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氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究
被引量:
3
1
作者
孙蓉
徐洮
+1 位作者
寇冠涛
薛群基
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期759-763,共5页
通过离子注入技术对单晶硅表面进行氩离子注入处理,利用纳米压痕仪及其附件研究了单晶硅表面在离子注入前,后的微观力学性能和变形机理,并用透射电子显微镜研究了改性层的微观结构.研究结果表明:一定剂量的氩离子注入使单晶硅表面的断...
通过离子注入技术对单晶硅表面进行氩离子注入处理,利用纳米压痕仪及其附件研究了单晶硅表面在离子注入前,后的微观力学性能和变形机理,并用透射电子显微镜研究了改性层的微观结构.研究结果表明:一定剂量的氩离子注入使单晶硅表面的断裂韧性得到改善, 提高了其在纳米划痕过程中的失效负荷.原因是氩离子的注入使单晶硅表面形成了硅的微晶态与非晶态共存的混合态结构的改性层,改善了单晶硅的微观力学性能.
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关键词
单晶硅
氩离子注入
纳米划痕
断裂韧性
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职称材料
摩擦磨损试验机模拟活塞环-缸套摩擦行为的功能开发
被引量:
3
2
作者
王云霞
阎逢元
+3 位作者
严洁
李冬梅
寇冠涛
王博
《分析测试技术与仪器》
CAS
2019年第2期101-105,共5页
参考活塞环-缸套的实际运行条件,结合SRV-4摩擦磨损试验机自身的性能特点和工作原理,通过开发设计,增加合理的硬件及软件测试条件,实现摩擦磨损试验机模拟活塞环-缸套摩擦行为的功能.系统测试结果表明:功能开发后的摩擦磨损试验机可在...
参考活塞环-缸套的实际运行条件,结合SRV-4摩擦磨损试验机自身的性能特点和工作原理,通过开发设计,增加合理的硬件及软件测试条件,实现摩擦磨损试验机模拟活塞环-缸套摩擦行为的功能.系统测试结果表明:功能开发后的摩擦磨损试验机可在较短时间内获得活塞环-缸套摩擦副性能优劣的试验数据,满足快速、直观评价活塞环-缸套的摩擦磨损性能的需要,在活塞环-缸套摩擦副研究中具有重要的应用价值.
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关键词
摩擦磨损试验机
拉缸
活塞环
缸套
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职称材料
题名
氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究
被引量:
3
1
作者
孙蓉
徐洮
寇冠涛
薛群基
机构
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期759-763,共5页
基金
国家自然科学基金(50323007
50172052)中科院百人计划资助项目
文摘
通过离子注入技术对单晶硅表面进行氩离子注入处理,利用纳米压痕仪及其附件研究了单晶硅表面在离子注入前,后的微观力学性能和变形机理,并用透射电子显微镜研究了改性层的微观结构.研究结果表明:一定剂量的氩离子注入使单晶硅表面的断裂韧性得到改善, 提高了其在纳米划痕过程中的失效负荷.原因是氩离子的注入使单晶硅表面形成了硅的微晶态与非晶态共存的混合态结构的改性层,改善了单晶硅的微观力学性能.
关键词
单晶硅
氩离子注入
纳米划痕
断裂韧性
Keywords
single-crystal silicon
Ar+ implantation
nano-scratch
fracture toughness
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
摩擦磨损试验机模拟活塞环-缸套摩擦行为的功能开发
被引量:
3
2
作者
王云霞
阎逢元
严洁
李冬梅
寇冠涛
王博
机构
中国科学院兰州化学物理研究所公共技术服务中心
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《分析测试技术与仪器》
CAS
2019年第2期101-105,共5页
基金
中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(lg201301)
文摘
参考活塞环-缸套的实际运行条件,结合SRV-4摩擦磨损试验机自身的性能特点和工作原理,通过开发设计,增加合理的硬件及软件测试条件,实现摩擦磨损试验机模拟活塞环-缸套摩擦行为的功能.系统测试结果表明:功能开发后的摩擦磨损试验机可在较短时间内获得活塞环-缸套摩擦副性能优劣的试验数据,满足快速、直观评价活塞环-缸套的摩擦磨损性能的需要,在活塞环-缸套摩擦副研究中具有重要的应用价值.
关键词
摩擦磨损试验机
拉缸
活塞环
缸套
Keywords
friction and wear tester machine
piston scraping
piston ring
cylinder
分类号
O313.5 [理学—一般力学与力学基础]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究
孙蓉
徐洮
寇冠涛
薛群基
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
下载PDF
职称材料
2
摩擦磨损试验机模拟活塞环-缸套摩擦行为的功能开发
王云霞
阎逢元
严洁
李冬梅
寇冠涛
王博
《分析测试技术与仪器》
CAS
2019
3
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职称材料
已选择
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