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FTO薄膜制备技术研究进展
被引量:
5
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作者
郁建元
王立坤
+2 位作者
王丽
宋玉嘉
赵洪力
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期2645-2649,共5页
本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,最后对FTO薄膜的制备技术改进及FTO理论设计研究前景进行了展望。
关键词
FTO薄膜
制备方法
进展
下载PDF
职称材料
题名
FTO薄膜制备技术研究进展
被引量:
5
1
作者
郁建元
王立坤
王丽
宋玉嘉
赵洪力
机构
燕山大学材料科学与工程学院
唐山学院环境与化学工程系
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期2645-2649,共5页
基金
国家重点研发计划(2016YFB0303902-02)
河北省应用基础研究计划重点基础研究(13961106D)
唐山市科技支撑计划项目(15110205a)
文摘
本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,最后对FTO薄膜的制备技术改进及FTO理论设计研究前景进行了展望。
关键词
FTO薄膜
制备方法
进展
Keywords
FTO thin film
preparation method
development
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
FTO薄膜制备技术研究进展
郁建元
王立坤
王丽
宋玉嘉
赵洪力
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
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