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溶胶-凝胶法制备WO_3-SiO_2材料的氨敏特性研究 被引量:27
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作者 王旭升 张良莹 +4 位作者 姚熹 岛之江宪刚 酒井刚 三浦则雄 山添升 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期276-280,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了WO3+xwt%SiO2(x=0,5,10,20)粉体材料。对其结构、形貌进行了XRD、AFM、XPS和比表面积测量、分析,结果表明:获得了单斜晶系结构的WO3多晶材料;晶粒尺寸随SiO2含量的... 采用溶胶-凝胶法制备了WO3+xwt%SiO2(x=0,5,10,20)粉体材料。对其结构、形貌进行了XRD、AFM、XPS和比表面积测量、分析,结果表明:获得了单斜晶系结构的WO3多晶材料;晶粒尺寸随SiO2含量的增加而减小。测量了材料的NH3气敏特性,得到敏感元件的电阻和灵敏度随SiO2含量的增加而增加;溶胶-凝胶法制备的WO3+5wt%SiO2粉料用于NH3测量具有优良的特性,在350℃及以上应用优于纯WO3材料。 展开更多
关键词 半导体 气敏材料 溶胶-凝胶法 三氧化钨 二氧化硅
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