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金属陶瓷太阳能涂层设计及高温稳定性研究
1
作者
杜畅
刘汉武
官爱强
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期77-78,81,共3页
使用光学软件TFCalc设计了一种双金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层,按照设计的最优涂层结构,采用磁控溅射法,在Cu基体上制备了Al-Al2O3涂层。为了测定该涂层的空气高温稳定性,使用划痕法测定涂层在常温和300℃/3h的结合强度,使用UV3600紫外...
使用光学软件TFCalc设计了一种双金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层,按照设计的最优涂层结构,采用磁控溅射法,在Cu基体上制备了Al-Al2O3涂层。为了测定该涂层的空气高温稳定性,使用划痕法测定涂层在常温和300℃/3h的结合强度,使用UV3600紫外-可见光-近红外分光光度计测定光谱特性。结果表明:经300℃空气高温处理3h后,涂层临界载荷由11.62N下降到8.75N,太阳光谱反射率由7%上升到14%左右。
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关键词
太阳能涂层
高温稳定性
结合强度
光谱特性
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职称材料
VHF—PECVD系统能量馈入模式对薄膜均匀性的影响
2
作者
胡德志
吴金随
+1 位作者
官爱强
彭涛
《华北科技学院学报》
2016年第6期73-77,共5页
为了解决甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)制备薄膜的非均匀性问题,采用准平面电路模型计算,给出了平板电极间电势的非均匀分布规律。在计算模型中,射频源采用面馈入的模式取代了点馈入的模式,使计算结果更贴近实际。研究表明...
为了解决甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)制备薄膜的非均匀性问题,采用准平面电路模型计算,给出了平板电极间电势的非均匀分布规律。在计算模型中,射频源采用面馈入的模式取代了点馈入的模式,使计算结果更贴近实际。研究表明,在60 MHz甚高频作用下,如果方形平板电极的边长超过1.3 m,电势分布非均匀度将超过10%。此外,研究还发现:如果射频源功率馈入端圆形接触面的半径从1 mm增加到22 mm,电势分布非均匀度相对降低了45%,将大大的提高薄膜的均匀性。同时,计算结果还表明:在条件允许的情况下,如果继续增加功率馈入端的半径,平板电极间的电势分布的非均匀性还能进一步降低。
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关键词
电磁场与电磁波
材料成型及控制
薄膜技术
准平面电路模型
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职称材料
题名
金属陶瓷太阳能涂层设计及高温稳定性研究
1
作者
杜畅
刘汉武
官爱强
机构
华北科技学院
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期77-78,81,共3页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(3142014045)
文摘
使用光学软件TFCalc设计了一种双金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层,按照设计的最优涂层结构,采用磁控溅射法,在Cu基体上制备了Al-Al2O3涂层。为了测定该涂层的空气高温稳定性,使用划痕法测定涂层在常温和300℃/3h的结合强度,使用UV3600紫外-可见光-近红外分光光度计测定光谱特性。结果表明:经300℃空气高温处理3h后,涂层临界载荷由11.62N下降到8.75N,太阳光谱反射率由7%上升到14%左右。
关键词
太阳能涂层
高温稳定性
结合强度
光谱特性
Keywords
solar selective coating
stability at high temperature
bonding strength
spectra property
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
VHF—PECVD系统能量馈入模式对薄膜均匀性的影响
2
作者
胡德志
吴金随
官爱强
彭涛
机构
华北科技学院机电工程学院
华北科技学院基础部
出处
《华北科技学院学报》
2016年第6期73-77,共5页
基金
中央高校基本科研业务费资助(3142014035)
文摘
为了解决甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)制备薄膜的非均匀性问题,采用准平面电路模型计算,给出了平板电极间电势的非均匀分布规律。在计算模型中,射频源采用面馈入的模式取代了点馈入的模式,使计算结果更贴近实际。研究表明,在60 MHz甚高频作用下,如果方形平板电极的边长超过1.3 m,电势分布非均匀度将超过10%。此外,研究还发现:如果射频源功率馈入端圆形接触面的半径从1 mm增加到22 mm,电势分布非均匀度相对降低了45%,将大大的提高薄膜的均匀性。同时,计算结果还表明:在条件允许的情况下,如果继续增加功率馈入端的半径,平板电极间的电势分布的非均匀性还能进一步降低。
关键词
电磁场与电磁波
材料成型及控制
薄膜技术
准平面电路模型
Keywords
electromagnetic field and electromagnetic wave
materials processing and controlling
thin film technology
quasi-planar circuit model
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金属陶瓷太阳能涂层设计及高温稳定性研究
杜畅
刘汉武
官爱强
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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职称材料
2
VHF—PECVD系统能量馈入模式对薄膜均匀性的影响
胡德志
吴金随
官爱强
彭涛
《华北科技学院学报》
2016
0
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职称材料
已选择
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