某液晶面板电子厂无尘室洁净度测试探讨

一个合格的无尘电子厂房需经过空态、静态、动态等三态洁净度认证测试。空态即无尘室框架建立、机电安装到位,MAU 送 正压,FFU 运转,大回风建立,整体清洁完成;静态即所有电子设备含 ROBOT、BUF 就位安装完成,设备整体清洁完成;动态即所有机 械设备单体调试完成,ROBOT 联动运转转速达到 100%的测试。笔者多年来亲自参与或组织无尘室工程测试与调整,希望交流这方面的经 验。