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Mn掺杂GaN基稀磁半导体材料制备和特性研究 被引量:1
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作者 谢自力 张荣 +11 位作者 崔旭高 陶志阔 修向前 刘斌 李弋 傅德颐 张曾 宋黎红 崔影超 韩平 施毅 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期150-153,共4页
利用金属有机物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长了Mn掺杂GaN基稀磁半导体材料。原子力显微镜研究表明,少量的Mn在样品表面起到活性作用。X射线衍射和喇曼散射研究表明,当Mn的掺杂浓度很低(<2.7%)时并没有观察到第二相的出现,当Mn... 利用金属有机物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长了Mn掺杂GaN基稀磁半导体材料。原子力显微镜研究表明,少量的Mn在样品表面起到活性作用。X射线衍射和喇曼散射研究表明,当Mn的掺杂浓度很低(<2.7%)时并没有观察到第二相的出现,当Mn的掺杂浓度达到3.9%时观察到了第二相。采用光学测试得到了由于Mn杂质引入杂质能级和缺陷而产生一个很宽的发射和吸收谱。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积 稀磁半导体 锰掺杂 X射线衍射
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采用高分辨XRD对m面GaN位错特性的研究
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作者 宋黎红 谢自力 +9 位作者 张荣 刘斌 李弋 傅德颐 张曾 崔影超 修向前 韩平 施毅 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期175-178,共4页
利用高分辨X射线衍射方法,分析了在LiAlO2(100)面上采用金属有机化学气相沉积生长的m面GaN薄膜的微观结构和位错。采用对称面扫描和非对称面扫描等方法研究了晶面倾转角、面内扭转角、横向和垂直关联长度等,由此得到螺位错和刃位错密度... 利用高分辨X射线衍射方法,分析了在LiAlO2(100)面上采用金属有机化学气相沉积生长的m面GaN薄膜的微观结构和位错。采用对称面扫描和非对称面扫描等方法研究了晶面倾转角、面内扭转角、横向和垂直关联长度等,由此得到螺位错和刃位错密度。考虑到m面GaN的各向异性,将〈0001〉晶向定义为0°方向,与之垂直的方向为90°方向,分别按0°和90°两个不同方向进行X射线衍射的研究。0°方向和90°方向螺位错密度分别为1.97×1010、7.193×109cm-2,0°方向螺位错密度较大;0°和90°方向刃位错密度分别为3.23999×1010、7.35068×1010cm-2,90°方向刃位错密度较大,显示了非极性GaN薄膜各向异性的特征。 展开更多
关键词 GAN 位错 X射线衍射 有机化学气相淀积 各向异性
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a面GaN阴极荧光激发强度特性的研究
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作者 崔影超 谢自力 +5 位作者 赵红 李弋 刘斌 宋黎红 张荣 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期167-170,共4页
对MOCVD生长的r-Al2O3上的a面GaN薄膜采取了两种方式的室温阴极荧光的测试,即固定电子束加速电压改变电子束流和固定电子束流改变加速电压。结果显示,非极性a面GaN的带边和黄带的CL强度均与电子束流呈亚线性关系,其中IBE∝I0B.46,IYL∝I... 对MOCVD生长的r-Al2O3上的a面GaN薄膜采取了两种方式的室温阴极荧光的测试,即固定电子束加速电压改变电子束流和固定电子束流改变加速电压。结果显示,非极性a面GaN的带边和黄带的CL强度均与电子束流呈亚线性关系,其中IBE∝I0B.46,IYL∝I0B.45,这主要是由于饱和效应引起的,与以往c面GaN报道对比,表明带边相对于黄光受到了一定抑制;改变加速电压可以看出,黄带部分随加速电压的变化关系相对于带边要复杂很多,这主要是由黄带本身形成原因的复杂多样性与自吸收、自由载流子和应力的综合作用引起的。 展开更多
关键词 a面GaN 阴极荧光 激发强度
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中小企业企业文化建设的对策 被引量:3
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作者 宋黎红 《科技信息》 2010年第15X期376-376,共1页
在中小企业的发展过程中,企业文化建设是非常薄弱的环节,本文首先阐述了中小企业企业文化建设的重要性,其次是从要确定核心价值观,员工要有归属感,将核心价值观无时无刻地体现在行动当中,用制度管人,构建企业的法人治理结构等方面提出... 在中小企业的发展过程中,企业文化建设是非常薄弱的环节,本文首先阐述了中小企业企业文化建设的重要性,其次是从要确定核心价值观,员工要有归属感,将核心价值观无时无刻地体现在行动当中,用制度管人,构建企业的法人治理结构等方面提出了中小企业企业文化建设的一些对策。 展开更多
关键词 中小企业 企业文化 对策
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采用高分辨XRD确定AlxGa1-xN/GaN异质结的应变状态
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作者 谢自力 张荣 +11 位作者 张彤 周元俊 刘斌 张曾 李弋 宋黎红 崔颖超 傅德颐 修向前 韩平 施毅 郑有炓 《中国科学(G辑)》 CSCD 北大核心 2009年第11期1623-1627,共5页
利用高分辨X射线衍射方法,分析了采用金属有机物汽相沉积生长的AlxGa1-xN/GaN薄膜的晶体结构和应变状态.通过(002)和(105)面的倒易空间映射,分析获得AlxGa1-xN外延层的应变程度,并且计算了不同Al组分的AlxGa1-xN在倒易空间图上的弛豫方... 利用高分辨X射线衍射方法,分析了采用金属有机物汽相沉积生长的AlxGa1-xN/GaN薄膜的晶体结构和应变状态.通过(002)和(105)面的倒易空间映射,分析获得AlxGa1-xN外延层的应变程度,并且计算了不同Al组分的AlxGa1-xN在倒易空间图上的弛豫方向;同时利用Vegard原理,推导了在双轴应变下Al组分的计算方程式,得出完全应变情况下Al组分为30%,与卢瑟福背散射实验结果比较符合. 展开更多
关键词 高分辨X射线衍射 倒易空间图 应变 弛豫
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利用金属有机物化学气相沉积技术生长的a面GaN表面形貌和位错的研究
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作者 崔影超 谢自力 +6 位作者 赵红 梅琴 李弋 刘斌 宋黎红 张荣 郑有炓 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期8506-8510,共5页
采用金属有机物化学气相沉积技术在r面蓝宝石衬底上制备了a面GaN薄膜,用熔融的KOH在400℃对样品分别腐蚀1.0,1.5和2.0min.用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射谱和阴极射线荧光对腐蚀前后的表面形貌进行分析.研究表明,400℃下腐蚀1.5mi... 采用金属有机物化学气相沉积技术在r面蓝宝石衬底上制备了a面GaN薄膜,用熔融的KOH在400℃对样品分别腐蚀1.0,1.5和2.0min.用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射谱和阴极射线荧光对腐蚀前后的表面形貌进行分析.研究表明,400℃下腐蚀1.5min后出现了长平行四边形的条纹状,这是由于无极化的a面GaN表面极性各向异性,c向与m向上N原子悬挂键密度不同,同时稳定性不同,对OH-离子的吸附能力不同造成的,其中沿c方向易于腐蚀.同时,a面GaN腐蚀后出现了六角突起.我们认为这与穿透位错有关,而其形貌则与GaN薄膜的位错局部极性有关. 展开更多
关键词 a面GaN 堆垛层错 极性
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