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4H-SiC的强氧化液化学机械抛光(英文) 被引量:6
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作者 梁庆瑞 胡小波 +3 位作者 陈秀芳 徐现刚 宗艳民 王希杰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1741-1747,共7页
研究了一种新型的化学机械抛光方法,使用以KMnO 4作为氧化剂的强氧化性化学机械抛光液(SOAS)进行化学机械抛光。研究了在4H-SiC硅面和碳面的化学机械抛光过程中,SOAS溶液中KMnO 4的浓度对抛光质量的影响。使用原子力显微镜(AFM)和精密... 研究了一种新型的化学机械抛光方法,使用以KMnO 4作为氧化剂的强氧化性化学机械抛光液(SOAS)进行化学机械抛光。研究了在4H-SiC硅面和碳面的化学机械抛光过程中,SOAS溶液中KMnO 4的浓度对抛光质量的影响。使用原子力显微镜(AFM)和精密电子天平,分别测试了表面粗糙度和去除率。结果表明,适量的KMnO 4可以大幅度提高4H-SiC的化学机械抛光去除率,同时可提高4H-SiC衬底的表面抛光质量。 展开更多
关键词 碳化硅 化学机械抛光 高锰酸钾 粗糙度 去除率
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金刚石微粉对SiC机械抛光的影响研究 被引量:6
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作者 梁庆瑞 宗艳民 +3 位作者 王希杰 陈秀芳 徐现刚 胡小波 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期295-300,共6页
研究了金刚石微粉对碳化硅晶片表面机械抛光质量及去除率的影响。选取粒径均为W0.5~1μm、粒径分布和形貌不同的3种金刚石微粉,配置3种SiC单晶片机械抛光液。通过纳米粒度仪和扫描电镜分别测试了金刚石微粉的粒度分布和微观形貌。使... 研究了金刚石微粉对碳化硅晶片表面机械抛光质量及去除率的影响。选取粒径均为W0.5~1μm、粒径分布和形貌不同的3种金刚石微粉,配置3种SiC单晶片机械抛光液。通过纳米粒度仪和扫描电镜分别测试了金刚石微粉的粒度分布和微观形貌。使用原子力显微镜测试了SiC晶片机械抛光后表面粗糙度。金刚石微粉的微观形貌越圆滑,粒径分布越集中,抛光后晶片的表面质量越好。金刚石微粉中单个颗粒的表面棱角有利于提高材料去除率。 展开更多
关键词 碳化硅 金刚石微粉 机械抛光 表面粗糙度
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大尺寸碳化硅单晶生长环境研究 被引量:2
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作者 李鹏程 冯显英 +2 位作者 李沛刚 李慧 宗艳民 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第5期672-677,共6页
针对基于物理气相输运法的碳化硅(SiC)单晶生长系统,考虑对流换热的影响建立了传热与传质数学模型,并采用数值模拟的方法研究了其生长系统内的温度场与气相流场。研究表明:坩埚内温度、温度梯度以及加热效率随线圈匝间距与线圈直径的增... 针对基于物理气相输运法的碳化硅(SiC)单晶生长系统,考虑对流换热的影响建立了传热与传质数学模型,并采用数值模拟的方法研究了其生长系统内的温度场与气相流场。研究表明:坩埚内温度、温度梯度以及加热效率随线圈匝间距与线圈直径的增加而逐渐降低。旋转坩埚可有效解决因线圈螺旋形状而导致的温度场不均匀性。通过不断调整线圈与坩埚之间的相对高度,可保证高品质晶体生长所需的最优温度场环境。此外,坩埚内径尺寸的增加,会加剧其内部自然对流效应。 展开更多
关键词 物理气相输运法 碳化硅 数值模拟 温度场 气相流场
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固体物料输送泵在井下水仓清淤中的应用 被引量:2
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作者 宗艳民 耿慧祥 姜爱波 《煤矿机电》 2009年第5期98-99,共2页
关键词 井下水仓 固体物料 清淤 输送泵 应用 瓦斯含量 使用寿命 安全隐患
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泡生法生长蓝宝石晶体中的气泡分布(英文)
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作者 于国建 宗艳民 +3 位作者 张志海 高玉强 胡小波 徐现刚 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1332-1335,共4页
气泡是蓝宝石晶体中的主要缺陷之一。本文中研究了采用泡生法生长蓝宝石晶体中气泡的俘获机理以及在晶体中的分布情况。研究结果表明气泡的分布与温场的结构相关,气泡产生的直接原因是结晶前沿较快的晶体生长速度。晶体中的气泡可以通... 气泡是蓝宝石晶体中的主要缺陷之一。本文中研究了采用泡生法生长蓝宝石晶体中气泡的俘获机理以及在晶体中的分布情况。研究结果表明气泡的分布与温场的结构相关,气泡产生的直接原因是结晶前沿较快的晶体生长速度。晶体中的气泡可以通过对生长速率的适当调整予以消除。 展开更多
关键词 气泡 蓝宝石 泡生法
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湿法腐蚀研究PVT法生长的SiC单晶中的位错 被引量:3
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作者 张红岩 刘云青 +4 位作者 宁敏 高玉强 李永峰 王希杰 宗艳民 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期926-929,935,共5页
采用湿法腐蚀对不同电阻率的4H-SiC衬底进行腐蚀。观察发现,对于同一类型缺陷,低电阻率衬底的缺陷腐蚀坑尺寸比高电阻率衬底的小1~2倍,证明氮元素掺杂的低电阻率SiC衬底的腐蚀速率更低。通过显微镜观察腐蚀后的衬底,对六边形的螺... 采用湿法腐蚀对不同电阻率的4H-SiC衬底进行腐蚀。观察发现,对于同一类型缺陷,低电阻率衬底的缺陷腐蚀坑尺寸比高电阻率衬底的小1~2倍,证明氮元素掺杂的低电阻率SiC衬底的腐蚀速率更低。通过显微镜观察腐蚀后的衬底,对六边形的螺位错(TSD)、近圆形的刃位错(TED)和贝壳形的基平面位错(BPD)腐蚀坑进行了分析。对比了TSD与微管腐蚀坑形貌的区别,虽然两种缺陷腐蚀坑都具有六边形形貌,但微管腐蚀坑尺寸比TSD腐蚀坑大1.4倍左右。通过对位错密度的统计,发现目前4H-SiC衬底中主要的位错为TED和BPD,而TSD密度相对较低,仅为420cm^-2。 展开更多
关键词 腐蚀 物理气相传输(PVT) 4H-SIC 位错 微管
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重油乳化燃烧技术的稳定加水
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作者 宗艳民 《山东能源》 1992年第2期32-32,共1页
关键词 玻璃熔窖 油水乳化 燃烧 节能
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完善体制机制 发挥品牌效能 推动我省城商行联盟健康发展
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作者 张德宽 陈向东 宗艳民 《山东经济战略研究》 2015年第3期12-15,共4页
我省城商行合作联盟运行6年来,在保障股东行顺利运行、加强城商行IT风险管控等方面发挥了很大作用,但目前面临着发展前景不明朗、基础薄弱等问题。建议采取行之有效的措施对联盟进行推进式改革,打牢公司治理结构的基础和完善运作机制,... 我省城商行合作联盟运行6年来,在保障股东行顺利运行、加强城商行IT风险管控等方面发挥了很大作用,但目前面临着发展前景不明朗、基础薄弱等问题。建议采取行之有效的措施对联盟进行推进式改革,打牢公司治理结构的基础和完善运作机制,提高资金使用效率,发挥联盟品牌、牌照和政策优势,推进联盟快速发展。 展开更多
关键词 公司治理结构 资金使用效率 风险管控 发展前景 推进式 信息系统开发 综合业务系统 操作风险防范 后台服务 支付结算
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发展山东民营经济 提升山东经济总量
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作者 宗艳民 曹清雅 程洪建 《山东画报》 2016年第2期40-40,共1页
从全国范围看,山东民营经济总体落后于江苏、广东、浙江等发达省份,可以说是山东经济的短板。近年来,山东省委、省政府出台了多项激励发展民营经济的政策和措施,但是效果依然不明显,政府不满意,民营企业也多有抱怨,那么到底问题出在哪里... 从全国范围看,山东民营经济总体落后于江苏、广东、浙江等发达省份,可以说是山东经济的短板。近年来,山东省委、省政府出台了多项激励发展民营经济的政策和措施,但是效果依然不明显,政府不满意,民营企业也多有抱怨,那么到底问题出在哪里?带看疑问,我们采访了山东省政协常委、山东省民营企业家协会会长,山东省海外联谊会副会长、山东天岳先进材料科技有限公司董事长宗艳民,听他将给出怎样的建议。 展开更多
关键词 经济总量 民营经济
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