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多孔SiO_(2)为栅介质的IGZO基双电层薄膜晶体管
1
作者
崔胜战
张健豪
+3 位作者
王晓新
阙怡涵
马卓杰
杜路路
《电子世界》
CAS
2021年第15期21-22,共2页
薄膜晶体管的低电压操作一直是研究者期待解决的问题。双电层电容具有巨大的电容,被认为是低功耗电子器件有希望的候选材料。我们以磁控溅射技术沉积多孔SiO_(2)固态电解质薄膜为介质层,制备了铟镓锌氧(InGaZnO:IGZO)基双电层薄膜晶体管...
薄膜晶体管的低电压操作一直是研究者期待解决的问题。双电层电容具有巨大的电容,被认为是低功耗电子器件有希望的候选材料。我们以磁控溅射技术沉积多孔SiO_(2)固态电解质薄膜为介质层,制备了铟镓锌氧(InGaZnO:IGZO)基双电层薄膜晶体管(EDLT)。多孔SiO_(2)薄膜表现出大的双电层电容(0.2μF/cm^(2)),具有大的栅极调控作用。因此,IGZO基EDLT可以工作在<1V的栅极电压下。以铟镓锌氧InGaZnO(IGZO)为代表的氧化物半导体具有宽带隙(3.4eV)、高载流子迁移率、对可见光透明、可大面积均匀成膜、以及可低温甚至室温成膜(因而可在柔性衬底上制备)等特点,因此对柔性、透明、和可穿戴电子特别有利。基于IGZO的薄膜晶体管在平板显示器上已经得到了商业化应用,但是目前主要的挑战是功耗大。双电层薄膜晶体管(EDLT)由于其电解质具备丰富的可移动离子,在外加栅压的作用下,可移动的离子发生定向漂移,在栅电极/电解质和电解质/半导体的界面积累,形成双电层(EDL)。
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关键词
薄膜晶体管
氧化物半导体
平板显示器
栅介质
栅电极
双电层电容
固态电解质
栅压
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职称材料
题名
多孔SiO_(2)为栅介质的IGZO基双电层薄膜晶体管
1
作者
崔胜战
张健豪
王晓新
阙怡涵
马卓杰
杜路路
机构
临沂大学物理与电子工程学院
出处
《电子世界》
CAS
2021年第15期21-22,共2页
文摘
薄膜晶体管的低电压操作一直是研究者期待解决的问题。双电层电容具有巨大的电容,被认为是低功耗电子器件有希望的候选材料。我们以磁控溅射技术沉积多孔SiO_(2)固态电解质薄膜为介质层,制备了铟镓锌氧(InGaZnO:IGZO)基双电层薄膜晶体管(EDLT)。多孔SiO_(2)薄膜表现出大的双电层电容(0.2μF/cm^(2)),具有大的栅极调控作用。因此,IGZO基EDLT可以工作在<1V的栅极电压下。以铟镓锌氧InGaZnO(IGZO)为代表的氧化物半导体具有宽带隙(3.4eV)、高载流子迁移率、对可见光透明、可大面积均匀成膜、以及可低温甚至室温成膜(因而可在柔性衬底上制备)等特点,因此对柔性、透明、和可穿戴电子特别有利。基于IGZO的薄膜晶体管在平板显示器上已经得到了商业化应用,但是目前主要的挑战是功耗大。双电层薄膜晶体管(EDLT)由于其电解质具备丰富的可移动离子,在外加栅压的作用下,可移动的离子发生定向漂移,在栅电极/电解质和电解质/半导体的界面积累,形成双电层(EDL)。
关键词
薄膜晶体管
氧化物半导体
平板显示器
栅介质
栅电极
双电层电容
固态电解质
栅压
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多孔SiO_(2)为栅介质的IGZO基双电层薄膜晶体管
崔胜战
张健豪
王晓新
阙怡涵
马卓杰
杜路路
《电子世界》
CAS
2021
0
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