可变矩形电子束曝光机真空系统的完善

本文论述了系统的真空度、清洁度对热阴极电子发射、电子光学系统性能的影响及污染物的来源。同时也介绍了为提高整个系统的真空度和清洁度而采取的措施‘及其实验结果。

“十字丝”标记组件的设计和装调

本文介绍了用于DJ-2型可变矩形电子束曝光机中的“十字丝”标记组件的作用和工作原理,对该组件的结构设计精度要求及为达到这一要求而采取的技术措施。

Ee—BES—40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术

本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术──“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空。同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。