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题名基于强脉冲光烧结的纳米颗粒银导线力学和电学性能
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作者
尚豫博
孙权
鹿业波
严博
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机构
嘉兴学院浙江省医学电子与数字健康重点实验室
嘉兴学院信息科学与工程学院
浙江理工大学机械与自动控制学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第9期1488-1494,共7页
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基金
国家自然科学基金(52005219)
嘉兴市科技计划项目(2021AY10064)。
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文摘
打印后烧结工艺是影响柔性银导线力学和电学性能的关键因素之一,其中非接触式的强脉冲光(IPL)烧结有着广阔的应用前景。采用多尺度银纳米颗粒导电墨水通过喷墨打印系统制备银导线,并应用强脉冲光烧结系统进行烧结,同时使用热压烧结进行对比研究。结果表明,当脉冲数量为3、总能量密度为5.358 J/cm^(2)时,由于单次脉冲的过量能量导致打印银线出现失效断裂。进一步对烧结参数进行优化,当脉冲数为12、总能量密度为6.173 J/cm^(2)时,打印银线的电阻率为15.228μΩ·cm。与热压烧结相比,强脉冲光烧结后样品的耐弯曲疲劳性能更加稳定,在一些样品不可直接接触的应用场景下有较大的应用潜力。
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关键词
强脉冲光(IPL)烧结
热压烧结
银导线
纳米颗粒
柔性材料
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Keywords
intense pulse light(IPL)sintering
hot-pressing sintering
silver wire
nanoparticle
flexible material
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分类号
TN41
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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