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采用O_3-TEOS-BPSG膜和三步^(RF)偏压溅射法形成的平坦化技术
1
作者
小室雅宏
晓曙
《微电子技术》
1994年第4期29-34,共6页
关键词
光刻
平坦化
BPSG膜
偏压溅射法
下载PDF
职称材料
题名
采用O_3-TEOS-BPSG膜和三步^(RF)偏压溅射法形成的平坦化技术
1
作者
小室雅宏
晓曙
出处
《微电子技术》
1994年第4期29-34,共6页
关键词
光刻
平坦化
BPSG膜
偏压溅射法
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
采用O_3-TEOS-BPSG膜和三步^(RF)偏压溅射法形成的平坦化技术
小室雅宏
晓曙
《微电子技术》
1994
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