用于高分辨率Micro-LED显示阵列凸点的湿法回流制备方法与集成技术

为了实现高分辨率Micro-LED显示,介绍了一种基于SiO_(2)开孔的焊盘结构,使用基于丙三醇还原剂的湿法回流工艺,成功制备了间距为40μm,直径为15μm的铟(In)凸点阵列。通过剪切试验评价了In凸点与凸点下金属层(UBM)的连接可靠性,结果表明In凸点与UBM层形成了良好的机械互连性能,这是由于两者之间形成了稳定的金属间化合物AuIn2,提高了剪切强度。此外,还通过倒装键合工艺实现了Micro-LED发光器件的转移和精准键合。

基于喷墨打印的绿色量子点颜色转换层的工艺与性能优化

本文研究了无滤光片、无分布式布拉格反射镜的条件下,喷墨打印技术(IJP)在高分辨率微型发光二极管(MicroLED)上沉积量子点颜色转换(QDCC)层的应用。通过采用固含量为20%(质量分数)的高质量分数(>10%)量子点墨水,并经过工艺优化,成功实现了均匀且可重复的超厚(>10μm)量子点层沉积。在经过反应离子刻蚀(RIE)处理的挡光黑色矩阵(BM)层上,利用喷墨打印技术,实现了不同厚度绿色量子点膜层的精准沉积,子像素尺寸为40μm×40μm,线宽为5μm。绿色QDCC层表现出优异的性能,最大亮度达到159120.4 cd/cm^(2),相关色温(CCT)为5844.463 K,外量子效率(EQE)为3.11%。随着厚度的增大,CIE(x,y)色坐标从初始值(0.1853,0.2537)变化到最终值(0.2234,0.7252)。