原子力显微镜微探针与光束偏转法在纳米振动检测中的应用

本文探讨了表面弹性波传播的机制 ,提出了一种利用原子力显微镜微探针与光束偏转法检测纳米振动的新方法 ,并利用这种方法对表面波质点的纳米振动进行了实时检测 .当Li Nb O3 晶片被施以 1 3 MHz的超高频激振电压时 ,在原子力显微镜示波器监视端观察到了质点的纳米振动 ,幅值为 6 .7nm,频率和驱动电压的频率一致 .

表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究

探讨了表面弹性波马达的工作机理和优化设计。采用具有能量循环功能的表面弹性波换能器结构,提高了表面弹性波马达效率,将马达的驱动电压阈值从100V降到了10V以下。在频率10MHz,峰峰值为10V的正弦电压激励下,获得振动幅度为20nm的表面弹性波,马达的无负载速度达到0.34m/s,最大推动力输出达到0.06N。

新型冲击式微位移机构在扫描隧道显微镜中的应用

冲击式微位移机构是利用压电陶瓷的冲击力使目标产生步进式微位移的一种微动机构 ,其特点是最小位移可达几纳米 ,具有实用的运动速度 ,运动范围不受限制 ,而且步距可从几纳米到几微米连续可调 ,使其可能在微米 /纳米技术中得到广泛应用 .本文提出一种由一对压电陶瓷驱动的新型冲击式微位移机构 ,介绍了该机构的工作原理 。