一种快速测量薄膜R-T曲线的简易装置

设计了一种快速测量薄膜R-T曲线的简易装置。该装置由样品台、探针架、温度传感器与电阻测量系统以及控温系统组成。探针架安装多组探针可以同时实现多个样品的温阻特性的测量。通过对VO_(2)纳米薄膜R-T曲线的测量,能很好地反映该材料的相变特性;同时,发现适当降低加热功率可以有效减小热滞后的影响,显著提高测量精度。该装置具有结构简单、操作方便和测量效率高等优点。