题名 TiAlN涂层及微观组织结构研究
被引量:3
1
作者
左伟峰
赵广彬
程玺儒
黄悦
林平
机构
西华大学
出处
《工具技术》
北大核心
2017年第2期64-67,共4页
基金
"高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项资助(20092X04012-23)
四川省特种材料及制备技术重点实验室基金(SZJJ2009-016)
文摘
通过改变工艺参数,采用非平衡磁控溅射法在硬质合金基体上制备Ti Al N涂层来研究涂层微观结构的变化规律。经表面和断口形貌的扫描电镜结果显示,增加主因素偏压,涂层表面趋向光滑平整,结构趋向致密,表面的大颗粒数量明显减少。EDS能谱分析表明,涂层元素的含量受偏压和N2流量影响较大。XRD分析发现,膜层中有Ti Al N系和Ti N系的物相结构,Ti N/Ti Al N多层涂层主要从(111)晶面择优取向生长。
关键词
非平衡磁控溅射
TI
AL
N涂层
偏压
微观结构
Keywords
unbalanced magnetron sputtering
Ti Al N coating
bias voltage
microstructure
分类号
TG115
[金属学及工艺—物理冶金]
TG154.5
[金属学及工艺—热处理]
题名 溅射功率对TiAlN涂层组织结构与性能的影响
被引量:2
2
作者
左伟峰
赵广彬
程玺儒
机构
西华大学
出处
《工具技术》
2018年第4期76-78,共3页
基金
"高档数控机床与基础制造装备"科技部重大专项(2009zx04012-23)
四川省特种材料及制备技术重点实验室项目
文摘
采用钛铝合金比为7∶3的靶,通过非平衡磁控溅射离子镀制备TiAlN涂层。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和MFT-4000多功能材料表面性能试验机对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行测试分析,分析溅射功率对TiAlN涂层组织和结构的影响。测试结果表明:随着溅射功率的减小,膜层晶粒结构变得更稀疏,结合力减弱,Al/Ti比值变小。
关键词
TIALN涂层
离子镀
溅射功率
断口形貌
Keywords
TiAIN coating
ion plating
sputtering power
fracture surface
分类号
TG174.4
[金属学及工艺—金属表面处理]
TH140.7
[一般工业技术—材料科学与工程]
题名 (Al,Ti)N涂层力学性能工艺研究
被引量:2
3
作者
左伟峰
赵广彬
程玺儒
机构
西华大学材料学院
出处
《真空》
CAS
2017年第6期21-25,共5页
基金
"高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项资助(2009X 04012-23)
四川省特种材料及制备技术重点实验室基金(SZJJ2009-016)
文摘
通过磁控溅射离子镀与中频脉冲偏压电源相结合,优化制备(Al,Ti)N涂层的工艺。利用HVS-1000数显显微硬度计检测涂层硬度;MET-400多功能材料表面试验仪测定膜基结合力,JS-QHY-2型球痕仪测定厚度,DX-1000型X射线衍射仪检测物相。采用正交实验,作算术平均值和极差分析,优化制备涂层的工艺。结果表明波动时,最佳工艺为功率为10:24,脉冲偏压为100V,时间为2.5h,不波动时最佳工艺为5:24,脉冲偏压为100V,时间为2.5h。
关键词
正交实验
硬度
膜厚
膜基结合力
Keywords
orthogonal experiment, hardness, film thickness, influencing factors
分类号
O343.9
[理学—固体力学]
TP391.7
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
题名 中频非平衡磁控溅射TiAlN薄膜的结构与性能
4
作者
安小建
赵广彬
程玺儒
左龙
左伟峰
机构
西华大学材料科学与工程学院
出处
《西华大学学报(自然科学版)》
CAS
2017年第4期78-82,共5页
基金
“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项资助(2009ZX04012-23)
四川省特种材料及制备技术重点实验室经费资助(SZJJ2009-016)
西华大学研究生创新基金项目资助(Ycjj2014045)
文摘
采用中频非平衡磁控溅射离子镀设备在YG10硬质合金表面制备(Ti_(1-x)Al_x)N薄膜,运用X线衍射仪、扫描电子显微镜、显微硬度计和材料表面性能测试仪等对薄膜进行表征,分析氮气分压、直流偏压和Al含量对薄膜的力学性能、薄膜成分和组织结构的影响。结果表明:薄膜呈柱状多晶组织,主要组成相为(Ti,Al)N相;随着氮气分压增大,膜层中氮原子增多,而铝、钛原子含量减少,膜层中rAl/(Al+Ti)与r(Al+Ti)/N均下降,薄膜(111)晶面取向减弱,(220)和(200)晶面取向增强。力学性能测试表明,随着膜层中的Al含量和直流偏压升高,薄膜硬度、膜厚和膜-基结合力均呈现先升高后降低的趋势,薄膜显微硬度最高2 915 HV,膜-基结合力最高达73 N。
关键词
T!A1N薄膜
磁控溅射
力学性能
Keywords
TiAIN thin film
magnetron sputtering
mechanical properties
分类号
TB43
[一般工业技术]
题名 提高电池锌筒挤压模具性能的研究
被引量:1
5
作者
尧登灿
张道达
熊伟
左伟峰
机构
江西省机械科学研究所
出处
《电池》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期289-291,共3页
文摘
近年来,随着锌锰电池从"低汞低铅低镉"向"无汞无铅无镉"的升级换代,针对电池锌筒挤压模具存在的问题和不足,经理论分析研究及相关实验,通过改进模具结构、优选模具材料、完善热处理及离子氮化工艺和过盈配合等方法,冲棒使用寿命达16万次/只以上,活塞垫头30万次/套以上,并解决了凹模合金脱套等问题。
关键词
锌锰电池
电池锌筒
挤压模具
热处理
离子氮化
Keywords
Zn/MnO2 battery
battery zinc tube
extrusion die
heat treatment
ion nitriding
分类号
TM911.14
[电气工程—电力电子与电力传动]