采用壳层效应屏蔽长度Monte Carlo方法计算溅射产额

使用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额 .采用山村等人提出的考虑壳层效应的理论屏蔽长度 ,原子间作用势用Moli啨ｒｅ势 .并将计算结果与实验数据和山村等的经验公式进行了比较 .

用新局域模型计算高Z靶的溅射产额

用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额。计算中采用山村等人提出的包括壳效应的新电子能量损失局域模型 ,原子间作用势使用Moli啨ｒｅ势?扑愕玫降慕峁胧笛槭莺蜕酱宓鹊木楣浇斜冉?。