(FT4)、促甲状腺激素(TSH)水平,观察心率、左室射血分数(LVEF)及中医症状积分变化情况,比较2组治疗后临床疗效。结果治疗后2组FT3、FT4和心率均较治疗前明显降低(P均<0.05),TSH和LVEF较治疗前显著升高(P均<0.05),且研究组改善情况明显优于对照组(P均<0.05);治疗后2组中医证候积分均较治疗前显著降低(P均<0.05),且研究组显著低于对照组(P<0.05);研究组治疗总有效率显著高于对照组(P<0.05)。结论疏肝潜阳汤配合普萘洛尔治疗甲状腺功能亢进合并房颤疗效较好,值得推广使用。

应用激光技术进行继电器簧片气隙的校正

给出了激光校正的原理和激光测量方法,并用于某型号继电器,具体测试了其簧片气隙的大小和分布情况。利用继电器金属簧片进行了大量的激光校正测试试验,测试结果表明:激光照射后,簧片得到的校正量h与激光测量点到激光校正点的间距x2成正比例线性关系,可用h=kx2近似表示;而激光功率P和照射时间t与簧片获得的校正量h之间则大致成抛物线关系,起始时功率越大,时间越长,校正量越大,但过了拐点之后情况则相反。测试结果同时表明:在性能指标范围内,激光校正并不会影响继电器簧片的机械寿命。分析和计算证明,选择合适的激光功率P与时间参数t,利用激光对该继电器的簧片气隙进行校正是可行的;结合气隙大小的测试数据分析可知,生产线上绝大多数继电器的簧片气隙调整只需通过静簧片的激光校正就能得以实现,与手工校正相比具有较高的校正效率。

自拟健骨方联合骨化三醇治疗血液透析患者继发性甲状旁腺功能亢进疗效观察

目的观察自拟健骨方联合骨化三醇治疗血液透析患者继发性甲状旁腺功能亢进的临床疗效。方法将80例血液透析继发性甲状旁腺功能亢进患者随机分为对照组与观察组,每组40例。对照组给予骨化三醇口服,观察组在对照组基础上给予自拟健骨方口服,2组均以10周为1个疗程,连续治疗2个疗程。观察2组治疗效果及不良反应发生情况,检测2组治疗前后甲状旁腺体积、钙(Ca^(2+))、磷(P^(3-))、碱性磷酸酶(ALP)、全段甲状旁腺激素(iPTH)水平。结果治疗20周后,观察组治疗总有效率显著高于对照组(P<0.05),ALP、iPTH水平及甲状旁腺腺体的长、宽、厚、体积均显著低于对照组(P均<0.05),Ca^(2+)水平显著高于对照组(P<0.05);2组不良反应发生情况比较差异无统计学意义(P>0.05)。结论自拟健骨方联合骨化三醇治疗血液透析继发性甲状旁腺功能亢进患者可显著缩小甲状旁腺体积,控制患者甲状旁腺功能亢进。

磁悬浮进给机构的PID控制及仿真试验

采用磁悬浮技术把运动部件悬浮在运行导轨之上,利用直线电机无接触驱动运动部件,从而实现机构的进给运动,该运动无摩擦和磨损,是一个无阻尼系统。选用合理的增益系数后,运用PID控制技术可对机构的进给运动进行精确的控制。仿真结果与精度分析表明,磁悬浮无阻尼结构有利于改善进给机构的位移输出动态性能,提高运动控制精度,控制精度误差不大于0.6μm或0.2μm。

继电器簧片气隙的激光校正试验研究

叙述了激光校正的基本原理,制作了相应的激光校正测试试验台。在该试验台上对继电器金属簧片进行了大量的校正测试,结果表明,激光测量点到激光校正点的间距x2与校正量h之间近似成正比例线性关系;激光功率P恒定时,激光照射时间t越长,校正量h也越大,但时间延长到某一数值后,有拐点出现,此后校正量h随时间t的延长而减小;在激光能量状态E相同的情况下,功率P越大,时间t越短,获得的校正量h越大;同一点处多次连续的激光照射并不能获得更大的校正量,只是浪费激光功率和工作时间。

利拉鲁肽联合二甲双胍治疗肥胖2型糖尿病患者临床疗效观察

目的:探讨利拉鲁肽联合二甲双胍治疗肥胖2型糖尿病患者临床疗效。方法:选取2015年4月至2016年4月期间汉川市人民医院收治的疗肥胖2型糖尿病患者106例作为实验对象,根据治疗方案的不同随机将患者分为对照组(n=53例)和观察组(n=53例),对照组患者采用二甲双胍治疗,观察组患者采用利拉鲁肽联合二甲双胍治疗,对比分析不同治疗方案的临床治疗效果。结果:两组患者治疗后各项指标均优于治疗前(P<0.05),组间治疗后对比,观察组各项指标均优于对照组(P<0.05);观察组不良反应发生率显著低于对照组(P<0.05)。结论:肥胖2型糖尿病患者在二甲双胍治疗的基础上增加利拉鲁肽治疗,能够有效地提高患者临床治疗效果,具有一定临床运用价值。

宿迁城北构造地貌特征及其成因分析

京杭大运河在宿迁附近走向发生东西方向的拐折，研究认为系与该区存在近东西向断裂有关。文中应用人工地震和地质钻孔资料详细论述了这一地区的地貌特征，并对发生拐折的成因作了分析。

继电器簧片气隙、超行程和压力的在线同步测量

为满足继电器大规模、高效率、日渐自动化生产的需要,试验研究了一种新的测试方法,便于在线同步测试继电器动簧片与静簧片之间的气隙、超行程和接触压力。依照继电器的结构特点,试验中通过激光位移测量仪和压力传感器在线测试衔铁的进给位移x及作用在衔铁上的压力p,绘制得到位移-压力(即x-p)曲线。在动簧片接触静簧片之前,该段曲线斜率较小,直线上升比较平缓;当相互接触之后,由于动、静簧片弹性系数的叠加,该段曲线斜率增大,直线上升变陡;当衔铁触及铁芯后,压力急剧增大,曲线呈垂直状态。通过这些阶段变化的曲线最终可计算得到簧片间的气隙、超行程以及压力的大小,且误差小于5.0%。如果对计算公式加以修正系数,则误差将更小,由此实现了三参数的在线同步测量。而测量结果超差的产品可利用激光光源进行快速的在线校正。

普萘洛尔与甲巯咪唑治疗甲状腺功能亢进症的临床效果

目的:探讨普萘洛尔与甲巯咪唑治疗甲状腺功能亢进症的临床效果。方法:收治甲状腺功能亢进症患者104例,随机分为两组。对照组给予甲巯咪唑治疗,观察组给予普萘洛尔与甲巯咪唑治疗,比较两组临床疗效及甲状腺激素水平。结果:治疗后,两组FT_3、T_SH、FT_4均优于治疗前(P<0.05)。观察组治疗后FT_3、FT_4均优于对照组(P<0.05)。观察组临床治疗总有效率显著优于对照组(P<0.05)。结论:甲巯咪唑联合普萘洛尔治疗甲状腺功能亢进症的临床治疗效果显著。

甲状腺片与左甲状腺素钠片对原发性甲状腺功能减退症患者的临床疗效比较

目的:比较甲状腺片和左甲状腺素钠片对原发性甲状腺功能减退症患者的临床疗效。方法:选取医院2013年1月—2015年8月接诊的原发性甲状腺功能减退症患者60例,根据治疗方法的不同将其分为甲状腺片组和左甲状腺素钠片组,每组30例;甲状腺片组患者均给予甲状腺片治疗,左甲状腺素钠片组均给予左甲状腺素钠片治疗,比较两组患者治疗后的总有效率、症状改善时间,以及治疗前后血FT_3(游离T_3)、FT_4(游离T_4)和TSH(促甲状腺素)值的变化情况。结果:两组患者临床治疗后的总有效率均为100.00%,经比较其差异无统计学意义(P>0.05);两组患者经治疗后血FT_3、FT_4和TSH值均明显优于治疗前(P<0.05),治疗后两组患者血FT_3、FT_4和TSH值经比较其差异无统计学意义(P>0.05);左甲状腺素钠片组患者治疗后的症状改善时间明显短于甲状腺片组(P<0.05)。结论:采用甲状腺片与左甲状腺素钠片治疗原发性甲状腺功能减退症患者的临床疗效均较好,但采用左甲状腺素钠片治疗组患者临床症状的改善时间优于甲状腺片。

密封继电器弹簧片压力的激光校正研究

针对某型号密封继电器弹簧片压力的精确校正难题,应用激光技术进行金属非接触校正的研究,并进行了相关的测试试验.试验结果表明:激光校正方法用于弹簧片压力的精确校正是可行的,但发射激光束的总能量E不能超过0.3 J,否则,激光束会将弹簧片击穿.当激光能量E一定时,设定的激光功率P越大、,照射时间t越短,弹簧片获得的压力校正值Δp则越大,且Δp的大小还与激光照射在弹簧片上的位置有关.在P=80 W、t=3 ms试验条件下,当压力测量点与激光照射点之间的距离x<a(mm)时,Δp≤2 mN;当x≥a时,压力的校正值突然阶跃增大,此时5 mN≤Δp≤12 mN.

烧香河断裂人工地震资料研究

研究了烧香河断裂附近的浅层人工地震资料，并结合其他有关资料，认为该断裂南部为中生代沉积盆地构造。同时，提出了烧香河断裂在新大地构造分区中的重要意义。