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SPR生化分析仪对6-氧甲基鸟嘌呤-DNA甲基转移酶的检测 被引量:16
1
作者 崔大付 王于杰 +4 位作者 蔡浩原 向四海 张国青 王晋芳 钱世钧 《自然科学进展》 北大核心 2003年第8期874-876,共3页
6-氧甲基鸟嘌吟-DNA甲基转移酶(简称MGMT)是一种重要的DNA损伤修复酶,组织中MGMT活性水平的检测可以为肿瘤的早期预防和治疗中化疗方案的确定提供依据。我们利用基于表面等离子体谐振(SPR)生物传感器原理研制成的SPR-2000型生化分析仪对... 6-氧甲基鸟嘌吟-DNA甲基转移酶(简称MGMT)是一种重要的DNA损伤修复酶,组织中MGMT活性水平的检测可以为肿瘤的早期预防和治疗中化疗方案的确定提供依据。我们利用基于表面等离子体谐振(SPR)生物传感器原理研制成的SPR-2000型生化分析仪对MGMT的基因片段进行了检测,然后采用配套的软件系统对实验数据进行处理,获得检测曲线;再对检测曲线进行温度补偿修正后便获得了杂交反应曲线,SPP-2000型生化分析仪可以检测1.18×10^(-10)mol/L浓度的MGMT核酸样品,为进一步进行临床检测的研究奠定了基础。 展开更多
关键词 6-氧甲基鸟嘌呤-DNA甲基转移酶 SPR生化分析仪 生物传感器 MGMT 活性检测 癌症诊断
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表面等离子体谐振(SPR)生化分析仪的研制 被引量:32
2
作者 崔大付 李向明 +3 位作者 蔡浩原 李亚亭 郑自攀 陈翔 《现代科学仪器》 2001年第6期34-38,共5页
表面等离子谐振 (SurfacePlasmonResonance ,SPR)生化分析仪是一种基于物理光学原理的新型生化分析系统 ,SPR技术作为一种表面反应的生物传感技术 ,具有很重要的生化分析能力 ,可用于无标记实时监测许多种类生物分子之间的反应。SPR生... 表面等离子谐振 (SurfacePlasmonResonance ,SPR)生化分析仪是一种基于物理光学原理的新型生化分析系统 ,SPR技术作为一种表面反应的生物传感技术 ,具有很重要的生化分析能力 ,可用于无标记实时监测许多种类生物分子之间的反应。SPR生化分析技术已成为直接实时观测生物分子间相互作用的主导技术。近年来SPR传感技术受到重点研究和发展 ;SPR生化分析仪也已经商品化。在本文中详细介绍了自行研制的新型SPR 2 0 0 0型生化分析仪 ,仪器的主要性能是 :入射角扫描范围 40°~ 70°,测角精度优于 1× 10 -3 度 ,探测折射率范围 1.0 4~ 1.47,温度范围 4℃~ 6 0℃、检测灵敏度可达 10 -11M等等。利用该系统实时测试了 1gG GAHIgG的动态反应过程。实验证明该分析仪精度和灵敏度高 ,适用范围宽 ,并已提供多家使用 。 展开更多
关键词 生化分析仪 研制 表面等离子体谐振 生物传感器 生物分子相互作用 流通注射分析
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表面等离子谐振(SPR)生化分析仪的研制与发展 被引量:12
3
作者 崔大付 张璐璐 +2 位作者 王于杰 李辉 刘长春 《现代科学仪器》 2007年第2期3-7,共5页
表面等离子谐振(Surface Plasmon Resonance,SPR)生化分析仪是一种基于物理光学原理的新型生化分析系统。近年来SPR传感技术受到重点研究和发展,高通量、高灵敏度、小型化是其发展趋势。SPR生化分析仪在国外已经商品化。国内中国科学院... 表面等离子谐振(Surface Plasmon Resonance,SPR)生化分析仪是一种基于物理光学原理的新型生化分析系统。近年来SPR传感技术受到重点研究和发展,高通量、高灵敏度、小型化是其发展趋势。SPR生化分析仪在国外已经商品化。国内中国科学院电子学研究所研制成功具有自主知识产权的一系列SPR生化分析仪,其主要技术指标达到或优于国际上同类设备的先进水平,已在很多研究领域中应用。 展开更多
关键词 表面等离子体谐振 图像 高通量 便携式 电化学 生化分析仪
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生化传感器发展的新特点 被引量:2
4
作者 崔大付 刘长春 陈翔 《测控技术》 CSCD 2004年第3期1-4,共4页
生化传感器一直是传感技术领域一个非常活跃的研究前沿 ,特别是近十多年以来 ,随着各种新原理新技术的发展和出现 ,生化传感器的发展呈现出商品化、微型化、集成化、智能化等许多新特点 ,本文介绍当前生化传感器发展的新特点 ,并对其发... 生化传感器一直是传感技术领域一个非常活跃的研究前沿 ,特别是近十多年以来 ,随着各种新原理新技术的发展和出现 ,生化传感器的发展呈现出商品化、微型化、集成化、智能化等许多新特点 ,本文介绍当前生化传感器发展的新特点 ,并对其发展的新趋势也进行了探讨。 展开更多
关键词 生化传感器 商品化 微型化 集成化 智能化 生物芯片
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高通量、多组分表面等离子体谐振生化分析系统研究 被引量:2
5
作者 崔大付 梁金庆 +5 位作者 蔡浩原 王军波 李亚亭 王于杰 刘长春 郑自攀 《自然科学进展》 北大核心 2007年第1期93-98,共6页
基于表面等离子体谐振(surface plasmon resonance,SPR)原理,利用图像分析技术和自动进样技术,研制成一种新型高通量、多组分图像SPR生化分析系统;对微阵列SPR敏感芯片进行动态检测,实现高通量、多参数、多组分快速检测和定量分析.以1... 基于表面等离子体谐振(surface plasmon resonance,SPR)原理,利用图像分析技术和自动进样技术,研制成一种新型高通量、多组分图像SPR生化分析系统;对微阵列SPR敏感芯片进行动态检测,实现高通量、多参数、多组分快速检测和定量分析.以15单元的阵列芯片为例,对兔IgG和人IgG分别与羊抗兔IgG和羊抗人IgG的免疫结合反应进行了实验检测.结果表明,该分析系统可进行实时高通量、多参数检测,具有灵敏度高、免标记等优点,而且阵列芯片中所设置的参比单元可以消除溶液本体折射率和温度变化的影响,提高了测量精度和准确性;另外芯片可以再生重复使用,降低了测试成本. 展开更多
关键词 SPR高通量 多通道 微阵列
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生物传感器的研究与发展 被引量:6
6
作者 崔大付 陈翔 《电子产品世界》 2003年第01A期55-57,共3页
关键词 生物传感器 发展 纳米技术 仿生传感器 生理传感器
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光纤pH传感器 被引量:1
7
作者 崔大付 曹强 +5 位作者 韩泾鸿 蔡金娥 李亚亭 朱泽敏 范杰 高宁 《传感器技术》 CSCD 1991年第6期11-14,60,共5页
本文叙述了一种在光纤端面放置固定化pH染料指示剂的反射式光纤传感器,其探头结构是通过共价结合法把酚红、溴酚兰和百里酚兰等三种染料固定在丙烯酰胺微球上形成亲水凝胶状指示剂,用聚四氟乙烯网膜定位放置,同光纤端面间留有一定缝隙,... 本文叙述了一种在光纤端面放置固定化pH染料指示剂的反射式光纤传感器,其探头结构是通过共价结合法把酚红、溴酚兰和百里酚兰等三种染料固定在丙烯酰胺微球上形成亲水凝胶状指示剂,用聚四氟乙烯网膜定位放置,同光纤端面间留有一定缝隙,便于指示剂与被测溶液的离子交换,反应。文中给出这种光纤传感器的全部性能参数,其测试范围3.0—5.0pH(溴酚兰指示剂);7.0—8.5pH(酚红指示剂)和8.0—10.0pH(百里酚兰指示剂);灵敏度66.6mV/pH;精度优于0.05pH;相关系数达99.9%;重复性0.013mV;响应时间(90%)对酚红指示剂为2min,对百里酚兰1min;滞后为0.52%;稳定性为0.015pH/h,该器件性能优良、制造简单,具有实用价值。 展开更多
关键词 光纤 PH值 测量 传感器
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上消化道pH值传感器 被引量:1
8
作者 崔大付 韩泾鸿 +5 位作者 李亚亭 范杰 朱泽敏 高宁 蔡金娥 曹强 《化学传感器》 CAS 1994年第2期139-143,共5页
H^+-ISFET与小型Ag/AgCl参比电极一起镶嵌在外径为Φ3.5mm,内径为Φ2mm,全长为80cm的胃导管顶部,构成上消化道pH值传感器。用于检测人体胃、食管内pH值。在实验中对传感器的各种参政进行了测试。其测试范围为2.00~12.00pH,斜率约50~55... H^+-ISFET与小型Ag/AgCl参比电极一起镶嵌在外径为Φ3.5mm,内径为Φ2mm,全长为80cm的胃导管顶部,构成上消化道pH值传感器。用于检测人体胃、食管内pH值。在实验中对传感器的各种参政进行了测试。其测试范围为2.00~12.00pH,斜率约50~55mV/pH,线性相关系数为0.9999,响应时间t_(90)小于0.1秒,滞后为1%,时漂0.2mV/h。用2%戊二醛溶液消毒。浸泡二小时后性能保持不变。上悄化过pH值传感器用于临床试验,成功地进行了50多例试验,取得了有价值的结果。 展开更多
关键词 上消化道 PH值 传感器
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光纤PH传感器 被引量:1
9
作者 崔大付 曹强 +5 位作者 韩泾鸿 蔡金娥 李亚亭 朱泽敏 范杰 高宁 《现代科学仪器》 1992年第1期41-42,共2页
本文叙述了一种在光纤端面放置固定化pH染料指示剂的反射式光纤传感器,其探头结构是通过共价结合法把酚红、溴酚兰和百里酚兰等三种染料固定在丙烯酰胺微球上形成亲水凝胶状指示剂,用聚四氟乙烯网膜定位放置,同光纤端面间留有一定缝隙,... 本文叙述了一种在光纤端面放置固定化pH染料指示剂的反射式光纤传感器,其探头结构是通过共价结合法把酚红、溴酚兰和百里酚兰等三种染料固定在丙烯酰胺微球上形成亲水凝胶状指示剂,用聚四氟乙烯网膜定位放置,同光纤端面间留有一定缝隙,便于指示剂与被测溶液的离子交换反应。文中给出这种光纤传感器的全部性能参数,其测试范围3.0—5.0pH(溴酚兰指示剂);7.0—8.5pH(酚红指示剂)和8.0—10.0pH(百里酚兰指示剂);灵敏度66.6mV/pH;精度优于0.05pH;相关系数达99.9%;重复性0.013mV;响应时间(90%)对酚红指示剂为2min,对百里酚兰1min;滞后为0.52%;稳定性为0.015pH/h,该器件性能优良、制造简单,具有实用价值。 展开更多
关键词 光纤传感器 PH计 传感器
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基于BioMEMS技术的DNA芯片研究 被引量:1
10
作者 崔大付 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期471-475,共5页
近年来基于微电子机械系统 (MEMS)技术研究和开发的一个新领域就是BioMEMS ,特别是对生物芯片和生物化学微分析系统的研究。文中叙述了基于BioMEMS技术的DNA芯片研究 ,介绍了几种不同结构的DNA芯片 ,以及DNA PCR扩增器芯片、DNA CE毛细... 近年来基于微电子机械系统 (MEMS)技术研究和开发的一个新领域就是BioMEMS ,特别是对生物芯片和生物化学微分析系统的研究。文中叙述了基于BioMEMS技术的DNA芯片研究 ,介绍了几种不同结构的DNA芯片 ,以及DNA PCR扩增器芯片、DNA CE毛细管电泳芯片、微流动控制器件和实验室芯片 (LabonaChip)等。还报告了作者们成功采用MEMS技术 ,研制成集成化微结构型PCR DNA扩增芯片 ,芯片上包括有加热器、温度传感器、2 μL容积的反应池以及输入输出通道 ;能实现快速扩增 ,最快加热速度为 15℃ s ,降温速度为 10℃ s。研制成Si—玻璃 ,玻璃—玻璃和玻璃—PDMS三种结构的毛细管电泳芯片 ,沟道宽 2 0 0 μm ,深 2 0 0 μm。研制成一种表面等离子体谐振 (SPR)生化分析系统 ,其入射光扫描角范围从 40°到 70° ,分辨率 0 .1%度 ,可测折射率范围 1.0 4~ 1.47。 展开更多
关键词 DNA芯片 微电子机械系统 生物微电子机械系统 实验室芯片 微全分析系统
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微全分析系统中的MEMS技术 被引量:2
11
作者 崔大付 《现代科学仪器》 2001年第4期29-33,共5页
微全分析系统 (μTAS)的研究和应用 ,近年来有了巨大发展。本文将着重叙述基于MEMS技术的 μTAS的研究和发展 ,扼要介绍设计、制造 μTAS的一些新技术、新材料和新方法 ,以及我们在研制
关键词 微全分析系统 微电子机械系统 生物芯片 MEMS
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表面等离子体共振生物传感器连续检测莱克多巴胺 被引量:15
12
作者 李辉 蔡浩原 +3 位作者 陈兴 孙建海 张璐璐 崔大付 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期381-384,共4页
利用表面等离子体共振生物传感器对莱克多巴胺抗体与固定在芯片表面的莱克多巴胺衍生物的相互作用进行了分析,解离常数为2.56×10-6s-1。根据一定范围内相对响应值和时间近似呈线性关系的动力学特性,建立了连续检测的方法,从而简化... 利用表面等离子体共振生物传感器对莱克多巴胺抗体与固定在芯片表面的莱克多巴胺衍生物的相互作用进行了分析,解离常数为2.56×10-6s-1。根据一定范围内相对响应值和时间近似呈线性关系的动力学特性,建立了连续检测的方法,从而简化了实验步骤,有利于提高芯片的使用寿命。检测莱克多巴胺采用抑制法,将莱克多巴胺衍生物固定在芯片的表面,莱克多巴胺抗体与样品混合后流过芯片的表面,所得相对响应值与样品中莱克多巴胺的浓度成反比。单个样品的检测时间设定为15min,对应的检出限小于4μg/L。 展开更多
关键词 表面等离子体共振 生物传感器 动力学 连续检测 莱克多巴胺
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电子鼻及其在白酒识别中的应用 被引量:40
13
作者 史志存 李建平 +2 位作者 马青 崔大付 朱敏慧 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第1期34-37,共4页
论述了电子鼻的原理、结构及其在白酒识别中的应用。模仿生物嗅觉系统,由气敏传感器阵列结合模式识别技术构成了电子鼻。用它对几种白酒进行了分类和识别实验,结果表明其不仅能识别不同香型的白酒。
关键词 嗅觉系统 电子鼻 气敏传感器阵列 模式识别 白酒
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表面活性剂存在下雌激素的直接电化学分析 被引量:12
14
作者 吴康兵 易洪潮 +1 位作者 胡胜水 崔大付 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1658-1660,共3页
It is difficult to determine estrogens directly by electrochemical methods because estradiol, estrone and estriol are hydrophobic and electroinactive. Thus, they are only determined by the indirect electrochemical tec... It is difficult to determine estrogens directly by electrochemical methods because estradiol, estrone and estriol are hydrophobic and electroinactive. Thus, they are only determined by the indirect electrochemical techniques. In this paper, based on the voltammetric behavior of estrogens(estradiol, estrone and estriol) on the Nafion\|modified glassy carbon electrode in the presence of CTAB, a novel direct electroanalytical method for the determination of the total amounts of estradiol, estrone and estriol was developed. In pH=8.00 phosphate buffer and in the presence of 6×10\+\{-5\} mol/L CTAB, estradiol, estrone and estriol have very sensitive oxidation peaks at 0.38 V(\%vs\%. SCE) at Nafion\|modified glassy carbon electrode after being accumulated for 3 min at -0.50 V. This peak can be used to determine trace level of estradiol, estrone and estriol. It was found that estradol, estrone and estriol have the similar electrochemical responses on the Nafion\|modified electrode in the presence of other long\|chain cationic surfactants, such as CPB, STAB, CATAB, LTAB. It is observed that the enhancement effect is highest in the presence of CTAB, and the peak current is CTAB concentration\|dependent. However, in the presence of long\|chain anionic surfactants, such as SDBS, and long\|chain nonionic surfactants, such as Triton X\|100, estradiol, estrone and estriol have no voltammetric responses on the Nafion\|modified glassy carbon electrode. The mechanism for the oxidation of estradiol in this system has been discussed, and the reactant site for the oxidation of estradiol has been verified to be the hyrdoxyl group in A\|ring. 展开更多
关键词 表面活性剂 雌激素 电化学分析 雌二醇 雌三醇 雌酮
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利用表面等离子谐振生物传感器检测磺胺二甲嘧啶的方法研究 被引量:13
15
作者 李辉 崔大付 +4 位作者 王于杰 蔡浩原 王军波 郑自攀 陈兴 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期288-292,共5页
动物源性食品中的兽药残留对人类的健康具有潜在的危害。这项研究利用SPR生物传感器免疫法检测磺胺二甲嘧啶。实验对抗原在芯片表面的固定条件以及抗体的浓度进行了优化,实验中所构建的标准曲线的检测限(LOD)约为0.7ng/ml,检测范围为0.7... 动物源性食品中的兽药残留对人类的健康具有潜在的危害。这项研究利用SPR生物传感器免疫法检测磺胺二甲嘧啶。实验对抗原在芯片表面的固定条件以及抗体的浓度进行了优化,实验中所构建的标准曲线的检测限(LOD)约为0.7ng/ml,检测范围为0.7~10ng/ml。对抗体的特异性和稳定性进行了研究。SPR-2004传感器为中国科学院电子学研究所自行研制的生化分析仪,为单通道双参数型,可以通过使用参照表面来消除折射率和基质效应的影响,从而提高数据的准确性,并缩短检测时间。 展开更多
关键词 表面等离子谐振 生物传感器 参照表面 磺胺二甲嘧啶
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基于氧化还原聚合物固定双酶的谷氨酸传感器的研究 被引量:9
16
作者 李华清 郭宗慧 +5 位作者 刘春秀 姜利英 崔大付 刘文勇 黄勇 蔡新霞 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第U09期1-4,共4页
在塑料基片上制备了金薄膜的两电极系统的生物传感器。集成化的Ag|AgCl参比电极采用丝网印刷在薄膜电极上。以聚乙二醇二缩水甘油醚(PEGDGE)为交联剂,将辣根过氧化酶(HRP)和谷氨酸氧化酶(GLOD)固定到聚乙烯吡啶与2,2'-双吡啶... 在塑料基片上制备了金薄膜的两电极系统的生物传感器。集成化的Ag|AgCl参比电极采用丝网印刷在薄膜电极上。以聚乙二醇二缩水甘油醚(PEGDGE)为交联剂,将辣根过氧化酶(HRP)和谷氨酸氧化酶(GLOD)固定到聚乙烯吡啶与2,2'-双吡啶锇形成的氧化还原复合物中,滴在电极表面形成传感器的工作电极。实验结果表明,该生物传感器在谷氨酸溶液的浓度为1.0×10^-6~4.0×10^-4moL/L的范围内,具有很好的线性关系(r=0.9998,n=9),灵敏度为37.5mA(moL/L)^-1cm^-2;谷氨酸检出限为1.0×10^-6mol/L;传感器响应时间为10s且有良好的一致性和稳定性,使用一个月后仍能保持其初始活性的90%。该传感器可以用于食品工业中的谷氨酸的快速检测和在线监测等。 展开更多
关键词 氧化还原聚合物 电流型生物传感器 谷氨酸氧化酶 辣根过氧化酶
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微流控芯片操纵传输及实时监测单细胞量子释放 被引量:6
17
作者 程伟 黄卫华 +5 位作者 庞代文 王宗礼 程介克 崔大付 屈三甫 郑从义 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1585-1587,共3页
微流控芯片技术用于细胞生化分析已引起了广泛关注.
关键词 微流控芯片 单细胞操纵 实时监测 单细胞活体 量子释放 碳纤维微电极 生物化学分析
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图像阵列表面等离子谐振生物传感器检测两种磺胺药物 被引量:6
18
作者 李辉 崔大付 +3 位作者 梁金庆 刘长春 王于杰 蔡浩原 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1479-1482,共4页
这项研究利用自制的图像阵列SPR生物传感器对缓冲液中的磺胺甲恶唑(SMOZ)与磺胺二甲嘧啶(SMT)进行了快速灵敏的检测.两种磺胺药物与牛血清白蛋白(BSA)的耦联物被分别固定于阵列芯片上不同的两列,其余一列作为参照.固定过程在仪器中进行... 这项研究利用自制的图像阵列SPR生物传感器对缓冲液中的磺胺甲恶唑(SMOZ)与磺胺二甲嘧啶(SMT)进行了快速灵敏的检测.两种磺胺药物与牛血清白蛋白(BSA)的耦联物被分别固定于阵列芯片上不同的两列,其余一列作为参照.固定过程在仪器中进行,以监控抗原的固定量.抗体与含有磺胺药物的缓冲液混合后流过芯片表面,所得抗体结合曲线的斜率与样品中所含的磺胺浓度成反比例关系.实验中所构建的两种磺胺药物的标准曲线的检测范围在1 ng/mL到15 ng/mL之间.对两种抗体稳定性及特异性进行了研究,单抗对BSA无结合作用.新型高通量、多组份图像SPR生化分析系统为中国科学院电子学研究所自行研制,阵列芯片具有3×5型阵列点.通过使用参考表面,折射率和非特异性吸附的影响可以被去除,从而提高数据的质量. 展开更多
关键词 图像 表面等离子谐振 生物传感器 参照表面 磺胺甲恶唑 磺胺二甲嘧啶
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基于错流过滤原理的微流控细胞分离芯片的研制 被引量:6
19
作者 陈兴 崔大付 +2 位作者 刘长春 李辉 耿照新 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期59-61,共3页
In this work,two kinds of novel microfluidic cells separation chips were described on the principle of crossflow filtration by using micro-electro mechanical systems(MEMS) technology.Whole blood is a complex mixture o... In this work,two kinds of novel microfluidic cells separation chips were described on the principle of crossflow filtration by using micro-electro mechanical systems(MEMS) technology.Whole blood is a complex mixture of various cells,such as red blood cells(RBC),white blood cells(WBC) and so on.Separation and collection of different kinds of cells is the required first step for the subsequent clinical and basic research assays.One-level filtration microfluidic chips with three coiled channels spaced by two arrays of parallel microfabricated filtration barriers of post-type or dam-type along the stream,were successfully used to separate and collect RBC and WBC from whole blood via their different sizes.The effects of the dilution times and the length of separation channels with different filtration barriers on RBC separation efficiency were investigated.When the whole blood was diluted by 50 times,the RBC separation efficiency was 91.2% and the WBC separation efficiency was 27.4% by using the microfluidic chip with dam-type filtration barriers of 160 mm long.The WBC separation efficiency was two times more than that by using microfluidic chip based on the dead-end filtration principle.The second kind of microfluidic chip had multilevel filtration barriers of post-type which was used to separate and collect plasma,RBC and WBC from whole blood. 展开更多
关键词 微流控芯片 细胞分离芯片 错流过滤 MEMS
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微结构谐振梁式压力传感器研究 被引量:10
20
作者 陈德勇 崔大付 +1 位作者 王利 韩泾鸿 《传感技术学报》 CAS CSCD 2000年第4期255-259,共5页
利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器 .传感器的谐振器的品质因素 Q值大于 170 0 0 .采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,其压力测试范围为 0~ 40 0 k Pa,... 利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器 .传感器的谐振器的品质因素 Q值大于 170 0 0 .采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,其压力测试范围为 0~ 40 0 k Pa,线性相关系数为0 .99995 ,测试精度小于 0 .0 6 % F.S. 展开更多
关键词 微电子机械加工 压力传感器 微结构 谐振梁式
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