降低晶体管h_（FE）值的电子束辐照工艺的研究

研究了辐照剂量、剂量率、退火温度、退火时间、辐照方法等因素对晶体管ｈＦＥ值（电流放大倍数）的影响。结果表明，电子束辐照能有效地降低晶体管ｈＦＥ值，并能通过退火处理使其稳定。