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基片表面磁场对倾斜焰沉积金刚石膜质量及成膜面积的影响
1
作者
张伟
崔伯贤
《薄膜科学与技术》
1994年第2期155-158,共4页
关键词
金刚石薄膜
磁场
倾斜焰沉积
成膜面积
下载PDF
职称材料
题名
基片表面磁场对倾斜焰沉积金刚石膜质量及成膜面积的影响
1
作者
张伟
崔伯贤
出处
《薄膜科学与技术》
1994年第2期155-158,共4页
关键词
金刚石薄膜
磁场
倾斜焰沉积
成膜面积
分类号
TN304.180 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
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基片表面磁场对倾斜焰沉积金刚石膜质量及成膜面积的影响
张伟
崔伯贤
《薄膜科学与技术》
1994
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