开放式数字微流控驱动器设计、制造与性能评价

基于介质上电润湿(electrowetting-on-dielectric,EWOD)技术的数字微流控技术可以对微量液滴进行灵活操作,近年来日益成为微流控领域的研究热点.本文基于开放式数字微流控驱动器的基本原理,旨在提供器件改进的途径,提出了EWOD器件的性能评价与优化方法.设计制造了不同电极形状的EWOD器件,通过实验对比了不同电极结构的性能,分析了EWOD器件性能改善的内在原因.本文提出的开放式数字微流控驱动器设计思路与评价方法可以为EWOD器件以及基于EWOD技术的数字微流控芯片设计起到指导作用.