一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造

介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。

微型及超微型压力传感器的开发

介绍了外径为Φ2 mm的超微型压力传感器芯片的设计与结构的封装。改微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学,科学测试及研究中,尤其在高精度的流体动力学测试中,如风洞测试系统中,要求传感器不仅具有良好的动态特性,而且为了减少对测量流场的影响,提高测量的精度,对传感器的尺寸要求更加小型化。

压阻式高频动态高压传感器设计

阐述了压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百千赫兹的固有频率，刚性键合及低桥阻确保了亚微秒级的上升时间，背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。

微型及超微型压力传感器的开发

介绍了外径为02mm的超微型压力传感器芯片设计与结构封装。该微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学，在高精度的流体动力学测试中，如风洞测试系统中，要求传感器不仅具有良好的动态特性，而且为了减少对测量流场的影响，提高测量的精度，对传感器的尺寸要求更加小型化。

益元胰肾康治疗糖尿病肾病50例

目的 糖尿病肾病是糖尿病常见的严重微血管并发症,也是导致糖尿病患者过早死亡的主要原因。且目前尚无理想的防治措施,更乏针对性强的治疗药物。方法 采用自拟益元胰肾康,对糖尿病肾病50例进行了治疗观察。结果 50例治疗后,显效18例,良好26例,无效6例,总有效率88％。辨证分型疗效,肝肾气阴两虚,湿瘀内阻型23例中,显效11例,良好11例,无效1例,总有效率95.6％;脾肾阳虚,气血双亏型20例中,显效7例,良好10例,无效3例,总有效率85％;阳虚水泛,浊阴上逆,气血阴阳俱虚型7例中,良好5例,无效2例,总有效率71％。其结果表明,肝肾气阴两虚,湿瘀内阻型多见于糖尿病肾病早期,病情较易得到控制,疗效最好;脾肾阳虚,气血双亏型多见于糖尿病肾病临床期,疗效次之;而肾虚水泛,浊阴上逆,气血阴阳俱虚型多见于糖尿病肾病尿毒症期,病情较难控制,疗效较差。结论 中药自拟益元胰肾康在减少或控制蛋白尿,改善肾功能等方面具有重要作用。