OLED车间蒸镀机基座替代性方案研究

国内AMOLED产品已经量产的有京东方、天马微电子、华星光电、维信诺光电、和辉光电等数家企业。在AMOLED产品生产工艺中,蒸镀机的承重基座在建厂时会花费较高的建造成本及安装时间。结合实践,论证了一种蒸镀机承重基座的替代性方案在OLED行业的可使用情况。以求蒸镀机的替代性方案能使OLED行业的建厂成本减少和建厂时间压缩,可供类似厂建借鉴参考。

半导体洁净厂房FFU与高架地板布置对气流流形影响的分析

当前的洁净室建造中,MAU+FFU+DCC是主流的气流组织方案,而其中高洁净等级的半导体洁净厂房又以高架地板为主要的回风型式,通过FFU与高架地板布置的分析,详细阐述了FFU布置率和高架地板开孔率的匹配关系,并针对某洁净厂房工程实例,结合先进的CFD(Computational Fluid Dynamics计算气体动力学)技术进行模拟分析,探讨不同布置方案下的气流运行情况,为洁净室气流组织设计提供了理论分析和实际经验支持。

模组化钢结构+高架地板设计研究

介绍了洁净室模组化钢结构+高架地板的几种设计做法。对模组化钢结构高架地板体系,近几年的设计变化做了总结。对今后同类项目设计,提出建议。