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射频磁控反应溅射制备ZnO/AlN双层膜的结构和性能
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作者 巫邵波 李合琴 +2 位作者 王淑占 顾金宝 赵之明 《理化检验(物理分册)》 CAS 2008年第2期71-74,93,共5页
采用射频磁控反应溅射在Si(100)衬底上制备了ZnO/AlN双层膜。使用X射线衍射仪、原子力显微镜(AFM)、LCR测试仪及荧光分光光度计等仪器对样品进行了结构、表面形貌、导电性及荧光光谱的测试,并与相同工艺下制备的ZnO单层薄膜进行了对比... 采用射频磁控反应溅射在Si(100)衬底上制备了ZnO/AlN双层膜。使用X射线衍射仪、原子力显微镜(AFM)、LCR测试仪及荧光分光光度计等仪器对样品进行了结构、表面形貌、导电性及荧光光谱的测试,并与相同工艺下制备的ZnO单层薄膜进行了对比研究。结果表明,ZnO/AlN双层膜的c轴择优取向性优于单层ZnO薄膜,薄膜应力更小,且为压应力,晶粒尺寸大于单层膜,表面粗糙度较小,并且其电阻率更低。荧光光谱显示,ZnO/AlN双层膜的结晶质量更好。 展开更多
关键词 射频磁控反应溅射 缓冲层 表面形貌 电阻率 荧光光谱
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掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究 被引量:12
2
作者 李合琴 何晓雄 +2 位作者 王淑占 巫邵波 赵之明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期225-229,共5页
本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N)。拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1... 本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N)。拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1555.3 cm-1的G峰,ID/IG=0.45;X射线光电子能谱(XPS)表明薄膜含氮量为24%,XPS光谱的C1s和N1s的芯能级证实了薄膜中的碳氮进行了化合,形成了C-N、C=N、C≡N,说明薄膜中形成了非晶碳氮结构;傅里叶变换红外透射光谱(FTIR)也表明了薄膜中碳氮进行了化合;扫描电子显微镜(SEM)结果表明,实验所制备的薄膜表面均匀、致密、光滑,从横截面图像观察,薄膜与衬底结合紧密,薄膜的厚度大约为150 nm。 展开更多
关键词 射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 X射线光电子能谱 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射光谱 扫描电子显微镜
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掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构表征 被引量:1
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作者 王淑占 李合琴 +2 位作者 巫邵波 赵之明 宋泽润 《真空》 CAS 北大核心 2008年第1期64-67,共4页
采用射频磁控反应溅射法,Ar气为溅射气体,N2气为反应气体,用高纯石墨靶在Si(100)片上制备了掺氮类金刚石薄膜,采用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM),表征了掺氮类金刚石薄膜的微观结构、表面及截面形貌。Ra... 采用射频磁控反应溅射法,Ar气为溅射气体,N2气为反应气体,用高纯石墨靶在Si(100)片上制备了掺氮类金刚石薄膜,采用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM),表征了掺氮类金刚石薄膜的微观结构、表面及截面形貌。Raman光谱结果表明,制备的掺氮类金刚石薄膜中含有特征峰D峰和G峰,分别位于1339.2 cm-1、1554.6 cm-1均向低波数段频移,具有典型的类金刚石结构特征;XPS光谱的C1s和N1s的芯能级证实了薄膜中的碳氮进行了化合,形成了C—N、C=N、C≡N,说明薄膜中形成了非晶碳氮结构;同时SEM结果表明实验所制备的薄膜表面均匀、致密、光滑,从截面照片观察,薄膜与衬底结合紧密,薄膜的厚度大约为150nm。 展开更多
关键词 射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 拉曼光谱 X射线光电子能谱 扫描电子显微镜
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射频与直流磁控溅射制备DLC薄膜的工艺研究及特性对比 被引量:1
4
作者 王淑占 李合琴 +3 位作者 赵之明 巫邵波 顾金宝 宋泽润 《真空与低温》 2007年第3期138-141,共4页
采用直流与射频磁控溅射技术,用高纯石墨在单晶硅(100)表面制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用拉曼光谱、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面和截面形貌,以及与溅射工艺的关系,并且对溅射过程中粒子输运机理进行了解释。结果表明,2种溅射方法... 采用直流与射频磁控溅射技术,用高纯石墨在单晶硅(100)表面制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用拉曼光谱、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面和截面形貌,以及与溅射工艺的关系,并且对溅射过程中粒子输运机理进行了解释。结果表明,2种溅射方法制备的薄膜均含有相当的sp3杂化碳原子。射频磁控溅射沉积的DLC薄膜所含sp3杂化碳原子的量要高于直流磁控溅射沉积的DLC薄膜,且薄膜质量优于直流磁控溅射沉积的DLC薄膜。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 射频磁控溅射 直流磁控溅射 拉曼光谱 扫描电镜
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内圆弧凸轮转子的轮廓构造及其极限特征
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作者 巫邵波 李玉龙 《机床与液压》 北大核心 2023年第4期118-122,共5页
为简化常见外圆弧凸轮转子的根部轮廓加工,提出内圆弧的轮廓构造。由已知内共轭轮廓下的统一构造方程,通过转子副共轭关系上的欧拉-萨伐里方程和节圆外共轭轮廓曲率半径为0的极限特征,推导出已知内共轭轮廓下的通用极限判据;由该极限判... 为简化常见外圆弧凸轮转子的根部轮廓加工,提出内圆弧的轮廓构造。由已知内共轭轮廓下的统一构造方程,通过转子副共轭关系上的欧拉-萨伐里方程和节圆外共轭轮廓曲率半径为0的极限特征,推导出已知内共轭轮廓下的通用极限判据;由该极限判据,给出内圆弧轮廓的极限特征,最后将最大形状系数和最大容积利用系数与外圆弧做比较。结果表明:当轮廓中点处的内共轭轮廓曲率半径线垂直于中轴时,转子轮廓处于极限状态;内圆弧转子的根部轮廓可由标准孔加工方法一次完成,加工最简单;相较于外圆弧转子,最大形状系数降低了2叶的5.0%、3叶的3.7%和4叶的2.6%,最大容积利用系数减少了12.5%、7.2%和0.1%。 展开更多
关键词 凸轮转子 极限判据 最大形状系数 最大容积利用系数
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泵用圆锥曲线罗茨转子的制造工艺优化与质量控制措施研究
6
作者 巫邵波 《造纸装备及材料》 2023年第10期37-39,共3页
制造业是我国的经济支柱之一,泵用圆锥曲线罗茨转子作为重要的工业设备,其质量和效率直接影响生产过程的成本和可持续性。基于此,文章对泵用圆锥曲线罗茨转子的制造工程优化与质量控制展开研究,分析了圆锥曲线罗茨泵的基本原理,对泵用... 制造业是我国的经济支柱之一,泵用圆锥曲线罗茨转子作为重要的工业设备,其质量和效率直接影响生产过程的成本和可持续性。基于此,文章对泵用圆锥曲线罗茨转子的制造工程优化与质量控制展开研究,分析了圆锥曲线罗茨泵的基本原理,对泵用圆锥曲线罗茨转子的制造工艺和质量控制提出优化措施,以便于制造业降低成本,提高生产效率和竞争力,为经济增长和可持续发展作出贡献。 展开更多
关键词 泵用圆锥曲线罗茨转子 制造工艺 制造工程
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圆锥曲线罗茨转子的机械结构分析与制造工艺研究
7
作者 巫邵波 《造纸装备及材料》 2023年第11期22-24,共3页
罗茨转子是一种在工程领域广泛应用的关键装置,特别是在气体输送和压缩领域。文章深入分析了圆锥曲线罗茨转子的原理和工作循环,介绍了其机械结构和制造工艺,并针对圆锥曲线罗茨转子的制造工艺提出了优化措施。通过优化制造工艺,可实现... 罗茨转子是一种在工程领域广泛应用的关键装置,特别是在气体输送和压缩领域。文章深入分析了圆锥曲线罗茨转子的原理和工作循环,介绍了其机械结构和制造工艺,并针对圆锥曲线罗茨转子的制造工艺提出了优化措施。通过优化制造工艺,可实现更高的制造精度,从而提高整个系统的效率和可持续性。罗茨转子技术的持续进步将为工程领域带来更多机会,推动工程技术的发展和可持续性的进步。 展开更多
关键词 圆锥曲线罗茨转子 机械结构 制造工艺
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Pro/E4.0模流分析技术辅助跳绳手柄注塑模设计
8
作者 巫邵波 《装备制造技术》 2012年第12期136-138,共3页
Plastic Advisor7.0为Pro/E4.0内建的注塑成型模流分析软件,应用该软件对跳绳手柄注塑模进行设计。介绍了使用该软件进行模流分析的方法与过程,该分析软件可大幅度提高注塑模具的设计效率,缩短了产品的开发周期。
关键词 Plastic Advisor7 0 跳绳手柄 注塑模 模流分析
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基于库卡机器人的机械维护课程教学实践与探索 被引量:2
9
作者 巫邵波 《中国现代教育装备》 2020年第19期115-117,共3页
工业机器人技术的应用是智能制造的主要发展方向,工业机器人的维护保养在生产中的地位日益重要。通过对基于库卡工业机器人的工业机器人机械维护课程教学的总结与思考,依据课程现状,针对理论教学、实践教学、教材建设等方面的问题,提出... 工业机器人技术的应用是智能制造的主要发展方向,工业机器人的维护保养在生产中的地位日益重要。通过对基于库卡工业机器人的工业机器人机械维护课程教学的总结与思考,依据课程现状,针对理论教学、实践教学、教材建设等方面的问题,提出依托信息化教学改革、优化教学设计、开发项目化教材、进行混合式教学、优化评价体系等改进措施,为工业机器人课程的教学提供参考。 展开更多
关键词 工业机器人 机械维护 教学实践 混合式教学
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等离子喷涂制备Al_2O_3-Cr_2O_3复相涂层组织及性能 被引量:4
10
作者 王建萍 史云霞 +2 位作者 巫邵波 魏金栋 唐向清 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2018年第4期393-398,共6页
采用等离子喷涂技术在45钢基体上制备Al_2O_3-Cr_2O_3复相涂层,通过SEM、XRD、万能试验机、硬度仪和磨损试验机等设备测定并分析了涂层组织结构,物相组成,以及涂层结合强度、孔隙率、硬度、磨损率等性能。结果表明:随着Cr_2O_3含量的增... 采用等离子喷涂技术在45钢基体上制备Al_2O_3-Cr_2O_3复相涂层,通过SEM、XRD、万能试验机、硬度仪和磨损试验机等设备测定并分析了涂层组织结构,物相组成,以及涂层结合强度、孔隙率、硬度、磨损率等性能。结果表明:随着Cr_2O_3含量的增加,γ-Al_2O_3亚稳定相的比例逐渐降低,α-Al_2O_3稳定相的比例逐渐提高;复相涂层相比单一涂层,组织更加致密,综合性能更优,并且在40%氧化铬含量时最佳:孔隙率1.1%,结合强度12 MPa,剪切强度23.45 MPa,硬度为1010 HV,磨损率0.34%。 展开更多
关键词 等离子喷涂 Al2O3-Cr2O3涂层 结构 物相 力学性能
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建设高职校级模具数字资源库的实践与探索 被引量:1
11
作者 巫邵波 唐向清 +1 位作者 唐菊 王建萍 《装备制造技术》 2015年第12期202-203,206,共3页
依据高职院校模具专业在教学改革、课程改革的中遇到的实际问题,基于学校现有模具教学资源与企业实际模具资源,建设了包含模具三维结构模型,CAD模具总装图及零件图,模具拆装动画,模具说明书,企业一线设计资料和优秀毕业设计的校级模具... 依据高职院校模具专业在教学改革、课程改革的中遇到的实际问题,基于学校现有模具教学资源与企业实际模具资源,建设了包含模具三维结构模型,CAD模具总装图及零件图,模具拆装动画,模具说明书,企业一线设计资料和优秀毕业设计的校级模具数字资源库,有效突破了实验实训时间与空间上的限制,将数字资源直达学生数字终端,将工厂实践引入课堂,也减轻了模具教仪损耗较为严重的问题,促进了教学及教学改革。 展开更多
关键词 模具 数字资源库 教学改革
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126 kV GIS接地开关用拐臂断裂失效分析
12
作者 史云霞 巫邵波 郑冲 《江苏工程职业技术学院学报》 2019年第1期15-17,共3页
某126 kV GIS中的FES故障关合接地开关用拐臂在做寿命测试时突然断裂,通过直读光谱仪(OES)、扫描电镜(SEM)、金相显微镜、能谱分析仪(EDS)和硬度计,对发生断裂的拐臂进行断裂失效分析。结果表明:试样的化学成分符合国标对ZG40Cr的要求;... 某126 kV GIS中的FES故障关合接地开关用拐臂在做寿命测试时突然断裂,通过直读光谱仪(OES)、扫描电镜(SEM)、金相显微镜、能谱分析仪(EDS)和硬度计,对发生断裂的拐臂进行断裂失效分析。结果表明:试样的化学成分符合国标对ZG40Cr的要求;硬度测试符合零件的技术要求;脆性断裂是拐臂的断裂模式,引起拐臂断裂的直接原因是拐臂材料内存在严重的晶内成分偏析和缩松缩孔。通过长时间退火处理和严格控制铸造工艺可以减少缩松缩孔,从而有效防止拐臂断裂失效。 展开更多
关键词 拐臂 断裂失效分析 成分偏析 退火
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GB4230带锯床送料机构的数控化改造
13
作者 王文慧 巫邵波 史云霞 《装备制造技术》 2020年第3期184-186,共3页
以GB4230带锯机为研究对象,对其液压送料机构进行数控化改造。改造设计了机械结构和液压系统。并以三菱Q系列PLC为控制核心设计了控制模块,同时分配了I/O接线点,规划编制了自动运行程序。改造后该送料机构能够实现自动送料、停止并自动... 以GB4230带锯机为研究对象,对其液压送料机构进行数控化改造。改造设计了机械结构和液压系统。并以三菱Q系列PLC为控制核心设计了控制模块,同时分配了I/O接线点,规划编制了自动运行程序。改造后该送料机构能够实现自动送料、停止并自动返回,送料精度高,重复定位精度高。 展开更多
关键词 带锯床 数控送料 PLC控制
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