微机械及微细加工方法的研究

基于光固化快速成型制造技术 ,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术 ,研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板 (光敏树脂固化物 )镀膜的新方案 ,设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器 ,并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的 ,从而开辟了微细加工的新途径。

基于立体成型法的微激励器静态特性分析

介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线 。

微型制造中的掩膜快速成型技术

采用离散点曝光方式来制作微型构造物的光固化快速成型法 ,其成型时间长 ,这一问题是制约微型光固化快速成型技术迅速推广应用的主要因素之一。为探索解决此问题的途径 ,提出了掩膜成型方案 ,设计制作了实验装置 ,用该装置制作了掩膜 ,并利用此掩膜进行了光固化实验。结果表明 ,此方案可大幅缩短成型时间 。

平面曝光型光造型装置的研究

微型光造型法的一个很大的缺点是构造物的制造时间长。为了解决这一问题 ,在报告微型光固化立体成型法现状的基础上 ,提出了一种新颖的平面曝光型光造型方案 ,设计并制作了实验装置 ,利用热敏色带制作微型平面掩膜 ,进行了平面固化成型实验。实验结果表明 ,利用平面曝光型光造型方案进行成型 ,单层硬化时间可缩短至 1 2 0